ピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG ■概要 ■用途 Ni フィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVD ・半導体、電子デバイス製造装置 RoHS 対応ドライエッチング装置、プラズマ CVD 装置、LD-CVD などのハードプロセス装置に対応したモデルです。装置など ■特長・食品・医薬品製造装置真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など・耐食性の向上 Ni フィラメント採用等・再現性がよく低価格・５×１０-2Pa から大気圧・取付方向の制約なし ■仕様 M-351PG-SP （Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ）測定圧力範囲 5 × 10-2 ～ 1× 105（Pa） ± 50％： 5 × 10-2 ～ 1× 10-1 ± 15％： 1× 10-1 ～ 1× 104 精度（Pa） ± 50％： 1× 104 ～ 1× 105 再現性 ±　2％： 1× 10-1 ～ 1× 104　Pa 入力電圧 DC+14 ～ 30V 消費電力 2W アナログ出力 0　～　10V ゲージ認識抵抗値 13K Ω（D-sub5-9 番ピン間）セットポイント 2 接点出力（1A30V,DC）インターフェース ― 入出力コネクタ D-sub ９ピン最大ケーブル長 200 ｍ　(0.34mm2)　対応可能＊ 1 使用温度範囲 5　～　60℃ 保存温度範囲 -20　～　70℃（非動作時）＜＋ 150℃（O リング仕様、ゲージヘッドのみ）ベーキング温度ゲージヘッドのみ）＜＋ 300℃（メタルシール仕様、許容過負荷圧力 1MPa （継手形状 NPT に限る、不活性ガスに限る、絶対圧）適合ピラニセンサ型名 MP-2 フランジ形状 NW16、 NW25、 1/8NPT ピラニフィラメント　：　ニッケルセンサー材質センサーチューブ　：　ステンレス（主要部）導入端子絶縁部：コバールガラス＋ Al2O3 コート保護規格 IP40 RoHS, CE マーキング対応型名 ■外形寸法図＊1 M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。 ■オーダリングインフォメーション製品コード型　名商　品　名品　名備　考 22665 M-351PG-SP/N16 ピラニゲ－ジ（Ni ﾌｨﾗﾒﾝﾄ） NW16 ﾌﾗﾝｼﾞ付 22666 M-351PG-SP/N25 ピラニゲ－ジ（Ni ﾌｨﾗﾒﾝﾄ） NW25 ﾌﾗﾝｼﾞ付 22668 MP2/N16 PIRANII GAUGE HEAD（Ni-FIL） NW16 ﾌﾗﾝｼﾞ付 22669 MP2/N25 PIRANII GAUGE HEAD（Ni-FIL） NW25 ﾌﾗﾝｼﾞ付キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.8.9 キヤノンアネルバ株式会社 1 2011年9月作成東日本エリア〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1 ・エレクトロンデバイス製造装置 TEL 044-980-5155 ・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置 TEL 044-980-5132 ・パネルデバイス製造装置 TEL 044-980-5131 ・真空コンポーネント TEL 044-980-3503 〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33 ・各種装置関係・真空コンポーネント FAX FAX FAX FAX 無断転載禁止 044-986-4236 044-986-4236 044-986-4236 044-986-4236 西日本エリア九州エリア TEL 06-6821-9701 TEL 06-6821-9708 FAX 06-6821-9702 FAX 06-6821-9702 〒862-0924 熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ TEL 096-385-3111 FAX 096-385-3061 ※ 輸出・移転・処分に関する注意本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。 ※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。 ※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。 ※ 禁無断転載・複写本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。 http://www.canon-anelva.co.jp/