４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム設備利用料表 2014.3.31 KAST 2016.06.09 変 更 4 大 学 ナ ノ ･マ イ ク ロ フ ァ ブ リ ケ ー シ ョ ン コ ン ソ ー シ ア ム の 設 備 を 利 用 す る 場 合 は 、 ①「装置利用料」＋ ②「施設の維持管理費」＋ ③「消耗品費」の合計額を徴収いたします。 ① 装置利用料 ・予約に基づき 1 時間単位で課金します。 ・装置利用に伴う光熱水費、共通消耗品費（手袋、薬品、ガスなど）等は、含まれています。 ・ AFM カ ン チ レ バ ー 、 ブ ラ ン ク マ ス ク な ど の 高 額 消 耗 品 は 別 途 の ③ 消 耗 品 費 を 負 担 し て 頂 き ま す 。 工程 成膜 転写 エッチ ング 装置名 ◾4 元 マ グ ネ ト ロ ン サ イ ド ス パ ッ タ 装 置 ◾ECR イ オ ン ビ ー ム ス パ ッ タ 成 膜 装 置 ◾パ リ レ ン 蒸 着 装 置 ◾ク ラ ス タ 型 コ ー タ デ ベ ロ ッ パ ◾ス ピ ン コ ー タ （ 大 ） ◾ス ピ ン コ ー タ （ 小 ） ◾ス ピ ン ド ラ イ ヤ ー ◾プ ラ ズ マ 装 置 （ ア ッ シ ャ ー ） ◾超 高 精 度 電 子 ビ ー ム 描 画 装 置 規格 CFS-4EP-LL EIS-230W PDS-2010 GAMMA MS-A200 MS-A100 SPD-160RN PR510 ELS-7800K ◾レ ー ザ ー 直 接 描 画 装 置 DWL66fs ◾手 動 両 面 マ ス ク ア ラ イ ナ MA6 BSA ◾ナ ノ イ ン プ リ ン ト 装 置 X-300 ◾高 密 度 プ ラ ズ マ ド ラ イ エ ッ チ ン グ 装 置 NLD-570 PlasmaPro100 ICP-180 FB-2200 MUC-21 ◾誘 導 結 合 プ ラ ズ マ ド ラ イ エ ッ チ ン グ 装 置 ◾集 束 イ オ ン ビ ー ム 加 工 観 察 装 置 ◾シ リ コ ン 深 掘 り DRIE 装 置 メーカー 芝浦メカトロニクス㈱ ㈱エリオニクス 日本パリレン合同会社 ズ ー ス・マ イ ク ロ テ ッ ク（ 株 ） ミカサ㈱ ミカサ㈱ ㈱ コ ク サ ン /エ ア ･ブ ラ ウ ン ㈱ ヤマト科学㈱ ㈱エリオニクス ハイデルベルグインストゥ ル メ ン ツ /㈱ 日 本 レ ー ザ ー ズ ー ス ・ マ イ ク ロ テ ッ ク (株 ) ㈱ SCIVAX /ユ ア サ エ レ ク ト ロ ニ ク ス ㈱ アルバック㈱ オックスフォード・インスト ゥルメンツ㈱ ㈱日立ハイテクノロジ－ズ 住友精密工業（株） 利用料 9,600 円 /時 間 9,600 円 /時 間 3,400 円 /時 間 11,200 円 /時 間 1,400 円 /時 間 1,400 円 /時 間 2,200 円 /時 間 2,200 円 /時 間 15,200 円 /時 間 設置場所 ＣＲ ＣＲ １０２ ＹＲ ＹＲ ＹＲ ＣＲ ＣＲ ＹＲ 15,200 円 /時 間 ＹＲ 4,800 円 /時 間 ＹＲ 6,000 円 /時 間 ＣＲ 11,800 円 /時 間 ＣＲ 15,400 円 /時 間 ＣＲ 20,600 円 /時 間 16,000 円 /時 間 ＣＲ ＣＲ 評価・ 計測 その他 ◾雰 囲 気 制 御 型 熱 電 子 放 出 型 走 査 電 子 顕 微 鏡 ◾原 子 間 力 顕 微 鏡 ◾3D リ ア ル サ ー フ ェ ス ビ ュ ー 顕 微 鏡 ◾断 面 試 料 作 製 装 置 （ ｸﾛｽｾｸｼｮﾝﾎﾟﾘｯｼｬｰ） ◾超 解 像 度 レ ー ザ ー 顕 微 鏡 ◾自 動 比 表 面 積 /細 孔 分 布 装 置 ◾超 高 解 像 度 表 面 形 状 計 測 装 置 Quanta250/EDS Dimension Icon VE-8800 SM-09020 STED-CW ア サ ッ プ 2020 WYKO NT9100A ㈱ 