望遠鏡技術検討会副鏡計測の要素実験報告 2012年6月6日京都大学宇宙物理学科修士二年出口和弘副鏡検査方法案 • 研削盤にレーザー変位計を取り付け、表面走査で計測する方法を考案中。レーザー変位計今回：レーザー変位計の性能試験をした結果を報告使用予定の変位計と要求仕様キーエンスLT9010 • 分解能 10nm • 温度ドリフトあり要求 -傾斜面でも十分な分解能(～10nm) -計測時間中(～6時間) 安定傾斜がある場合の分解能確認実験クリアセラム(1200番での研削面)を傾けた状態で計測傾斜があると分解能が悪化するかどうか確認 8°傾斜での実験結果 (um) 計測距離計測時間(sec) 傾斜があった場合の分解能変化を確認 9.7nm(RMS)で安定傾斜なしと同程度温度特性確認実験・気温=23±0.1℃ ・クリアセラム上に配置・クリアセラムの蒸着面を計測変位計出力値と変位計温度の相関を見た変位計出力値と温度の相関 (um) 計測距離＊温度計精度 0.1℃ 変位計温度(℃) 温度特性 1400nm/℃ 長期ドリフトの原因変位計試験まとめ実験内容結果分解能 8°傾斜でも十分な分解能を得られた ○ 温度特性 1400nm/℃の線形温度特性 △ 今後変位計の温度補償により精度向上を狙う～具体案(検討中) 変位計に金属ブロックを取り付け熱容量を増やす熱電対温度計によってフィードバックをかける距離センサ試験の報告導体 • コイルから導体までの距離に反応するセンサ • 導体なし(L一定)で試験浮遊容量Cを調べた • 温度特性あり仕様と逆の温度特性再現性試験は失敗カウントと温度の相関 1.0001 29.0℃ ２時間 26.0℃ 0.9993 カウント基準 ΔT Δcount 37832 2.5℃ 23count 仕様と逆の相関 29.0℃ 恒温槽の問題点 26.0℃ 29℃→26℃→29℃で運転命令元の温度に戻らない(±0.2℃) センサ実験まとめ • 導体なしで実験 Cのみの影響を調査 • 温度相関は逆センス • 恒温槽の再現性が0.2℃ほどずれる再現性実験に工夫が必要センサカウントと温度(導体あり) センサカウント緑：温度変化前青：温度変化後 -3.6count/℃ カウント平均～50792 20.0℃ 15.0℃ 温度カウントと温度の相関(今回の結果) • 温度変化中のデータは省いたセンサカウント LCではなく Cのみの影響 26.0℃ 温度 29.0℃ カウントと温度の相関(過去データ) 5カウント 23.5℃ 27.0℃ カウント変化量 6.5count/℃ (カウント平均37800) ＊センサボックスを恒温槽の中に入れているセンサの安定性 • 同一環境でも安定性に差異 • センサの選別が必要 • 5時間での安定性 0.22count(RMS) 1count=15nmとして 3.3nm カウント平均58686 LT9000