819KB - オプトラン

OPTORUN CO.,LTD.
「薄膜ソリューションを提供するオプトラン」
光学薄膜形成装置
Optical Thin Film Coater
OTFC シリーズ
OTFC Series
（エッジフィルタ、帯域フィルタ、AR コーティング等の成膜用）
（For Edge Filters, Band Pass Filters, AR Coatings, etc.）
OTFC シリーズはエッジフィルタ、帯域フィルタ、AR コーティング等の
OTFC series, based on the ion-assisted technology, are the most
シフトレス光学フィルタを安定生産するためのイオンビームアシスト蒸着
suitable coating system for producing AR coatings and optical
（IAD）式高性能光学薄膜形成装置です｡
filters such as edge filters, band pass filters etc.
特長
FEATURES
■ チャンバーサイズ： φ 600 mm - φ 1800mm
■ Chamber size: φ 600mm- φ 1800mm
■ 60 点式高精度光学膜厚計で光学膜厚を測定・制御
■ 60-point optical thickness monitor.
■ RFイオンソースは大面積かつ均一な分布と高電流密度を実現、
ハイレー
■ RF ion source achieving uniformed, larger ion beam distribution
トでの成膜が可能
■ 電子銃２基を搭載し、多点るつぼとアニュラーハースにより１００層を超え
る積層が可能
over a larger area at high ion current density.
■ Over 100 layers can be deposited by 2 EB guns and multi-point
crucible hearth or annular hearth.
■ 自動蒸着制御システムによるプロセスの全自動化
■ Auto-deposition control system for fully automated process.
■ 基板ドームは中心回転式または遊星回転式かどちらかを選択可能
■ Center-driving or planetary substrate dome is selectable.
■ 排気系は拡散ポンプ＋ポリコールドまたはクライオポンプかの選択が可能
■ Diffusion pumps plus Polycold or Cryo- pumps.
特別仕様成膜例
Examples of Special Coatings
EST Parameter:
｡
High Temperature: 500 C in an air oven for 24 hours.
Humidity: 50｡C at 90-95%RH for 48 hr
Boiling Water: boiling water for 10 minutes
Moisture Temperature: 2 cycles of 15 min in water; heated to 400｡C for 30 min
Adhesion test: No peeling and crack by 3M Scotch No. 610
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OPTORUN CO.,LTD.
製品
成膜装置
OTFC-1100
OTFC-1300
OTFC-1100
OTFC-1300
OTFC-1100CBI/DBI
SUS304, φ 1100mm × 1520mm (H)
φ 950mm
10 rpm to 50 rpm（可変）
HOM2-R-VIS350A 型光学モニタ
波長範囲 : 350nm to 1100nm
反射式 / 透過式
XTC/3 +6 点ロータリーセンサ
電子銃 2 基
17 cm RF イオンソース
あらびきポンプ + 拡散ポンプ 2 基 + ポリコールド
あるいはクライオポンプ 2 基 + スーパートラップ
OTFC-1300CBI/DBI
SUS304, φ 1300mm × 1610mm (H)
φ 1130mm
10 rpm to 50 rpm（可変）
HOM2-R-VIS350A 型光学モニタ
波長範囲 : 350nm to 1100nm
反射式 / 透過式
XTC/3 + 6 点ロータリーセンサ
電子銃 2 基
17 cm RF イオンソース
あらびきポンプ + 拡散ポンプ 2 基 + ポリコールド
あるいはクライオポンプ２基 + スーパートラップ
7.0 × 10-5Pa 以下
20 分（大気圧∼ 1.3 × 10-3Pa まで）
最高：350℃
7.0 × 10-5Pa 以下
15 分（大気圧∼ 1.3 × 10-3Pa まで）
最高：350 ℃
約 5000mm (W) × 6000mm (D) × 3300mm (H)
3 相 , 200V, 50/60Hz, 約 100kVA
120 / 分以上
0.5MPa 以上
約 8500kg
約 5000mm (W) × 6500mm (D) × 3500mm (H)
3 相 , 200V, 50/60Hz, 約 104kVA
140 / 分以上
0.5MPa 以上
約 9000kg
OTFC シリーズ仕様例
型番
真空チャンバ
基板ドーム
基板ドーム回転速度
光学膜厚制御システム
水晶式膜厚計
蒸発源
イオンソース
排気システム
性能
到達圧力
排気時間
基板ヒータ設定温度
所要諸元
設置寸法
所要電力
所要流量
所要空気圧
本体重量
Specifications of OTFC Series
Model
Vacuum Chamber
Substrate Dome Size
Substrate Dome Rotation Speed
Optical Film Thickness Control System
Crystal Film Thickness Monitor
Evaporation Source
Ion Source
Vacuum System
OTFC-1100CBI/DBI
SUS304, φ 1100mm × 1520mm (H)
φ 950mm
10 rpm to 50 rpm (Variable)
