はじめまして 先端研

光を駆使して実現する
最先端ものづくり
高橋・小谷 研究室
(光製造科学)
次世代の最先端ものづくりの実現を目指し、我々生命体の根源をなす“光”エネルギ
を媒体とした新しい超精密ナノ加工・計測技術に関する研究を推進しています。次世
代の先進的製造現場を総合的に科学するために、直接的にものづくりを扱う“新原
理加工・計測要素技術開発”に加え、製造現場作業者の科学的支援に着目し、ヒト
の脳活動や血液の流れ計測といった“ヒトを計測・科学する研究”を含め、ハード面・
ソフト面の両面からの研究展開を実施しています。
Thickness=220nm
Cured resin
Glass substrate
エバネッセント露光で実現される
極薄型積層造形
Short Circuit
200nm
200nm
200 nm
20
20
40
40
60
60
80
80
100
100
120
120
140
140
160
(a)
160
(b)
180
200
20
40
60
80
100
120
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200
200
20
40
60
80
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160
180
200
Breaking of Wire
検査対象
通常顕微像
超解像処理後
NIRSを用いた脳血流計測の様子
半導体微細パターンの超解像検査
東京大学先端科学技術研究センター