気体流量計測／制御 MVFシリーズ 1 調節計 マイクロフロー式渦流量計 マイクロフロー式渦流量計 MVFは、 高感度、高速応答の「μF（マイクロフロー）センサ」を 2 渦周波数検出に利用していますので 記録計 ／指示計 100：1の広い計測範囲を実現しました。 また、温度・圧力補正機能を一体化し、 温度・圧力センサ・補正機器が一切不要なので トータルコスト削減に貢献します。 変換器 3 形 番 MVF050 MVF080 MVF100 MVF150 口 径 50A 80A 100A 150A 使用温度範囲 −15〜＋60℃ 使用圧力範囲 形番：MVFxxx1Cxx011xx00：0.0〜0.1MPa（±2％FS @23℃） 4 燃焼安全 制御機器 空気, 窒素, アルゴン, 酸素, 炭酸ガス （CO2）, 都市ガス （13A）,メタン, プロパン, ブタンその他不活性ガスおよび各種混合ガスで, 爆発限界範囲外のガスであること 計測対象気体 （圧力センサ精度） 形番：MVFxxx3Cxx011xx00：0.0〜0.3MPa（±2％FS @23℃） 形番：MVFxxx0Cxx011xx00：0.0〜1.0MPa（±1％FS @23℃） 定格電源電圧 DC24V, 動作範囲 DC24V±10％, 100mA以下 出力信号１点 瞬時流量出力：DC4〜20mA（許容負荷抵抗 600Ω以下）最大電流値 23.2mA, バーンアウト時, ダウンスケール約3.5mA出力 3 積算パルス出力１点 オープンコレクタ出力 接点定格：DC10〜30V, 20mA以下, パルスウェイト 0.1, 1, 10m /パルスの中からお客さま指定可能 RS-485インタフェース 3線式 接ガス部材質 流路：SCS13A, SUS304, μFセンサ：シリコン, 金, 他 Ｏリング：4種D（バイトン） 接続定格 JIS10K ウエハ接続 接続口径 50A(2B) 保護構造 80A(3B) 5 100A(4B) 操作端 通信機能 150A(6B) IP67（JIS C 0920およびIEC 529による。屋外設置を前提とした防浸構造） 質 量 6.3kg 6.6kg 9kg （用語説明）％RD：読み値に対するパーセンテージ m /h （normal） ：0℃, 101.325kPa （1気圧） に換算した1時間あたりの体積流量を表します。 3 材 質 U D A ガス種 1 方 向 付加機能1 付加機能2 付 番 0 1 2 3 4 5 0 C 0 マイクロフロー式渦流量計 口径50A（2B） 口径80A（3B） 口径100A（4B） 口径150A（6B） 温度・圧力補正付 圧力補正なし, 温度補正付 低圧レンジ （0〜0.1MPa）温度圧力補正付 中圧レンジ （0〜0.3MPa）温度圧力補正付 本体材質SCS13A ウエハ接続（JIS10kフランジ対応スペーサ付） ウエハ接続（DIN PN10フランジ対応スペーサ付） ウエハ接続（ANSI150フランジ対応スペーサ付） 空気/窒素, アルゴン 酸素（禁油処理必ず選択してください） 注1.） 炭酸ガス 都市ガス13A（LNGベース）,メタン プロパン ブタン DC 4-20mＡ 出力＋パルス出力付 電源DC24V RS-485通信 水平（流れ方向 左→右）変換器上 注2.） 水平（流れ方向 左→右）変換器下 注2.） 水平（流れ方向 右→左）変換器上 注2.） 水平（流れ方向 右→左）変換器下 注2.） 垂直（流れ方向 下→上）変換器左 注2.） 垂直（流れ方向 上→下）変換器左 注2.） なし 接ガス部禁油処理（流体：酸素の場合必須） 注1.） なし ボディ, 渦発生体ミルシート 製品バージョン 価 格（円） — 450,000 550,000 650,000 750,000 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋0 ＋30,000 ＋0 ＋45,000 ＋0 6 7 8 9 空調制御機器 注1.）酸素「S」 を選択の場合, 必ず付加1「1：接ガス部禁油処理」 を選択してください。 0 1 内 容 ／制御 1 通 信 ●製品納期については, 弊社販売員にお問合わせください。 注2.）流れ方向解説 ■指定方法 ①4-20mAスパン 圧力ごとの計測範囲をご確認の上， ご指定ください。 