LCDworks FPD業界向けの統合された拡張製造進捗管理システム LCDworksとは？特長 LCDworksは、Brooks Automation社が開発した、多様なFPD（フラット・パネル・ディスプレイ）メーカ向けの統合拡張MES（製造進捗管理システム）です。LCDworksは、TFT、 STN、PDP、OLED、CF、FEDを含むアレイからモジュール工程までをカバーした、はじめての統合MESです。＞柔軟な全自動化に対応＞マルチチャンバ/インライン装置のサポート＞柔軟性の高いWIPおよびプロセス・フロー設定全自動対応 LCDworkは、全自動で動作するように設計されています。Manual （手動）、 Semi-Auto （半自動）、 Selection Auto（選択自動）、Full Auto（全自動）の4つのモードが同じ動作シナリオを使用するので、異なるモード間での整合性が保たれます。＞複雑なキャリア管理が可能＞多種多様な動作シナリオによるセル工程管理＞技術移転 4つのモードがすべて同じ動作シナリオで機能するためには、インターフェイス・メッセージ＞統合ソリューションのタイプとシーケンスが同じでなければなりません。つまり、サーバー、ユーザ・インターフェ＞優れた技術でお客様固有のソリューイス、装置インターフェイスといったシステム内の各オブジェクトは、動作モードが変わっても同じ動作を行います。LCDworksは、システムを一切変更せずに、本番稼動環境を手動から自動へ切り替えることができます。装置インターフェイスとユーザ・インターフェイスは、同じビジネス・ルールを使用します。両インターフェイスは、同じビジネス・ルールを使用することで、クライアントとサーバー間の通信を行います。異なるモード間で、動作が異なることはありません。したがって、トラック・インやトラック・アウトを自動モードの装置インターフェイスで実行しても、手動モードでオペレータが実行しても、LCDworksは同じように動作します。また、LCDworksは、すべての動作モードで同じ情報を共有します。オブジェクトが全自動モードで制御されている場合、そのオブジェクトを手動モードで制御しても、オブジェクトは同じ動作を行います。＞ LCDworksは、3レベルのトレーサビリティをサポートしています。アレイから始まり、ロット、コンポーネント（ガラス）、サブコンポーネント（パネル）という3 レベル構造で、ロットのトレースが可能です。ションを構築 LCDに固有の要件をすべてサポート監視システムは、ユーザが事前に描画ツールを用いて作成し LCDworksは、LCD業界の自動化サポートに第一の重点を置いた装置レイアウト上に、ラインの詳細状況を表示します。管理て設計されました。LCDworksのユーザ・インターフェイスは、者は、ラインにある装置の状況を容易に監視できます。装置 3レベルの追跡・照会に対応しています。また、ロットのトレーレイアウトは、監視クライアントを変更することなく、簡単にスと合わせてキャリア管理をサポートします。LCDworksは、変更できます。また、レイアウトはリアルタイムに更新されまアレイ、セル、モジュールにおける一次カット、二次カット、す。このように、監視システムはツール・ベースのシステムな組立て、インライン装置管理など、LCDに固有の要件をすべので、どこででも使用することができます。てサポートします。さらに、LCDworksは、3レベルのトレーサビリティに対応しています。ロットは、ロット、コンポーネン LCDworksのモジュール：ト（ガラス）、サブコンポーネント（パネル）という3レベル構 • WIP管理造でトレースすることが可能です。それらの関係は、ロットの • ビジネス・ルール管理トランザクションごとに管理され、コンポーネントの履歴が保 • キャリア管理存されます。既存の豊富なビジネス・ルールにより、ルール・ • インテリジェントユーザ・インターフェイスライブラリからルールを組み合わせて選択することができます。 • インテリジェント装置インターフェイス • 装置管理＆全自動制御柔軟性 • MHSインターフェイス/ディスパッチングお客様の多様な要件に対応するためには、LCDworksのような • エンジニアリング・データ収集（EDC）/統計的プロセス拡張性のあるMESソリューションが必要です。また、標準機管理（SPC）能とユーザ要件のギャップを埋めるためのカスタマイズ機能も • アラーム管理求められます。しかし、カスタマイズには、保守の問題や追加 • 電子エンジニアリング・ノート（EEN）的な開発作業が伴うことが多く、余分なコストが発生しがちで • レシピ管理（RCP）す。LCDworksなら、ビジネス・ルールを使用することで、こ • レチクル管理（MASK）のような問題を軽減することができます。 • データ・リンク管理ユーザは、ビジネス・ルールを使用することで、コア・システシステム要件ムを一切変更せずに、機能の追加、削除、更新を行うことが • サポートされるプラットフォーム：できます。ビジネス・ルールはステップに追加されます。新し • サーバー側：いビジネス・ルールをステップに追加したり、ステップから削 • Compaq-UX 除する場合、または既存のビジネス・ルールを変更する場合、 • HP-UX 必要なのはステップの情報を変更することだけです。このタス • Sun-Solaris クは稼動中のシステムそのものから分離されているので、変更 • クライアント側：は、ビジネス・ルールの内部だけに発生します。これにより、ユー • Windows NT/2000 ザは、柔軟な処理を行うことができます。理論的には、追加できるビジネス・ルールは無制限です。設定可能なLCDworksのユーザ・インターフェイスを使用すれば、ユーザは次のような処理を実行できます。＞画面に表示されるデータ項目を選択する。＞各画面のロット・リストのフィルタリング条件を変更する。＞ホット・キーと機能の対応関係を変更する。＞ポート管理やキャリア管理といった基本機能を有効または無効にする。ブルックスオートメーションジャパン株式会社本社〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜2-14-2 新横浜三誠ビル5階 TEL：045-478-7370 FAX：045-478-7371 名古屋オフィス〒460-0011 愛知県名古屋市中区大須4-1-70 THKビル7階 TEL：052-238-2801 FAX：052-238-2802 www.brooks.com