飛行時間法を用いた2次イオン質量分析装置の設計 及び

飛行時間法を用いた2次イオン
質量分析器の設計及び開発
(環境計測学研究室) 横山 卓司
研究背景
232Th
235U
存在比 (%)
・ 微量元素分析の応用→考古遺物の産地推定
・ 鉛同位体分析
ウランやトリウムなどの放射性元素の壊変により
岩石中の鉛の同位対比は変化
60
↓
50
238U
鉱床鉛を形成
40
↓
30
鉱床ごとに鉛の同位対比は
異なると考えられる
20
↓
10
考古遺物の産地推定が可能
0
204Pb
206Pb
207Pb
208Pb
研究目的
・ 鉛の同位体 が分離可能な
飛行時間型2次イオン質量分析器
(Time of Flight:TOF)の開発
・ 要求される性能
206Pbと207Pb、208Pbを分離可能
飛行時間型イオン質量分析装置の概要
イオン、レーザー、電子
T∝(m/q)1/2
T:イオンの飛行時間
m:イオンの質量数
q:イオンの電荷
試料
M1 +
M2 +
M3 +
飛行空間
M3 + > M2 + > M1 +
GND
H.V
イオン引き出し部
質量分離部
検出器
飛行時間型イオン質量分析装置の特徴
・構
造: 磁界や大電流を使わない
→小型化が容易
・測定範囲: 軽イオンから重イオンまで
幅広く測定できる
・測定時間: 1測定は1ミリ秒以下
<欠点>
磁場型や四重極に比べて
質量分解能が低い
生成位置によるばらつき
生成イオン(質量は等しい) ΔT:飛行時間差
potential
ΔT
distance
ΔS
GND
detector
ΔS : 初期生成位置のずれ
H.V
生成位置によるばらつき2
ΔT:飛行時間差
potential
ΔT
detector
distance
生成位置による飛行時間差が最小になるように
各電極間の距離、電場を調整
初期エネルギーによるばらつき
ΔT
生成イオン
GND
H.V
drift region
distance
detector
フリンジング
リペラー
イオンの軌道
フライト
チューブ
引き出し電極
図
イオン軌道ソフトSIMIONによるフライトチューブの
入り口の電場の歪み
フリンジングにより2次イオンが発散し、検出効率が低くなる
フリンジング
・イオン軌道ソフトSIMIONを用いて
2次イオンの軌道を計算
・フライトチューブ入り口にメッシュをはることで2次イオン
の発散が抑えられていることがわかる。
メッシュなし
メッシュあり
設計概略図
124 mm
加速イオン メッシュ(30mesh/inch)
2次イオン
生成領域
40 mm
2次イオン
Es
Ed
リペラー 引き出し電極
フライトチューブ
検出器(MCP)
半値幅(Full Width at Half Maximum)
count
M
M+1
M-1
ΔM
time of flight
鉛の同位体を
分離するのに
要求される質量分解能
M/ΔM ≈ 200
実験方法
入射イオン(37keV H+)
MCP
衝突領域
ガス
2次イオン
(He,Ar,Xe)
TOF装置
MCP
Timing Filter Amp
フライトチューブ
Constant Fraction
Discriminator
Constant Fraction
Discriminator
スタート信号
Timing Filter Amp
Time to Amplitude
Converter
Multi Channel Analyzer
ストップ信号
実験結果
•
•
•
•
•
ターゲット Xeガス
真空度 2.0×10-4(Pa)
加速イオン 37keV H+
Es=1.0×105(V/m)
Ed=2.0 ×105(V/m)
質量分解能
M/ΔM ≈138
まとめ
• 飛行時間型2次イオン質量分析器の製作
• 得られた質量分解能はM/ΔM ≈ 140<200
• 鉛の同位体を分離するのに十分な質量分解能は得
られなかった。
原因
・ 2次イオンの生成位置のずれ
・ リペラーと引き出し電極間の電場の歪み
考察
・ 2次イオンの生成位置のずれ
・ リペラーと引き出し電極間の電場の歪み
加速イオン
リペ
ラー
引き出し電極
研究背景
2.1
NORTH CHINA
2.0
SOUTH CHINA
中国産鉱石
朝鮮産鉱石
SOUTH KOREA
1.9
208Pb/206Pb
2.2
NORTH KOREA
0.75
0.80
0.85
0.90
207Pb/206Pb
東アジア鉱石の鉛同位対比
0.95
質量分解能
・半値幅(FWHM) で得られたTOFの質量分解能を評価
207Pb+
10
FWHM (nsec)
9
132Xe+
8
7
Ar+
6
5
He+
4
3
2
1
0
1.5
3
4.5
6
7.5
√m/q
9
10.5
12
13.5
15
謝辞
• 長らくの ご清聴ありがとうございました。