アライナ RA320 シリーズ

アライナ
RA320 シリーズ
大気用
ロボット
■ RA320-822-L
θ軸及びウエハ位置補正用にＺ軸とＸ軸機構を持つアライナです。小型・
軽量タイプで設置容積を小さくできます。非接触光学式センサの種類によ
真空用
ロボット
り、さまざまな種類のウエハアライメントに対応可能です。
ロードポート
特長
● 透明体（ガラス）、貼り合わせ、ノッチレスウエハにも対応可 (L タイプ )
● 小型・軽量
アライナ
● 小スペース
Photo: RA320-C22-L101
φ 100 ∼φ 300
位置決め精度
角度精度※１
中心精度
0.05 ∼ 0.2
0.1mm
位置決め時間※１
平均 5 秒
ソータ
ウエハサイズ
EFEM
主な仕様
ストッカ
※１：標準精度時の処理時間です。センサの種類およびウエハのサイズと求める精度によって異なります。
外形図
レチクル
搬送
■ RA320-822-W
サポート
ネットワーク
ソフトウエア
ソリューション
バイオ
真空プラット
フォーム
■ RA320-C22-L
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RA320 シリーズ
RA320 シリーズ
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