HOM2-R-VIS350A High-precision Optical Monitor
Wavelength range: 350nm to 1100nm
Reflection/Transmittance
XTC/3 plus 6-point rotary sensor
EB source: 2 units
17cm RF Ion Source
Roughing Pump, 2 Diffusion Pumps + Polycold
Or 2 Cryo Pumps + Super Trap
OTFC-1300CBI/DBI
SUS304, φ 1300mm × 1610mm (H)
φ 1130mm
10 rpm to 50 rpm (Variable)
HOM2-R-VIS350A High-precision Optical Monitor
Wavelength range: 350nm to 1100nm
Reflection/Transmittance
XTC/3 plus 6-point rotary sensor
EB source: 2 units
17 cm RF ion source
Roughing Pump, 2 Diffusion Pumps + Polycold
Or 2 Cryo Pumps + Super Trap
7.0 × 10-5Pa or lower
30 min (Atm. to 1.3 × 10-3Pa)
350℃ (max.)
7.0 × 10-5Pa or lower
30 minutes (Atm. to 1.3 × 10-3Pa)
350℃ (max.)
5000mm (W) × 6000mm (D) × 3300mm (H) approx.
3-phase, 200V, 50/60Hz, 100kVA approx.
120 /min or greater
0.5MPa or greater
8500kg approx.
5000mm (W) × 6500mm (D) × 3500mm (H) approx.
3-phase, 200V, 50/60Hz, 104kVA approx.
140 /min. or greater
0.5MPa or higher
9000kg approx.
Performance
Ultimate Pressure
Pump Down Rate
Substrate Heater
Utility
Layout Dimensions
Power Requirements
Cooling Water Flow Rate
Compressed Air Pressure
Gross Weight
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「薄膜ソリューションを提供するオプトラン」
OTFC-1550
OTFC-1800
OTFC-1550
OTFC-1800
OTFC-1550CBI/DBI
SUS304, φ 1550mm × 1800mm (H)
φ 1400mm
10 rpm to 30 rpm（可変）
HOM2-R-VIS350A 型光学モニタ
波長範囲 : 350nm to 1100nm
反射式 / 透過式
XTC/3 + 6 点ロータリーセンサ
電子銃 2 基
17 cm RF イオンソース
あらびきポンプ + 拡散ポンプ 2 基 + ポリコールド
あるいはクライオポンプ２基 + スーパートラップ
OTFC-1800CBI/DBI
SUS304, φ 1800mm × 1920mm (H)
φ 1600mm
10 rpm to 30 rpm（可変）
HOM2-R-VIS350A 型光学モニタ
波長範囲 : 350nm to 1100nm
反射式 / 透過式
XTC/3 + 6 点ロータリーセンサ
電子銃 2 基
23 cm RF イオンソース
あらびきポンプ + 拡散ポンプ 2 基 + ポリコールド
あるいはクライオポンプ２基 + スーパートラップ
7.0 × 10-5Pa 以下
20 分（大気圧∼ 1.3 × 10-3Pa まで）
最高：350℃
7.0 × 10-5Pa 以下
20 分（大気圧∼ 1.3 × 10-3Pa まで）
最高：350℃
約 5500mm (W) × 7200mm (D) × 3700mm (H)
3 相 , 200V, 50/60Hz, 約 120kVA
180 / 分以上
0.5MPa 以上
約 11000kg
約 5700mm (W) × 7700mm (D) × 4000mm (H)
3 相 , 200V, 50/60Hz, 約 150kVA
220 / 分以上
0.5MPa 以上
約 13000kg
仕様は予告なく変更されることがあります。
OTFC-1550CBI/DBI
SUS304, φ 1550mm × 1800mm (H)
φ 1400mm
10 rpm to 30 rpm (Variable)
HOM2-R-VIS350A High-precision Optical Monitor
Wavelength range: 350nm to 1100nm
Reflection/Transmittance
XTC/3 plus 6-point rotary sensor
EB source: 2 units
17 cm RF ion source
Roughing Pump, 2 Diffusion Pumps + Polycold
Or 2 Cryo Pumps + Super Trap
OTFC-1800CBI/DBI
SUS304, φ 1800mm × 1920mm (H)
φ 1600mm
10 rpm to 30 rpm (Variable)
HOM2-R-VIS350A High-precision Optical Monitor
Wavelength range: 350nm to 1100nm
Reflection/Transmittance
XTC/3 plus 6-point rotary sensor
EB source: 2 units
23 cm RF ion source
Roughing Pump, 2 Diffusion Pumps + Polycold
Or 2 Cryo Pumps + Super Trap
7.0 × 10-5Pa or lower
20 minutes (Atm. to 1.3 × 10-3Pa)
350℃ (max.)
