多チャンネル極低温読み出しシステムの 実現へ向けて 日比康詞、松尾宏(NAOJ)、永田洋久、池田博一 (ISAS/JAXA)、藤原幹生(NiCT) 内容 極低温読み出しシステムの導入の目的と世界的状況 GaAs JFETの利点 極低温デジタル読み出しシステムの概要 GaAs JFETを用いた集積回路の現状 32chマルチチップモジュール まとめ 極低温読み出し回路の導入目的 極低温(<4K)で運用する検出素子からの信号を精度よ く読み出すため 多素子の検出器アレイと組み合わせたカメラの実現 ○多チャンネル拡張の可能性を有すこと ->マルチプレックスが容易 ->とても低い消費電力 ⇒多チャンネル極低温読み出しシステムの実現 (タイムドメイン型・高インピーダンスタイプの検出素子) 極低温読み出し回路の世界的状況 Spitzer /MIPS, SOFIA /AIRES Hershel /PACS AKARI /FIS Si CMOS (特殊基板) Si CMOS (特殊基板) Si pMOS (商用プロセス) 運用温度 1.5K-3.4K 1.5K-2.0K 1.7K-2.2K 増幅回路方式 DC CTIA AC CTIA DC CTIA 消費電力(mW) 1.3 4 10 増幅回路 増幅率 >1000 >1000 >300 マルチプレクサ 論理ゲート 2n本のDI シフトレジスタ 単純 1chに1本のDI 運用可能速度 ? ~10k Hz? ~10 kHz 全て半導体光検出素子と組み合わせて使用されている。 ○特殊基板だと 初期不良率が 大きい。 Ex. Spitzerの回 路: おおよそ 50% ○極低温FET特 性が良くない Ex. Hershelの FET特性 GaAs JFETsのススメ GaAs JFETは極低温(<4K, 0.3Kでも)、低消費電力 (<1mW)でとても良い静特性をもつ。 D(Depletion)型、E(Enhancement)型両方とも存在し、いく つかのゲートサイズも選択できる。 EFETのON抵抗が比較的小さく(<1MW)、OFF抵抗が非 常に大きい(>10TW)。またゲート容量も小さい(<100fF)。 入力換算電圧性雑音が比較的小さく(~1mVr/Hz0.5)、 ゲートリーク電流がとても小さい(<10aA)。 高インピーダンスの負荷と組み合わせても超過雑音が 発生しない。=SiMOS回路に対する明白な利点 ×nJFETしか無い(商用では製造していない)。 構想するデジタル読み出し回路システム 極低温 駆動 クロック シフトレジスタ (SIS光子検出器) 回路 電源 A/D 電荷積分と インピーダンス変換回路 電圧分配器 サンプル アンド ホールド マルチプレクサ 駆動 クロック CMOSカメラシステムのコピーであり、Hershel/PACS用と似た構成 多チャンネル電荷積分型増幅回路 2008年設計積分回路 C=3pF 消費電力:<3mW/ch 実効増幅率:>1800(Best) 反転増幅回路の増幅率:>5000 Rd オフセット電圧ばらつき:~0V ch毎に調整できる Vb 入力換算電圧性雑音:~3mVrms/Hz0.5@1Hz Vb=+4mV 0.4 OUT(V) 0.3 16ch集積回路 0.2 0.1 0 1.9mm X 7.6mm -0.1 -0.2 -0.3 0 0.001 0.002 time(s) 0.003 0.004 32chシフトレジスタと 32chサンプルホールドつきマルチプレクサ 32ch Multiplexer with sample-and-holds 32ch Shift-Register Combination test Raw Data DIP Package Input Signal 0.3 0.7 MUXOUT1 CH1 CH8 0.2 0.6 0.1 0.5 0 32-channel Multiplexer 0.4 -0.1 32-channel Shift-Register -0.3 4K Input L N2 P.S. 32chシフトレジスタと32chサ ンプルホールドつきマルチ プレクサをDIPパッケージ上 で直接ボンディングして極 低温で動作試験。 総消費電力~ 200 mW 0.2 0 0.1 0.2 A/D L He Clocks 0.3 -0.2 0.3 0.4 0.5 0 0.1 CH1 time(s) 0.3 0.4 0.5 time(s) CH8 CH1 OUTPUT 0.7 0.2 CH8 OUTPUT 0.7 MUXOUT1-CH1 0.6 0.6 0.5 0.5 0.4 0.4 0.3 0.3 0.2 0.2 0.1 0.1 MUXOUT1-CH8 0 0.1 0.2 0.3 time(s) 0.4 0.5 0 0.1 0.2 0.3 0.4 time(s) MST/SLVに起因するスパイクノイズが見えている 0.5 32ch電圧分配器 2008年設計 32chシフトレジスタ+サンプルホールド チャンネルごとに別の電圧を出力できる回路。 16chAC結合CTIAの電源電圧パラメーターをチャン ネル毎に与えることができる。 入力信号と10番目及び20番目の出力 消費電力:0.52mW/ch 1.9mm X 7.6mm 他の極低温読み出し回路との比較 Spitzer /MIPS, SOFIA /AIRES Hershel /PACS AKARI /FIS Our Study Si CMOS (特殊基板) Si CMOS (特殊基板) Si pMOS (商用プロセス) GaAs nJFET (商用プロセス) 運用温度 1.5K-3.4K 1.5K-2.0K 1.7K-2.2K 0.3K-4.2K 増幅回路方式 DC CTIA AC CTIA DC CTIA AC CTIA 消費電力(mW) 1.3 4 10 10 (3+5+1+2) 増幅回路増幅率 >1000 >1000 >300 >1800 マルチプレクサ 論理ゲート 2n本のDI シフトレジスタ 単純 1chに1本のDI シフトレジスタ マルチプレクサ数 32ch/unit 64ch/unit? 5ch/unit 32ch以上 運用可能速度 ? ~10k Hz? ~10 kHz >100 kHz 我々の開発した極低温読み出しシステムは、大規模アレイとの組み合わせ運用に堪える。 極低温デジタル読み出しシステムの実証へ 32chマルチチップモジュール 単独のICを極低温で組み合 わせて使用するため。 LTCC Detector 昨日(2010/3/5)納入 16ch電荷積分型増幅回路 16ch電荷積分型増幅回路 32chサンプルホールドつき マルチプレクサ 32chサンプルホールドつき マルチプレクサ 32chシフトレジスタ 32chシフトレジスタ Room Temperature Electronics 32ch電圧分配器 32ch電圧分配器 40mm X 30 mm X 2mm 現状総消費電力: < 400 mW この大部分はシフトレジス タの消費電力 32chマルチチップモジュール SNAPSHOT ROLLING まとめ GaAs JFETで構成された各種集積回路:電荷積分型増幅回路、 マルチプレクサ、シフトレジスタ及び電圧分配器の極低温に おける特性を確認した。 多素子の検出器アレイと組み合わせることが可能な拡張性 の高い多チャンネル極低温読み出しシステムの概念設計を 行った。 GaAs JFETで構成された各種回路を電気的にコンパクトに接 続するための32chマルチチップモジュールを設計した。昨日 納入。 現状のシステムは各回路の消費電力が更なる多チャンネル 化における課題になっている。 このシステムは高インピーダンスタイプの極低温で運用する あらゆる検出素子と組み合わせることが可能。
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