ポスト ポスト オプティカル 暗室・ 光学 システム スタンド ベース 暗箱 実験台 防振台 防振台・光学実験台ガイド Vibration Isolators and Laboratory Benches 信頼性のある実験・測定結果や、安定した加工精 度を実現するためには、基礎となる架台や定盤の 性能を無視することは出来ません。 特にシビアな実験や計測を行う上では、床面から の振動の影響を避けるためにも防振機能が重要と なります。 シグマ光機ではレーザ干渉計システムの構築に適 した高性能な防振台から、簡易的な実験に導入し やすい定盤まで各種ご用意しておりますので、実 験・計測・加工など用途や求める精度に合わせて ご検討ください。 セレクトガイド 防 振 台 アクティブ防振台 卓上型 干渉計 卓上型アクティブ微小振動制御システム TS 床振動に対し逆位相の振動を瞬時に与えて振動を相殺するアク ティブ防振台です。0.7∼100Hzを防振します。 空気ばね式防振台 架台型 ［水平レベル自動型］ 高性能大形防振台 TDI-LA/LM 水平・垂直方向に対して高い防振効果を発揮するパッシブ型最高 性能の防振台です。 ［固有振動数 垂直：約 1.3Hz 水平：約 0.5Hz ］ ［アルミハニカム定盤］ ［水平レベル自動型］ ［水平レベル手動型］ 大形防振台 HOA-LA/LM 垂直防振を 「精密空気ばね」 方式で行なう標準的な大型防振台です。 ［アルミハニカム定盤］ ［水平レベル自動型］ ［固有振動数 垂直：約 1.5∼1.75Hz ］ ［水平レベル手動型］ 卓上型 卓上型防振台 DT-A/M 省スペース化や小型光学系・顕微鏡観察系などに有効な卓上型防 振台です。 ［水平レベル自動型］ ［水平レベル手動型］ ［固有振動数 垂直：約 2.0∼2.3Hz ］ 実 験 台 架台付 架台付光学実験台 HA-L ベンチと架台間に防振ゴムを装備し簡易的な防振機能を持たせた 実験台です。 定盤のみ ［アルミハニカム定盤］ ［簡易防振］ 光学実験台 HA ベンチと架台間に防振ゴムを装備し簡易的な防振機能を持たせた 実験台です。 ［アルミハニカム定盤］ FB ［アルミハニカム定盤］ シグマグラナイト定盤 TBE/TBG 温度変化の影響を受けにくく、安定性の高いグラナイト製の定盤 です。 ［グラナイト製定盤］ 搭載盤面積 光学防振台・光学実験台の搭載盤には、アルミハニカム製フラットベン チ（TDI・HOA・HA・FBシリーズ） 、普通鋼板（DTシリーズ） 、グラナイ ト製（TBE・TBGシリーズ）のタイプがございます。豊富なサイズを規格 品化しておりますが、規格サイズ以外の仕様に関しても製作検討致しま す。尚、卓上型アクティブ微小振動制御システム（TSシリーズ）は規格 サイズのみの取扱となります。 （単位：ｍｍ） 種類 アルミハニカム製 フラットベンチ 普通鋼版 卓上 アクティブ型 グラナイト製 形状 最小 最大 ベース 光源 手動ステージ X軸 XY軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ・傾斜 多軸 M6 直動ガイド 自動ステージ フラットボード 薄形で軽量な光学実験台で、簡易的な実験やサブ実験台として有 効です。 ホルダー ピエゾ ステッピング スケール付 ACサーボ ソフトウェア ケーブル オプション アクチュエータ マイクロメータ・ 微調ネジ ブラケット・ スペーサー アクセサリ・ メンテツール 800×600 2,300×1,500 480×400 400×450 800×600 600×800 200×200 2,000×2,000 , 付属ビス C103 光学 暗室・ オプティカル ポスト ポスト 防振台 実験台 暗箱 ベース スタンド システム 防振台・実験台ガイド フラットベンチの構造 光学防振台・光学実験台で使用しているフラットベンチは、アルミハニ カムコア（連続蜂の巣形状）の上面に着磁性ステンレス鋼板、下面に普 通鋼板を使用して、エポキシ系接着剤で全面接着した軽量かつ剛性に優 れたベンチです。 フラットベンチの上面は無塗装です。また、ケガキ線、特殊タップ穴等 の加工、変形ベンチなどの製作も可能です。 上面板（着磁性ステンレス鋼板） アルミハニカムコア 縁材レザー仕上 下面板（普通鋼板） フラットベンチのタップ穴構造 干渉計 ホルダー 光学防振台・光学実験台に使用しているフラットベンチ（アルミハニカム製）は標準で全面25mm間隔 XYM6タップ穴加工を施しています。M4、M5、 M6、インチサイズなど指定の穴位置やマトリクスに加工することが可能です。 タップ間加工精度は±0.05mmです。 （25mmピッチ時） フラットベンチ上面タップ穴数早見表 ベース 光源 手動ステージ X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ・傾斜 多軸 M6 直動ガイド フラットベンチサイズ （mm） 800× 600 1,000× 700 1,200× 900 1,500×1,000 1,500×1,200 1,800× 900 1,800×1,200 2,000×1,000 2,000×1,200 2,000×1,500 2,000×2,000 2,200×1,000 2,200×1,200 2,200×1,500 2,300×1,500 2,400×1,200 フラットベンチタップ穴間隔XY（全面） 100mm 50mm 25mm 48 70 108 150 180 162 216 200 240 300 400 220 264 330 345 288 165 247 391 551 667 595 805 741 897 1,131 1,521 817 989 1,247 1,305 1,081 713 1,053 1,645 2,301 2,773 2,485 3,337 3,081 3,713 4,661 6,241 3,393 4,089 5,133 5,369 4,465 フラットベンチサイズ （mm） 2,400×1,500 2,600×1,200 2,600×1,500 2,600×2,000 2,800×1,200 2,800×1,500 2,800×2,000 3,000×1,200 3,000×1,500 3,000×2,000 4,000×1,500 4,000×2,000 5,000×1,500 5,000×2,000 6,000×1,500 6,000×2,000 フラットベンチタップ穴間隔XY（全面） 100mm 50mm 25mm 360 312 390 520 336 420 560 360 450 600 600 800 750 1,000 900 1,200 1,363 1,173 1,479 1,989 1,265 1,595 2,145 1,357 1,711 2,301 2,291 3,081 2,871 3,861 3,451 4,641 5,605 4,841 6,077 8,137 5,217 6,549 8,769 5,593 7,021 9,401 9,381 12,561 11,741 15,721 14,101 18,881 タップの種類 M4 M5 M6 M8 ＜細目＞ M10 ＜細目＞ M12 ＜細目＞ ネジピッチ（mm） 0.7 0.8 1.0 1.25 ＜1.0＞ 1.5 ＜1.25＞ 1.75 ＜1.5＞ 自動ステージ ピエゾ ステッピング スケール付 ACサーボ ソフトウェア ケーブル オプション アクチュエータ 架台 光学防振台・光学実験台は重量物のため、搬入費用が別途必要となりま す。また搬入時には、搬入場所に適した車・人員・工具等が必要です。 そこで、お見積時・搬入時にはお手数ですが次項の表をコピーしてご記 入の上、当社営業部までFAXまたは郵送してください。 地震対策について マイクロメータ・ 微調ネジ ブラケット・ スペーサー アクセサリ・ メンテツール C104 搬入費 光学防振台・架台付光学実験台に使用している架台は、脚と連結パイプ とを溶接することにより接続してあり、さらに、剛性を高めるため脚連 結パイプ共太くしてあります。 防振効果は光学防振台に使用している「精密空気ばね」以外にも、架台 の構造と剛性に大きく依存しています。脚と脚を連結する角パイプは倒 止めのためでなく、架台の「ねじれ」防止が主目的です。この角パイプを 細くしたり、薄い板を使用したりすると、架台の一次共振周波数を低下 させ、床から伝わる振動周波数に共振し、総合的な防振効果を大きく損 なう原因となります。レベリングボルトはフラットベンチや搭載機器の 重量を支えるもっとも重要な部品の１つです。床と架台の接点であるボ ルトの径の大小（ボルトの剛性）が光学防振台・架台付光学実験台の総 合性能に大きく影響します。規格品以外の架台も製作いたします。 www.sigma-koki.com *[email protected] レベラー固定金具 地震等にて、光学防振台・架台付光 学実験台が移動・転倒しないようアン カーボルトにて固定する要望が年々高 まっております。 アンカーボルト施工は専用の業者へご 依頼願います。 （当社では対応するこ とができません。 ） ベンチ部に追加工が必要となる場合 は、別途お問い合わせ下さい。 尚、レベリングボルト部を押さえ固定 するレベラー固定金具をオプション パーツとして、ご用意しております。 