SolMateS モジュラーPLD R&D プラットホーム

SolMateS モジュラーPLD
モジュラー
R&D プラットホーム
SolMateS 社のモジュラーPLD プラットホームはパルスレーザ堆
積(PLD)の基礎実験の次のステップとして製品開発のプロセスの
最適化、試作を行う装置として最適なモジュールです。
製品化プロセス最適化、直径 200mm までの均一な薄膜成膜を
可能にします。自動ソフトウエアにより簡単な操作と安定した
動作が得られます。既存の PLD 設備に接続可能です。レーザ発
振器、真空ポンプはオプションとなります。
使用したプロセスレシピは SolMateS 社の量産対応装置
SMP 700
SIP800/1200 にそのまま適用できます。
モジュラーPLD プラットホームは研究室と工場をつなぐリンクを
担います。
寸法
基本仕様
基板サイズ：
～200 mm
設置面積：
1400 x 1000 mm
基板タイプ：
円形または四角形
高さ：
1500mm
ターゲット数：
４個、回転式
重量：
900kg
レーザ：
外部接続式
出射光学系：
集光＆スキャン
用力
ニング光学系
電源：
AC400V, 32A, 3 相
プロセス温度：
室温～800℃
冷却水：
15 l/min
基板温度均一性：
<2%
プロセスガス：
4.5 – 6 bar
基準圧力：
１０
レーザ：
外部接続
パーティクル除去：
ドロップレット
真空ポンプ：
>100 m3/h
－６
mbar
トラップ
プロセスガス：
O2、Ar、N2
オプション
ロードロックモジュール
エキシマレーザ
プロセス仕様（例）
膜厚均一性
組成均一性
ウエハー内
<2% 1σ
レーザ
出射光学系ビーム光路
<2% 1σ
カスタム対応
株式会社エイチ・ティー・エル
〒190-0012 東京都⽴川市曙町 2-16-6 テクノビル 3F
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