日 本 FEI/㈱ 島 津 製 作 所 ㈱キーエンス 日本電子㈱ ライカマイクロシステムズ㈱ ㈱島津製作所 ブ ル カ ー・エ イ エ ッ ク ス エ ス ㈱ 9,400 3,200 2,000 2,000 5,400 8,000 3,000 ◾表 面 張 力 接 触 角 計 Drop Master DM500 協和界面科学㈱ 1,400 円 /時 間 ◾ガ ス 透 過 率 度 測 定 装 置 ◾光 干 渉 式 膜 厚 測 定 装 置 ◾レ ー ザ ー 顕 微 鏡 ◾触 針 式 表 面 形 状 測 定 器 ◾高 速 度 カ メ ラ ◾フ ェ ム ト 秒 ス ト リ ー ク カ メ ラ ◾マ イ ク ロ ELISA ◾マ イ ク ロ チ ッ プ 実 験 ス テ ー シ ョ ン ◾バ イ オ 実 験 装 置（ ｲﾝｷｭﾍﾞｰﾀｰ、ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁな ど ） ◾ダ イ シ ン グ ソ ー GTR-21 AXKU VM-1200 VK-8510 DEKTAK XT-A FASTCAM SA2 FESCA-200 IMT-501 GTR テ ッ ク ㈱ 大日本スクリーン製造㈱ ㈱キーエンス ㈱アルバック ㈱フォトロン 浜松ホトニクス㈱ マイクロ化学技研㈱ マイクロ化学技研㈱ DAD-522 デ ィ ス コ (株 ) 3,400 2,400 1,600 2,000 1,600 1,600 3,000 3,400 1,600 3,200 ブルカー・エイエックスエス㈱ ② 施設の維持管理費 ・入室者１名に対し、以下の維持管理費を徴収します。 装置設置場所 NANOBIC ク リ ー ン ル ー ム （ Ｃ Ｒ ） および イエロールーム（ＹＲ） KBIC 実 験 室 （ 102 号 室 ） NANOBIC 実 験 室 （ 1007,1008 号 室 ） 維持管理費 終日利用時 6,000 円 /人 半 日 利 用 時 ( 9:00-13:00 or 13:00-17:00) 3,000 円 /人 1,200 円 /人 0 円 /人 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 円 /時 間 ＣＲ １０２ １００７ １００７ １０２ １００８ ＣＲ ＣＲ １００８ ＹＲ ＣＲ ＣＲ １００８ １０２ １０２ １０２ ＣＲ ③ 消耗品費 名 称 マスクブランクス シリコンウェハー（１枚） ウ エ ハ ー ト レ ー (４ イ ン チ ) AFM 装 置 用 カ ン チ レ バ ー パリレン N パリレン C ZEP520A エ ス ペ イ サ ー 300Z AZP4620 SU-8 3050 SU-8 2150 OFPR800LB 23CP 金＆白金ターゲット テフロンリング マスクケース タイプ 2.5 イ ン チ 5 インチ カバー＆スプリング付き RFESP(MPP-21100-10) OTESPA SCANASYST-AIR SCANASYST-FLUID+ SCANASYST-FLUID SNL-10 TESPA HOPG ダ イ マ ー DPX－ N ダ イ マ ー DPX－ C 4 元スパッター用 4 元スパッターターゲット用 2.5 イ ン チ 用 (10 枚 入 り ） 5 イ ン チ 用 (10 枚 入 り ） 金額 ¥2,400/枚 ¥3,500/枚 ¥2,000/枚 ¥1,000/個 ¥5,100/個 ¥6,000/個 ¥4,700/個 ¥4,700/個 ¥4,700/個 ¥4,700/個 ¥4,500/個 ¥1,800/個 ¥22/0.1g ¥24/0.1g ¥320/0.1ml ¥210/0.1g ￥ 70/ml ￥ 220/ml ￥ 400/ml ￥ 100/枚 ¥5/秒 ￥ 2,500/個 ￥ 2,000/個 ￥ 2,100/個 備 考 レーザー描画用 パリレン用 パリレン用 4 ｲﾝﾁｳｪﾊｰ 1 枚 あ た り
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