マイクロエッチング剤 M U R A T A Co.,Ltd. MEOX 0908A-N2 ムラタのマイクロエッチング剤“ＭＥＯＸ”は、銅および銅合金素材においてスマット発生のない良質な表面状態を得るために考案されたものです。ＭＥＯＸは酸性過酸化物の粉末であり、この水溶液に硫酸またはリン酸を添加してマイクロエッチング液を作成します。 ■ 特長 ■ ・目的に応じたエッチングスピードが容易に設定、管理できます。 ― リン酸型は硫酸型の約２倍のスピードです・添加酸によって目的に応じた表面状態が得られます。 ― 硫酸型は粗く、リン酸型はなめらかで表面を平滑化できます・補給により、長期間安定したエッチングスピードを維持できます。・放置による分解は、液中に銅が溶解してもほとんどありません。・水洗性が良いためエッチング後錆発生が起こりにくいです。・非常に安全、安定な製品です。 ■ 性状外 ■ 観白色粉末嵩比重 1.1∼1.4 爆発性無ｐＨ（10％Liq,25℃） 1.5 ■使用方法■ ◇ 設備 ◇ 槽ＰＶＣ、ポリエチレン、ポリプロピレン、テフロンなど（チタンは使用不可）換気必要攪拌機械、空気またはスプレー加熱石英、テフロンコーティングヒーター添加酸試薬級水イオン交換水 ● 本社・工場 / 〒651-0071 神戸市中央区筒井町２丁目２− ８ / 電話（078）221−7071（代） / ファクス（078）221−7074 株式会社ムラタＭＵＲＡＴＡＣｏ.,Ｌｔｄ. ● HEAD OFFICE / 2-8, Tsutsui-cho,2-chome,Chuo-ku, KOBE, 651-0071 ＪＡＰＡＮ / TEL.（078）221-7071 / FAX.（078）221-7074 MEOX，［0908A-N2］ −2/3 ◇ 建浴方法 ◇ １）槽を完全に洗浄する。２）槽の３/４にイオン交換水を入れる。３）ＭＥＯＸを加え溶解する。４）添加酸をゆっくり加え、作業液面までイオン交換水を加える。５）撹拌後浴温を調整し、エッチングスピードを確認する。 ◇ 浴組成及び作業条件 ◇ 図Ⅰ，Ⅱを参考に、目的とするエッチングが得られる組成および作業条件を選択して下さい。浴温、時間設定後は、ＭＥＯＸ濃度の管理のみでエッチング量が操作できます。リン酸型は硫酸型に比べててエッチングスピードを速く設定できますが、液寿命は短くなります。さらにスプレーの場合は、揺動と比べて２∼３倍のエッチングスピードが得られます。また、エッチングスピードは、素材の経歴や結晶の差異など様々な要因の影響を受けます。このため、前もって実際の材質と同じ素材を用いて確認することをお勧めします。ＭＥＯＸ硫酸（95%）リン酸（85%）浴温攪拌エッチングスピード (g/L) (ml/L) (ml/L) (℃) (μｍ/min) 硫酸型リン酸型 30∼150 20 30∼150 − 20 20∼50 20∼50 揺動揺動 0.25∼4.5 0.25∼7.8 6 6 浴温 20℃ 30℃ 40℃ 50℃ 4 浴温 20℃ 30℃ 40℃ 50℃ 5 ｴｯﾁﾝｸﾞｽﾋﾟｰﾄﾞ(μm/min) 5 ｴｯﾁﾝｸﾞｽﾋﾟｰﾄﾞ(μm/min) − 3 2 4 3 2 1 1 0 0 0 30 60 90 ＭＥＯＸ(g/L) 図Ⅰ．硫酸型 120 150 0 30 60 90 120 150 ＭＥＯＸ(g/L) 図Ⅱ．リン酸型型 −詳しくは技術資料を参照下さい MEOX，［0908A-N2］ −3/3 ■管理方法■ ◇ ＭＥＯＸ濃度 ◇ ＭＥＯＸ溶液分析法（技術資料Ⅰ）により管理します。エッチングスピードは、ＭＥＯＸ濃度に大きく影響されるため、特にエッチングスピードの速いリン酸型においてはこまめに分析、補給を行って下さい。 ◇ 寿命 ◇ 液寿命は、① 溶解した銅とＭＥＯＸ成分で形成される銅塩の溶解度と② ＭＥＯＸ自体の溶解度に支配されます。このどちらかが限界に近づいたとき、エッチングムラが生じやすくなるので液を更新して下さい。限界の目安は、① の場合、硫酸型で 15g C u / L 、リン酸型で 12g C u / L、 ② の場合、建浴と補給に使用した MEOX の総量が下表の溶解度に近づいたときです。これらの値は、作業条件などにより多少の変動があるので余裕を持って更新されることをお勧めします。但し、浴温の低下により結晶が析出した場合は、溶解度内であれば作業温度に設定することで溶解できます。温度(℃) 溶解度(g/100ml H20) 5 20 30 50 60 70 15.0 25.5 26.8 30.0 31.5 33.5 ■ 取扱上の注意■ ・眼や皮膚に接触しないよう、ゴーグル、安全手袋を着用してください。また、作業環境基準値以上の高濃度の場所で作業を行う場合には、防塵装置についた空気呼吸器を使用して下さい。・低温で換気が良好な乾いた場所で保管してください。また、可燃性の物質と混載しないで下さい。 −詳しくはＭＳＤＳを参考にして下さい。 ■ 荷姿 ■ ２５ｋｇクラフト袋当カタログの記載内容は、必要に応じてお断りなく変更することがあります。