Umweltschutz • Anlagenschutz • Filtration • Abscheidung • Schalldämpfung• Umweltschutz Umweltschutz • Anlag Komplettlösungen für Vakuumfilter für Photovoltaik-Herstellungsprozesse LBERG S Filtration - Separation Zum Schutz der Vakuumpumpen und -Systeme Anwendungsspezifische Lösungen Solberg ist ein weltweiter Führer in der Filtrations- und Abscheidungstechnologie. Wir entwickeln, planen und fertigen Ansaug- und Ausblasfilterlösungen für die gesamte Palette von Vakuumanlagen, die bei der Herstellung von Photovoltaiksystemen verwendet werden. Diese Prozesse beinhalten von Natur aus eine Fülle von Filtrationsaufgaben: vom Abscheiden grober Staubpartikel bis hin zur Feinst-Filtration pyrophorischer und gefährlicher Materialien. Unsere individuellen Filterlösungen werden sowohl zum Schutz wichtiger Anlagenbauteile als auch zum Schutz der unmittelbaren Umgebung eingesetzt. Referenzen: Adixen-Alcatel, Busch, Ebara, Edwards, Oerlikon-Leybold, Tuthill, Ulvac, Varian und viele mehr. Filtrationslösungen für Photovoltaik - Herstellungsprozesse Dünnschichtmodule CVD, PVD, Sputtern, Ätzen "Foreline" Abscheider, Filter & Abgasfiltration Kristallzüchtung Monokristalline selbstreinigende Reverse-Pulse Ansaug-Vakuumfilter Multikristalline Blockgussproduktion Hochleistungs-Vakuum-Partikel-Filter Ofenlaminierung Hochstleistungs-Ansaug-Vakuumfilter Materialbearbeitung & Handhabung Ablation, Flankenreduzierung, Ritzen, Saugheben Ansaug-Vakuumfilter mweltschutz • Anlagenschutz • Filtration • Abscheidung • Schalldämpfung • Umweltschutz • An Hochleistungsvakuumfilter und Abscheider Einsatzgebiete & Vorteile Die Beseitigung schädlicher Partikel aus dem Prozeßablauf ist ausschlaggebend für die Langlebigkeit und Zuverlässigkeit von Vakuumanlagen, die bei der polykristallinen Blockgussproduktion, Dünnschichtmodulherstellung und Solarzellenlaminierung eingesetzt werden. Aggressive Partikel können die Vakuumumpe leicht beschädigen, was wiederum zu Ausfallzeiten und kostspieligen Reparaturen führt. Die Verhinderung von Rückströmungen in der Hoch-Vakuum-Phase ist auschlaggebend, um den Herstellungsprozess vor Kontamination zu schützen. Solbergs umfassendes Angebot an Ansaug-Vakuumfiltern und -Abscheidern ist so konzipiert, dass es sowohl für trockenlaufende als auch geschmierte Vakuumpumpen verwendet werden kann. Eine Vielfalt von Filtermedien, Anschlussarten und Herstellungsmaterialien sind verfügbar, um Pumpe und Prozess zu schützen. Selbstreinigende Vakuumfilter Einsatzgebiete & Vorteile In monokristallinen PV-Herstellungsverfahren können Staub und Partikel konventionelle Ansaug-Vakuumfilter überfordern. Solberg hat seine bewährte Reverse-Pulse-Technologie so optimiert, dass sie jetzt als RX-Baureihe im Solarmarkt zum Einsatz kommen kann. Die RX-Baureihe verlängert Wartungsintervalle und verbessert die Prozessproduktivität durch das pulsierende Einlassen von Luft oder Schutzgas in das System. Dieser Prozess befreit die verschmutzten Filterelemente vom Staub. Die Partikel können sich am Boden der Kammer absetzen und von dort aus leicht entfernt werden. Abhängig von den Einsatzbedingungen stehen entweder unser PTFEHochleistungselement oder ein Edelstahl "Dutch Twill" Element zur Verfügung, damit eine optimale Leistung der Vakuumpumpe durch maximiertes Leitvermögen und verlängerte Lebensdauer gewährleistet ist. Ausführungsmerkmale und techn. Daten • Wirkungsgrad PTFE Element: 99,97% bei 0,3 Mikron • • • Wirkungsgrad Dutch Twill Element: 99% bei 5 Mikron • Materialoptionen Gehäuse: Normalstahl mit Pulverlack- beschichtung oder hochwertiger Edelstahl • Anwendungsspezifische Filtrations- & Beschichtungsoptionen Helium-Leckageprüfung: Standard für Anwendungen bei Hoch-Vakuum-Anwendungen Rückströmungssicherung erhältlich auf Anfrage • Anlagenschutz • Filtration • Abscheidung • Schalldämpfung • Umweltschutz • Anlagenschutz U U Filter für Ölnebelabscheidung und Rückgewinnung Einsatzgebiete & Vorteile Solbergs ein- und mehrstufige Ölnebelabscheider sind dazu konzipiert, sichtbaren Ölnebel aus der Auslassseite von Vakuumpumpen mit Ölschmierung zu entfernen. Die Abscheider erfassen und verbinden den ölhaltigen Sprühnebel und verfügen über einen Ablaufmechanismus, der das Öl zur Pumpe zurückführt. Neben einer Reduzierung der Betriebskosten mindern die Ölnebelabscheider potentielle Gesundheits-, Sicherheits- und Umweltgefährdungen, die beim Ausstoß von Ölnebel in die unmittelbare Umgebung entstehen. Ausführungsmerkmale & techn. Daten: • Wirkungsgrad: 99,97% bei 0,3 Mikron • Zweistufensysteme für Höchstleistungseinsätze erhältlich auf Anfrage • Anwendungsspezifische Lösungen erhältlich auf Anfrage Edwards Vakuumpumpen im Einsatz bei der Glasbeschichtung: Zweistufige Ölnebelabscheider in Inline-Bauweise Filterlösungen für Ihre individuelle Anwendung: Reverse-Pulse-Einlass-Vakuumfilter Durchsichtiges Gehäuse mit selbstreinigender Druckstoßtechnologie Hochleistungs-Auslass-Vakuumfilter Filtergehäuse in Industriequalität erhältich in Normalstahl mit Pulverlackbeschichtung oder hochwertigem Edelstahl Einstufiger Ölnebelabscheider Hochleistungsabfluftfilter zur Abscheidung von Ölnebel, Dämpfen und Rauch S LBERG Hauptniederlassung: SOLBERG International, Ltd. 1151 Ardmore Avenue • Itasca IL 60143 • USA Tel: 001 630 616 4900 Fax: 001 630 773 2643 Vertriebsbüro West SOLBERG International, Ltd. c/o Continental Industrie GmbH 41539 Dormagen Tel: 49 2133 2598 50 Fax: 49 2133 2598 40 Vertriebsbüro Nord SOLBERG International, Ltd. Lars Siefke 22297 Hamburg Tel: 49 40 5079 2850 Fax: 49 40 5079 2851 www.solbergmfg.com Entdecken Sie die Möglichkeiten! SolarDE-0809
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