7.0 × 10-5Pa or lower
20 min (Atm. to 1.3 × 10-3Pa)
350℃ (max.)
5500mm (W) × 7200mm (D) × 3700mm (H) approx.
3-phase, 200V, 50/60Hz, 120kVA approx.
150 /min or greater
0.5MPa or greater
11000kg approx.
5700mm (W) × 7700mm (D) × 4000mm (H) approx.
3-phase, 200V, 50/60Hz, 150kVA approx.
180 /min or greater
0.5MPa or greater
13000kg approx.
Specifications may be subject to change without notice.
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OPTORUN CO.,LTD.
製品
成膜装置
プラスチック基板用成膜装置
OTFC-L
Optical Thin Film Coater
for coating on plastic substrates
OTFC-L
プラスチック基板用成膜装置 OTFC-L はプラスチック基板対応可能に
This optical thin film coater is newly designed for coating at
新規設計されています。独自の薄膜形成技術を用い PMMA、ポリカー
plastic substrate .Our unique technology allows making coatings
ボネート、Zeonex、その他、高機能プラスチック基板へ精密な多層光
on various plastic substrates such as PMMA, Polycarbonate,
学薄膜を成膜する光学薄膜成膜装置です。
Zeonex,etc
特長
FEATURES
■ プラスチック基板に最適な装置設計
■ Optimum design for coating on plastic substrates
■ 特殊な成膜プロセスによりプラスチック基板上への高品質な光学薄膜
の生産が可能
■ High quality optical films produced on plastics by special coating
processes.
■ 厳しい環境試験をクリア
■ 自動制御システムにより成膜が自動化
金属ミラー成膜装置
■ Passed strict environmental tests.
■ Automatic coating processes achieved by ACS program.
OTFC-M
Optical Thin Film Coater
for metal mirror
OTFC-M
OTFC-M は金属薄膜用形成装置です。この装置の特徴はハイレートで
This optical thin film coater is designed for producing high
高品質の金属ミラーと、高精度の光学薄膜の作製が可能です。金属ミ
performance metal mirror. Both metallic mirrors and quality optical
ラーの薄膜は弊社独自の薄膜形成技術を用い、高反射で耐久性の良い
films can be made at high rate. Metal mirrors are resistant with
薄膜の生産が可能です。
high reflection by applying our unique technology.
特長
FEATURES
■ 高性能金属ミラーに最適な装置設計
■ Optimum design for metal mirrors.
■ 高反射率を可能とする排気システム
■ High reflection index achieved by the exhaust system.
■ 厳しい環境試験をクリア
■ Passed strict environmental tests.
■ 自動制御システムにより成膜が自動化
■ Automatic coating processes achieved by ACS program.
遊星回転式成膜装置
OTFC-PX
Optical Thin Film Coater
with planetary dome
OTFC-PX
OTFC-PX は遊星回転機構とイオンソースを搭載しリフレクターや高曲率
OTFC-PX, equipped with a planetary dome and ion source is
のレンズに対応した薄膜形成装置です。
suitable for coating a reflector and lenses with high curvature.
特長
FEATURES
■ 遊星回転機構により面内分布が向上
■ Planetary dome improves coating uniformity over substrate.
■ 基板ドーム角度は可変しレンズ曲率にあわせ傾けることが可能
■ Dome angle can be inclined in accordance with lens curvature.
■ IAD により膜質が向上
■ IAD system greatly improves film quality.
■ 光学膜厚システムにより球面状基板でも均一性の高い成膜を実現
■ High precision spectrum property at spherical substrate can be
obtained at high accuracy by optical monitor.
■ 大型チャンバ（チャンバーサイズφ１８００）に搭載された遊星回転機構が
生産性をアップ
■ Large size chamber (1800 mm in diameter) with planetary dome
increases productivity.
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