クリスタルイオンゲージ M-336MX RoHS 対応 ■概要低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつクリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-A ゲージを採用したコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの 1 台で測定できます。 ■特長・クリスタルゲージとミニチュア B-A ゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ・超高真空から大気圧・高精度、低真空領域において優れた再現性 ■仕様 ■用途クリスタルイオンゲージ型　名 M-336MX-SP セットポイント付タイプ圧力測定範囲※ 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造 M-336MX-RS RS485 タイプ装置の圧力測定など 4 × 10-8 ～ 1× 105(Pa) 入力電圧 DC+20 ～ 28V 消費電力 12W アナログ出力 0 ～ 10V ■外形寸法図 ― セットポイント ― インターフェイス ― RS485 入出力コネクタ D‐sub9 ピン最大ケーブル長 300m（1mm2) ＊ 1 保護規格 IP40 対応 5 ～ 50℃ 使用温度範囲※ 2 保存温度範囲 -20 ～ 70℃（非動作時）センサ－型名 MX-1 ※2 センサー材質（主要部）フィラメント：Y2O3/Ir、ケース：SUS304 外形寸法（mm）フランジ形状 149 × 70 × 50(NW25) ※１．測定下限圧力はＢ - Ａゲージの軟Ｘ線限界を示します。測定下限圧力ＩCＦ：10-7Pa 台ＮＷ：10-6Pa 台 ※ 2．高温での使用及び保存は寿命低下の原因となります。 NW16、NW25、NW40、φ70ICF 保護規格 IP40 RoHS, CE マーキング対応＊1 M-601/603GC 表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。 ■オーダリングインフォメーション製品コード 21242 21243 21244 21245 22545 22546 22547 22548 22549 22550 22551 22552 商　品　名型　名備　考品　名 MX-1/N16 CRYSTAL ION GAUGE HEAD NW16 フランジ付 MX-1/N25 CRYSTAL ION GAUGE HEAD NW25 フランジ付 MX-1/N40 CRYSTAL ION GAUGE HEAD NW40 フランジ付 MX-1/C70 CRYSTAL ION GAUGE HEAD φ70ICF フランジ付 M-336MX-SP/N16 クリスタルイオンゲージ NW16 フランジ付 M-336MX-SP/N25 クリスタルイオンゲージ NW25 フランジ付 M-336MX-SP/N40 クリスタルイオンゲージ NW40 フランジ付 M-336MX-SP/C70 クリスタルイオンゲージ φ70ICF フランジ付 M-336MX-RS/N16 クリスタルイオンゲージ（RS485 仕様） NW16 フランジ付 M-336MX-RS/N25 クリスタルイオンゲージ（RS485 仕様） NW25 フランジ付 M-336MX-RS/N40 クリスタルイオンゲージ（RS485 仕様） NW40 フランジ付 M-336MX-RS/C70 クリスタルイオンゲージ（RS485 仕様） φ70ICF フランジ付キヤノンアネルバ株式会社　真空機器総合カタログ　Vol.8.9 キヤノンアネルバ株式会社 1 2011年9月作成東日本エリア〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1 ・エレクトロンデバイス製造装置 TEL 044-980-5155 ・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置 TEL 044-980-5132 ・パネルデバイス製造装置 TEL 044-980-5131 ・真空コンポーネント TEL 044-980-3503 〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33 ・各種装置関係・真空コンポーネント FAX FAX FAX FAX 無断転載禁止 044-986-4236 044-986-4236 044-986-4236 044-986-4236 西日本エリア九州エリア TEL 06-6821-9701 TEL 06-6821-9708 FAX 06-6821-9702 FAX 06-6821-9702 〒862-0924 熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ TEL 096-385-3111 FAX 096-385-3061 ※ 輸出・移転・処分に関する注意本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。 ※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。 ※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。 ※ 禁無断転載・複写本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。 http://www.canon-anelva.co.jp/