PowerPoint プレゼンテーション

ウェットプロセスによる光学薄膜の応
用
~反射防止膜~
研究背景
反射防止膜の原理
~反射防止膜の用途~
カメラレンズ
屈折率
n0<nl<ng
窓ガラス
反射光
(n0=1)
ハウスデザインプロジェクトHPより
アプリケーショ
ン
反射光が弱め合う
太陽電池
入射光
λ/4n1
眼鏡
SPACE-DEVICE株式会社HPより
◆カメラレンズや眼鏡などは透過率を向上させることに
より視認性の向上に繋がります。
◆太陽電池では表面に加工することで、透過率が向上し
変換効率の上昇に繋がります。
λ
n0
nl 低屈折率層
ng ガラス基板
波長λに対する反射を最小にする条件
d   4n1
透過光
※従来の方法(ドライプロセス)では、高コストであったり高温高真空を必要として
いました!
当研究室では環境負荷を考慮し、さらに常温常圧過程で低コストで作製しています。
作製方法は、ウェットプロセスである交互積層法を用いています。
交互積層法と
は・・・
1 bi-layer×N
カチオン溶液
純水リンス アニオン溶液 純水リンス
Layer-by-Layer Method(LBL法)とは、プラスのイオンが存
在する水溶液とマイナスのイオンが存在する水溶液に基材を交
互に浸漬することを繰り返すことで、静電相互作用によりイオ
..
ンが吸着して薄膜を形成していく方法です。特徴として、様々
な材質や様々な形状の物質の表面に、低い環境負荷で低コスト
の作製プロセスと材料を用いて、ナノメートルオーダーの制御
された膜を作製できることが挙げられます。
交互積層法の利点
◆静電的吸着による高い制御性・安定性
◆常温・常圧・水系過程により低環境負荷
◆
の超薄膜の作製が可能
研究者名
お問合せ先
白鳥世明
慶應義塾大学 理工学部 物理情報工学科 白鳥研究室
〒222-8522 神奈川県横浜市港北区日吉3丁目14-1
TEL/FAX : 045-566-1602
E-mail : [email protected]
Eco
Optical Thin Film
膜厚を制御することによって様々な機能を持たせられる光学薄膜
LBL法を用いて、レンズやディスプレイなどの精密
機器だけでなく、様々な用途に用いられる光学薄膜を
作製する研究をしています。
光学薄膜の原理は、基板の表面に光の波長の4分の1
に当たる厚さ(100ナノメートル程度)の膜を作製す
ることにより、基板と膜の界面による反射光と空気と
膜の界面による反射光が干渉を起こして、打ち消し
あったり強めあったりする現象を利用しています。
LBL法の持つナノオーダーの膜厚制御性と材料の選
択性が、様々な膜厚や屈折率を持った膜を積層可能と
させています。そのため、目的とする干渉を得るため
の設計に対して、非常に良い応答を示します。
入射光
反射防止膜
λ/4 基板
λ
180°の位相のズレ
干渉による相殺
透過光
反射光
Fig. 反射防止膜の原理
Anti Reflective Films
Fig. 左 ガラス 右 反射防止膜
反射防止膜
数ある光学薄膜の中で、最も身近に使われているの
がこの反射防止膜。特定波長を選択的に反射防止する
機能は、その波長の透過を強くすることでもあります。
左の図は反射防止膜の一例です。目が最も強く感じ
る波長550nmの光を反射防止することで透過率が上昇
し、ガラスの向こうに見える文字が見えやすくなって
いるのがわかります。このような機能は実際にメガネ
に使われている他、車のリアガラスやカメラのレンズ、
テレビのディスプレイなど、より多くの光を透過した
いような場面で様々に応用されています。当研究室で
は、水系にも関らずガラス上で鉛筆強度5Hの硬さを持
つ反射防止膜の作製にも成功しています。汎用性の高
い膜を、水系・常温・常圧で作れるのも、LBL法の工
業的に優れる点であるといえます。
High Reflective Films 増反射膜
反射防止膜に加えて、さらに応用が広いのがこの増
反射膜です。設計によっては、特定波長の反射を強め
るだけでなく、その他の波長の透過を同時に高めるこ
ともできます。
例としては、可視光波長の透過を強めながら近赤外
の熱線を反射する事で、室内の気温上昇を抑えること
のできる省エネ窓を実現できます。また、レーザーの
反射を強めて損失を少なくすることのできる反射鏡、
蛍光灯の効率を上げることのできる増反射フィルムな
ど、その用途は多岐に渡ります。これらの膜は、より
精密な膜厚制御を必要とするため真空状態での製膜が
主要な製法でした。しかし低コストで安全性の高い
LBL法で、再現性の高い膜厚制御を確立しこのような
光学薄膜についても実用が期待できるレベルまで達し
ているため、現在もさらなる性能向上に向けて研究を
行っています。
■株式会社 SNT
〒212-0032 神奈川県川崎市幸区新川崎7番1号
慶應義塾大学K2タウンキャンパスO棟103号室
TEL : 044-580-1566 FAX : 044-580-1436
URL : http://www.snt.jp
反射増加
Fig. 左 ガラス/中央 増反射膜1/右 増反射膜2
■慶應義塾大学 理工学部 物理情報工学科 白鳥研究室
〒222-8522 神奈川県横浜市港北区日吉3丁目14-1
TEL/FAX : 045-566-1602 E-mail : [email protected]
URL : http://www.appi.keio.ac.jp/shiratori/seimei/index-jp.html