搬入手段・環境のご確認（搬入費見積用） ■ 見 積 ■ 注 文 年 月 日 □ 東京本社営業部行 03-5638-6550 □ 大阪支店行 06-6307-4834 □ 九州営業所行 092-481-4310 ■ 見 積 ■ 注 文 空気ばね式防振台 機種選定チェックシート 年 月 日 □ 東京本社営業部行 03-5638-6550 □ 大阪支店行 □ 九州営業所行 06-6307-4834 092-481-4310 精密空気ばねを使用した「空気ばね式防振台」を選定される場合、お客様の目的や仕様に適しているか確認が必要となります。 以下の項目にご記入の上、営業担当へご依頼ください。（対象機種：TDI-LA/TDI-LM/HOA-LA/HOA-LM/DT-A/DT-M) ※搬入手段・環境のご確認シートをご記入いただいた場合、上記省略可。 □新規 ご 注 文 実 績 □リピート（搭載荷重・設置場所とも変更がなく選定に問題ない場合） （またはご使用実績） □リピート（搭載荷重は変更がなく設置場所に変更がある場合） 搭載物または用途 概 算 搭 載 荷 重 N または kgf 概算搭載分布条件 □均等荷重 □偏荷重 □搭載物が一定でない。 mm 概算搭載物重心位置 概算搭載物最大高さ 荷 重 条 件 mm □重心位置が変わる動的荷重（自動ステージ等） □静的荷重 ※動的荷重を選択の場合、下記①∼④もご記入ください。 ①使用軸 （ X ・ XY ・ Z ・ XZ ・ XYZ ・ 回転 ・ 傾斜 ） 軸 ②最大ストローク（mm ・°等） ③最高速度（mm/s ・°/s等） ④自動ステージ等に搭載している荷重 ※必要に応じてポンチ絵を描いてご説明ください。 N または kgf 光学 暗室・ オプティカル ポスト ポスト 防振台 実験台 暗箱 ベース スタンド システム 防振台・実験台ガイド 精密空気ばね 精密空気ばね（ダイヤフラム型） オリフィス フラットベンチ 空気ばね エアータンク 空 気 空 気 オリフィス 架台脚 干渉計 全ての光学防振台に使用している「精密空気ばね」は、3系統15種類に 分かれ各々搭載機器に適した精密空気ばねを選択し、どのような搭載機 器に対しても最適な光学防振台となるように設計・開発したものです。 精密空気ばねは、ダイヤフラム型（おわんを伏せた形状）を使用しており、 精密空気ばね１つで垂直・水平方向の防振をしています。 全ての光学防振台にオリフィスを使用しています。オリフィスとは精密 空気ばねとエアータンクの間に設けてあるしぼり弁で、このしぼり弁に よってエアーダンピングをかけ、フラットベンチの揺れを収束させます。 注 意 ホルダー ●長期間使用しない場合でも精密空気ばねに対し、給気をやめたり空気を抜かない でください。 空気ばねがつぶれリークする恐れがあり、 寿命が著しく短くなります。 ベース 光源 ダミーウェイト バケットタイプ 手動ステージ X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ・傾斜 多軸 M6 直動ガイド ダミーウェイト オートレベルセンサ レベルアジャスター バケット fig1 自動ステージ ピエゾ ステッピング スケール付 ACサーボ ソフトウェア ケーブル オプション アクチュエータ 自在キャスター fig2 《例》 ●卓上型防振台の場合、搭載板の厚さを規格品より厚く する。 ●角柱状のダミーウェイトを収納する「バケット」を用い る。 （fig1） この場合のダミーウェイトは数本準備して必要本数を バケットの中に出し入れします。 ●フラットベンチの下にフラットベンチと同程度の面積 の鉄板を固定します。 （fig2） ※基本的なダミーウェイトの重量の求め方 搭載可能（最適）重量ー搭載機器重量＝ダミーウェイト重量 水平レベル手動型 水平レベル手動型の光学防振台には、空気源としての「ハンドエアーポ ンプ」と、 「給排気バルブ専用ムシ回しドライバー」を標準付属品として います。 マイクロメータ・ 微調ネジ ブラケット・ スペーサー アクセサリ・ メンテツール ハンドエアーポンプおよび給排気バ ルブ専用「ムシ」回しドライバー C106 ストッパー 搭載する機器が光学防振台の最適重量（搭載可能重量） に満たない場合は、ダミーウェイトを用いて最適な負荷 荷重にすることにより、光学防振台の固有振動数をもっ とも低くすることができます。 また搭載する機器が、偏荷重になっている時に防振台上 の荷重を平均させる場合や重心位置を下げる場合等にも 利用します。 目的に応じてダミーウェイトの形状、材質などが変わり ます。 （別途お打合せ） ハンドエアーポンプによるエアー供給 www.sigma-koki.com *[email protected] ポスト ポスト オプティカル 暗室・ 光学 システム スタンド ベース 暗箱 実験台 防振台 防振台・実験台ガイド 水平レベル自動型 オートレベルセンサ 空気源 オートレベルセンサは、フラットベンチ上の搭載機器の配置による偏荷 重や、機器の重心移動または機器の載せ降ろしの際に生じるフラットベ ンチの傾きを、短時間に復帰させる働きをします。 水平を維持させるために、センサ取付け部3ヶ所とフラットベンチ下面 3ヶ所との間の変位量を基準位置から判断し、エアーの給排気を自動的 に行ないます。 圧力 ❶ チ ッ ソ ボ ン ベ ❷ 工 ❸ エアーコンプレッサー 場 エ ア ー 水平レベル自動型の光学防振台はオートレベルセンサ付のため、圧力源 が必要となります。左の❶❷❸のいずれかをご用意ください。 ※「空気源」の1次側圧力には、0.3∼0.7MPa（約3∼7kgf/cm2）が必 要です。 ※設置室に空気源がない場合、静音で室内で使用できる「サイレントコ ンプレッサー」を用意しております。 エアー配管 単位：MPa 実際の搭載荷重量（対搭載可能重量比）均等負荷条件 95∼80％ 79∼50％ 49∼30％ 29∼10％ 9∼1％ 品番 0.3 0.3 0.17 TDI-LA HOA-LA DT-A 0.27 0.27 0.15 0.25 0.25 0.14 0.2 0.2 0.14 0.15 0.15 0.13 （1）圧力源（圧力供給側） 小型コンプレッサー：0.5∼0.6MPa（約５∼６kgf/cm2） 工場エアー配管 ：0.5∼0.6MPa（約５∼６kgf/cm2） チッソ配管 ：0.5∼0.6MPa（約５∼６kgf/cm2） チッソボンベ ：高圧につき必ずボンベ付帯のレギュレーターにて コンプレッサー等と同等の圧力範囲に設定してく ださい。 （2）圧力源が低圧の場合 防振台側のレギュレーター圧力調整（上限数値のロック）を行うため、 上記の防振台使用圧力表に掲載されている数値の最低0.1MPa（約 1kgf/cm2）アップは圧力源として必要です。これに満たない場合はご 相談ください。 （3） レギュレーターの圧力表示 レギュレーター圧力表示をMPa（メガパス）にて表記しています。旧 単位で使用する場合、0.1MPa≒1kgf/cm2 で換算してください。 干渉計 ホルダー 付属品の直径6mmのチューブ 配管済みのチューブ 付属品のワンタッチ継手 防振台 ベース 圧力源 光源 レギュレーター （チューブの入れ方） しっかりと奥まで差し込む φ6用ワンタッチ継手 PT 1/4インチネジ ①防振台に取付けられているレギュレーター部に配管用チューブをつな いでください。 レギュレーター部ワンタッチ継手にて容易に配管ができます。 （外径φ6mm×内径φ4mm 長さ5mの配管用チューブは標準付属品） ②次に圧力源に対し、配管用チューブをつなぎます。 圧力源側のメネジがPT 1/4インチでありましたら、付属のφ6ワン タッチ継手（PT 1/4オネジ付）をスパナで締め上げてください。 配管用チューブは①同様、容易に配管ができます。 手動ステージ X軸 XY軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ・傾斜 多軸 M6 直動ガイド 自動ステージ サイレントコンプレッサー PC 品番 PC-10H-S 価格 〔￥〕 130,000 納期の 目安 問 納期 A…受注後1週間、問…要問合せ 電源 消費電力 外形寸法 機体重量 圧力スイッチ 空気吐出量 空気タンク容量 空気吐出口口径 作動圧力 復帰圧力 50Hz 使用時 60Hz 使用時 騒音レベル A スケール 機体塗色 圧力ゲージ 圧力開閉バルブ タンク下部ドレンコック AC100V 50/60Hz 200VA 430（W）×200（D）×445（H）mm 17kg 0.35MPa 0.60MPa 12.0〔リットル / 分〕 18.0〔リットル / 分〕 10リットル φ6 ワンタッチ継手（PT1/4オネジ付） 配管用チューブ 5m付 54dBA クリーム系ホワイト 最小0∼最大1MPa 1ヶ所 1ヶ所 ピエゾ ステッピング スケール付 ACサーボ ソフトウェア ケーブル オプション アクチュエータ マイクロメータ・ 微調ネジ ブラケット・ スペーサー アクセサリ・ メンテツール ●空気源が必要となる自動型光学防振台専用のサイレントコンプレッ サーです。 設置室に空気源が無い場合のオプション品です。 ●オイルフリーの為、クリーンなエアーが供給できます。 , 付属ビス C107
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