研削実験の状況報告 第17回新技術望遠鏡技術検討会 2009年7月25日 名古屋大学 所 仁志 前回のおさらい • セグメント 非軸対称形状 粗加工(#170) 前回のおさらい • レーザー変位計 + X-Y同期形状ならい、8方向 • 補正なしで ~4 mm (p-v)、非軸対称性はなさそう • 4月からC社に依頼されたレンズ(計2枚)の加工 - 当初は5月中旬に終わる予定だった… • 1枚目のレンズでトラブル - 仕上げ直前にスクラッチ発生、原因解明・対策・修復に 1.5ヶ月以上 • 現在、2枚目を加工中 • 今回はスクラッチについて報告 ワーク • 直径880 mm, 近似R1,500 mm非球面, 66 mm凹 • #170 #325 #1,200の順に加工、 #1,200(平均粒径14 mm)でスクラッチ発生 スクラッチ • 計3箇所、半径(砥石回転)方向 • 幅~0.3 mm, 長さ~10 mm 深さ~50 mm R190 mm (5/12) R210 mm (5/23) R160 mm (5/11) 中心 • 顕微鏡による観察(×300) 1 mm 中心 • クラックが進行する恐れがあり、手研磨で除去 (~300 mm) スクラッチ発生原因 • 加工プログラムの確認中に発生、ワークと砥石の 隙間は20~100 mm (#1,200平均粒径:14 mm) • 研削液内の異物 (100 mm <)が砥石 に巻き込まれた • 異物の発生原因 - 砥石エッジの欠け - 砥石カバー内の汚れ - 研削液の浄化が不十 研削液の浄化が不十分 100 mm 異物の採集1 • 10 mmメッシュフィルターで研削液を濾過(半日) 異物の採集2 • メーカー仕様では“濾過精度0.5 mm”のはずが… 異物 • 錆・塗装片などの除去のため、有機溶媒・酸処理 • 割り箸の先に異物を付着さ せて、ガラスをこする “ガラス切りの感触で (舞原先生)”スクラッチが ついた 研削液の循環(対策前) • ダーティー槽とクリーン槽がタンク底面でバイパス フィルター (5mmメッシュ) 研削盤へ 研削盤から 3m クリーン槽 1.5 m ダーティー槽 研削液の循環(対策後) • タンク-研削盤の間に2段のフィルターを設置 フィルター (100mmメッシュ) フィルター (5mmメッシュ) 研削盤から 研削盤へ 3m フィルター (10mmメッシュ) 1.5 m まとめと予定 • フィルターを設置することで、異物の混入はなくなっ た(スクラッチの発生もなくなった) • 2 2枚目のレンズは8/5に出荷予定 • 8/6からセグメントの加工を 再開 - 研削時はもぐらを使わない (温度むら・変化によって、基盤 形状が時間変化するため) - t20 mmの面板を使用
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