3 （normal） 指定可能最大スパン m /h 50A 80A 100A 150A 変換器左 形番4 変換器上 形番0 変換器下 形番1 流れ方向左→右 変換器左 形番5 変換器上 形番2 流れ方向下→上 流れ方向右→左 8000m3/h（normal） 16000m3/h（normal） 24000m3/h（normal） 48000m3/h（normal） 指定可能最小スパンは指定可能最大スパンの1％ ②パルスウェイト 50A：0.01, 0.1, 1, 10m /パルス 3 50A以外：0.1, 1, 10, 100m /パルスの中から選択してください。 変換器下 形番3 流れ方向上→下 気体流量計測 0 電 源 N S C G P B 出 力 調節器 C 接 続 センサ 基本形番 接続口径 機 種 MVF 050 080 100 150 0 L 1 3 17kg ●機種選定の際は, スペックシートNo.CP-SS-1831を必ずご覧ください。 3 ご指定例 形 番 MVF0800CUN0112000 3 （normal） レンジ 0∼500m /h 3 パルスウェイト 1m /パルス 8-15 気体流量計測／制御 調節計 1 MVFシリーズ マイクロフロー式渦流量計 3 使用圧力 （kPa） 最小測定流量 Qmin 100 7.4 150 7.4 200 7.4 300 8.5 400 10.7 500 12.8 600 14.9 700 17.1 800 19.2 900 21.3 980 23.0 使用圧力 （kPa） 最小測定流量 Qmin 変換器 3 燃焼安全 制御機器 4 操作端 センサ 6 調節器 7 100 14.6 150 18.2 200 21.8 300 29.0 400 36.3 500 43.5 600 50.7 700 58.0 800 65.2 900 72.5 980 78.2 ±Qmin 7.4≦Q≦32 ±Qmin 7.4≦Q≦32 ±Qmin 7.4≦Q≦32 ±Qmin 8.5≦Q≦32 ±Qmin 10.7≦Q≦32 ±Qmin 12.8≦Q≦32 ±Qmin 14.9≦Q≦32 ±Qmin 17.1≦Q≦32 ±Qmin 19.2≦Q≦32 ±Qmin 21.3≦Q≦36 ±Qmin 23.0≦Q≦38 ±6.7％ RD 32＜Q＜74 ±6.0％ RD 32＜Q＜74 ±5.6％ RD 32＜Q＜74 ±5.1％ RD 32＜Q＜74 ±4.9％ RD 32＜Q＜74 ±4.8％ RD 32＜Q＜74 ±4.7％ RD 32＜Q＜74 ±4.6％ RD 32＜Q＜74 ±4.6％ RD 32＜Q＜74 ±4.6％ RD 36＜Q＜74 ±4.6％ RD 38＜Q＜74 ±5.7％ RD 74≦Q≦ 428 ±4.9％ RD 74≦Q≦ 535 ±4.4％ RD 74≦Q≦ 641 ±3.8％ RD 74≦Q≦ 854 ±3.5％ RD 74≦Q≦1067 ±3.3％ RD 74≦Q≦1280 ±3.2％ RD 74≦Q≦1493 ±3.1％ RD 74≦Q≦1706 ±3.0％ RD 74≦Q≦1919 ±3.0％ RD 74≦Q≦2131 ±3.0％ RD 74≦Q≦2302 精 度 ±Qmin 14.6≦Q≦ 39 ±Qmin 18.2≦Q≦ 39 ±Qmin 21.8≦Q≦ 39 ±Qmin 29.0≦Q≦ 48 ±Qmin 36.3≦Q≦ 60 ±Qmin 43.5≦Q≦ 73 ±Qmin 50.7≦Q≦ 85 ±Qmin 58.0≦Q≦ 97 ±Qmin 65.2≦Q≦109 ±Qmin 72.5≦Q≦121 ±Qmin 78.2≦Q≦130 ±6.7％ RD 39＜Q＜156 ±6.0％ RD 39＜Q＜156 ±5.6％ RD 39＜Q＜156 ±5.1％ RD 48＜Q＜156 ±4.9％ RD 60＜Q＜156 ±4.8％ RD 73＜Q＜156 ±4.7％ RD 85＜Q＜156 ±4.6％ RD 97＜Q＜156 ±4.6％ RD 109＜Q＜156 ±4.6％ RD 121＜Q＜156 ±4.6％ RD 130＜Q＜156 ±5.7％ RD 156≦Q≦1457 ±4.9％ RD 156≦Q≦1819 ±4.4％ RD 156≦Q≦2180 ±3.8％ RD 156≦Q≦2904 ±3.5％ RD 156≦Q≦3628 ±3.3％ RD 156≦Q≦4351 ±3.2％ RD 156≦Q≦5075 ±3.1％ RD 156≦Q≦5799 ±3.0％ RD 156≦Q≦6522 ±3.0％ RD 156≦Q≦7246 ±3.0％ RD 156≦Q≦7825 使用圧力 （kPa） 最小測定流量 Qmin 100 11.0 150 11.8 200 14.2 300 18.9 400 23.6 500 28.3 600 33.0 700 37.6 800 42.3 900 47.0 980 50.8 使用圧力 （kPa） 最小測定流量 Qmin 100 31.3 150 39.1 200 46.9 300 62.5 400 78.1 500 93.6 600 109.2 700 124.8 800 140.4 900 155.9 980 168.4 精 度 ±Qmin 11.0≦Q≦31 ±Qmin 11.8≦Q≦31 ±Qmin 14.2≦Q≦31 ±Qmin 18.9≦Q≦31 ±Qmin 23.6≦Q≦39 ±Qmin 28.3≦Q≦47 ±Qmin 33.0≦Q≦55 ±Qmin 37.6≦Q≦63 ±Qmin 42.3≦Q≦71 ±Qmin 47.0≦Q≦78 ±Qmin 50.8≦Q≦85 ±6.7％ RD 31＜Q＜110 ±6.0％ RD 31＜Q＜110 ±5.6％ RD 31＜Q＜110 ±5.1％ RD 31＜Q＜110 ±4.9％ RD 39＜Q＜110 ±4.8％ RD 47＜Q＜110 ±4.7％ RD 55＜Q＜110 ±4.6％ RD 63＜Q＜110 ±4.6％ RD 71＜Q＜110 ±4.6％ RD 78＜Q＜110 ±4.6％ RD 85＜Q＜110 ±Qmin 31.3≦Q≦ 57 ±Qmin 39.1≦Q≦ 65 ±Qmin 46.9≦Q≦ 78 ±Qmin 62.5≦Q≦104 ±Qmin 78.1≦Q≦130 ±Qmin 93.6≦Q≦156 ±Qmin 109.2≦Q≦182 ±Qmin 124.8≦Q≦208 ±Qmin 140.4≦Q≦234 ±Qmin 155.9≦Q≦260 ±Qmin 168.4≦Q≦281 ±6.7％ RD 57＜Q＜286 ±6.0％ RD 65＜Q＜286 ±5.6％ RD 78＜Q＜286 ±5.1％ RD 104＜Q＜286 ±4.9％ RD 130＜Q＜286 ±4.8％ RD 156＜Q＜286 ±4.7％ RD 182＜Q＜286 ±4.6％ RD 208＜Q＜286 ±4.6％ RD 234＜Q＜286 ±4.6％ RD 260＜Q＜286 ±4.6％ RD 281＜Q＜286 精 度 ±5.7％ RD 286≦Q≦ 3135 ±4.9％ RD 286≦Q≦ 3913 ±4.4％ RD 286≦Q≦ 4692 ±3.8％ RD 286≦Q≦ 6249 ±3.5％ RD 286≦Q≦ 7806 ±3.3％ RD 286≦Q≦ 9364 ±3.2％ RD 286≦Q≦10921 ±3.1％ RD 286≦Q≦12478 ±3.0％ RD 286≦Q≦14035 ±3.0％ RD 286≦Q≦15593 ±3.0％ RD 286≦Q≦16838 127 117 61 50 61 50 130 IRCUITS A RE C LE HI IRCUITS A RE 59 351 59 126 96 60 44 空調制御機器 9 367 208 208 IVE AL 130 W W IVE AL HT HT TIG CO U ST B E K EP RM VE T TIG CO ADE IN JAPAN ADE IN JAPAN U ST B E K EP RM VE T ／制御 気体流量計測 8 70 70 127 117 50 127 117 50 61 208 208 130 130 61 59 427 399 59 99 70.5 151 8-16 ±5.7％ RD 110≦Q≦ 946 ±4.9％ RD 110≦Q≦1181 ±4.4％ RD 110≦Q≦1416 ±3.8％ RD 110≦Q≦1886 ±3.5％ RD 110≦Q≦2355 ±3.3％ RD 110≦Q≦2825 ±3.2％ RD 110≦Q≦3295 ±3.1％ RD 110≦Q≦3765 ±3.0％ RD 110≦Q≦4235 ±3.0％ RD 110≦Q≦4705 ±3.0％ RD 110≦Q≦5081 （単位：mm） 127 117 C LE 5 精 度 HI 記録計 ／指示計 2 表中の流量はすべてm /h（normal）です。 使用圧力と流量域により精度が異なります。 100 60 140 212
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