RA420L シリーズアライナ

アライナ
RA420L シリーズ
大気用
ロボット
外形図
θ軸にＸ軸およびＹ軸を持ち、ウエハ位置補正用でＺ軸機構を持つ高精
■ RA420-48V-L
真空用
ロボット
度アライナです。
特長
ロードポート
● スループットを向上
アライナ
● 透明体ガラス、貼り合わせウエハ対応
EFEM
Photo :RA420-48V-L
2 秒∼ 6 秒
■ RA420-6CV-L
サポート
ネットワーク
ソフトウエア
ソリューション
バイオ
真空プラット
フォーム
レチクル
搬送
■ RA420-26V-L
位置決め時間※１
ストッカ
位置決め精度
ノッチ角度精度※１
中心精度※１
φ 100 ∼φ 300
0.05 ∼ 0.2
0.05 ∼ 0.1mm
※１：センサの種類およびウエハのサイズによって異なります。
ウエハサイズ
ソータ
主な仕様
26
RA420L シリーズ
RA420L シリーズ
27

Download Report