吸着プレート

メカニカルステージ／ステージ用アクセサリ／その他
CONTACT
［東京］TEL：03 (3257)1911・FAX：03 (3257)1915
［大阪］TEL：06 (6306)1911・FAX：06 (6306)1912
E-mail：[email protected] URL：www.chuo.co.jp
自動ステージ
吸着プレート
手動ステージ
ステージ用
アクセサリ
マイクロ
メータヘッド
MSS-150A-VA
スペーサ
アダプタ
セラミックス焼結法の採用により、多孔質セラミックス内部からの発塵の心配がなく、使用環境を汚染しません。
ブラケット
の保持に適しています。
吸着面全面にわたり均一な吸着力を発生いたします。従って、穴開き真空チャックが苦手とする厚みの薄いワーク、フィルム等のワーク
定盤サイズの大きなものを製作しても、多孔質セラミックスの比重はアルミニウムより小さく
（比重：1.6 ～ 1.8）
、軽量なので、装置等の
その他
軽量化にも役立ちます。
製
品
番
製
品
価
平
面
仕様・適合製
質
主要材質／表面処
号
名
格
度
品
量
理
MSS-150A-VA
MSS-200A-VA
MSS-300A-VA
吸着プレート
受注生産
0.005 ㎜
MSS-150C 用
2.0 ㎏
MSS-200C 用
3.0 ㎏
0.01 ㎜
多孔質セラミックス、アルミ合金／黒アルマイト梨地
※掲載製品の外観図面
（2D/3D）
データはホームページ
《http://www.chuo.co.jp》
Web 製品カタログよりダウンロードできます。
吸着プレート使用例
778
ユニット製品総合カタログ 38号
MSS-300C 用
6.2 ㎏
メカニカルステージ／ステージ用アクセサリ／その他
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自動ステージ
製品の外観図
水平調整用ねじ(3ヶ所)
ステージ用
アクセサリ
100
160
40
190
セラミック部 160
95
82
2
手動ステージ
210
200
セラミック部 160
マイクロ
メータヘッド
4-4.5キリ, 7.5深ザグリ 20
19
5
スペーサ
吸着エリアφ140
アダプタ
MSS-150A-VA
ブラケット
その他
水平調整用ねじ(3ヶ所)
150
210
63
250
セラミック部 210
125
115
10
270
260
250
セラミック部 210
4-4.5キリ, 7.5深ザグリ
20
19
5
吸着エリア φ190
MSS-200A-VA
水平調整用ねじ(3ヶ所)
200
275
345
セラミック部 310
86
172.5
158
3
370
360
350
セラミック部 310
4-4.5キリ, 7.5深ザグリ
20
19
5
吸着エリア φ290
MSS-300A-VA
ユニット製品総合カタログ 38号
779

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