アライナ RA321 シリーズ

アライナ
RA321 シリーズ
大気用
ロボット
外形図
クランプ軸、θ軸及びＺ軸を持つエッジクランプ式のアライナです。ウ
エハの外周を保持するエッジクランプ方式により、ウエハへのパーティク
■ RA321-C0C-BW
真空用
ロボット
ル付着を最小限に抑えます。
ロードポート
特長
● 高速・高精度
● 装置のスループットを向上（バッファ付き）
アライナ
● 透明体（ガラス）、貼り合わせ
画像センサを別途組み合わせることで、ノッチレスウエハにも対応可
EFEM
Photo: RA321
角度精度
位置決め精度
中心精度
0.1mm
4 秒程度※１
サポート
ネットワーク
ソフトウエア
ソリューション
バイオ
真空プラット
フォーム
レチクル
搬送
φ 200
0.2
φ 300
※１：300mm ウエハの場合
位置決め時間
ストッカ
処理対象物
ソータ
主な仕様
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RA321 シリーズ
RA321 シリーズ
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