Japanese - ライト製作所

Mechatoronics Company for Innovative Solutions
RightPort - RP2500 RP3000
RIPS-Hurricane
300mm FOUP対応ロードポート
N2パージロードポート
世界初、ライト製作所は全てのFOUPに対応した
SEMI準拠のN2パージLoadPortをご提供致します。
特徴
* All kinds of FOUP
FOUPの種類によらず、全てのFOUPに対応できます。
（パージポートからのガス注入は行わない）
* Max 200LPM Jet
FOUPドアが開いた状態でドア側からガスを封入します。
（最大200LPM噴射）
* N2 Puｒge time sharply
多量のガスを一挙に流し、置換時間及びガス総流量を
大幅に改善。
* SEMI
SEMI規格（LoadPort）に基本的に準じています。
（SEMI Standard E63 y74=100mm含む）
Type
RP3000
ウエハサイズ
300 mm
外観
ユーティリティ
高さ
1376 mm
奥行き
590 mm （SEMI Standard E63 y74=100mm含む）
幅
475 mm
重量
92 kg
電源
24 VDC （+/-5%）, 5A （動作中）
真空
-60 kPa minimum （5L / min minimum）
N2ガス
0.7~1.0MPa
通信
Serial RS-232C（ASCII）
株式会社ライト製作所
東京都板橋区前野町1丁目47番3号〒174-8633
TEL. 03-3960-2246 Fax. 03-3960-2620
URL. http://www.rightmfg.co.jp

Download Report