製品カタログ 平面結像型斜入射分光器 ＸＵＶ-２３５-Ⅲ この分光器は真空極紫外光又は軟Ｘ線領域の分光スペクトルの 測定が容易で、結像面が各波長ごとに平面的に 且つ波長分解能を低下させずに広い視野を持ち、 斜入射分光でありながら、明るいスペクトル結像が得られるため、 写真撮影も簡単に行えると共に、各種検出器、MCP、二次元 MCP、 ストリークカメラ、デジタル CCD カメラ等の接続が容易で、 リアルタイムのスペクトル測定が可能です。 又、この分光器は異なった回折格子を交換する事によって、 10Å～ 300Åのスペクトル測定を一台の分光器で 測定可能なのが特徴で経済的にも優れています。 仕様／ G 1200G 2400G 溝本数（Groove/mm） 曲 率 半 径 ブレーズ波長 ブレーズ角 入 射 角 コーテイングの種類 平面結像波長範囲 結像面までの距離 1200gr/mｍ 5649/mm 100nm 3.2 度 87.0 度 Au 5 ～ 30nm 235mm 2400gr/mm 15920/mm 15nm 1.9 度 88.7 度 Au 1 ～ 5nm 235mm 仕様 スリット W＝0 ～ 2.0mm 可変 （マイクロメーター読取り） ゲートバルブ H＝0.5= ～ 3mm （縦絞り認位設定可） 特殊スライド式ベローズ バルブで入射スリットの 後に設置され、回折格子、 検出器を常に真空が 保持されます 真空槽 ステンレス製。リークバルブ、 グレーテイングホルダー 1200G の 回折格子用ホルダーを ビューポート、排気ポート 標準装備 (ICF152 コンフラットフランジ）を装備 G ホルダー機構 1200G、2400G は入射角が異なる為、 四軸調整機能で容易に位置決め、 装着、固定ができます。 回折格子 波長スキャンベローズ部 回折光を検出器の結像面まで 真空を保ったまま導き移動 させます。（ベローズ内径Φ50） 検出器取付フランジ ICF152 コンフラット フランジ フォーカス軸（X 軸） 手動でハンドルを回転さ せ検出面の位置を正確に 合わせます。 デジタル読取り機能付 零次光取出ポート ICF34 コンフラットフランジ （プリズム導入機、ビューポートは オプション）デイテクターの機種 によりフランジ面からの距離が 異なりますのでお知らせ下さい。 波長スキャン（Y 軸） 検出器の受光面の大きさに制限が 有りますので検出器を移動する事 により所要のスペクトルを得る事 ができます。 デジタル読取り ( 最小 0.01mm) 機能付 1200G 標準装備 （光学調整検査済） 検出器角度変換部（R 軸） 2 つの回折格子は入射角 が異なる為、X-Y 軸の 角度を変えて調整します。 位置決めは結像面を 中心に回転及び固定する 機構がついており、 位置の読取りは マイクロメーターに よって行えます。 架 台 光学台は X-Y 微調機構 ±５mm 付です。 到達真空度 光軸高さ調整 ±20mm。 キャスター及びアジャスター付。 塗装色 黒レザー オプション CCD カメラ、MCP 等の検出器、 その他検出器、真空排気系など ご相談受け賜ります。 真空排気ポンプにより 到達真空度は異なります レーザー照射によるアルミニュームプラズマからの多価イオンスペクトル図 ※理化学研究所 安藤剛三先生御提供 高次高調波スペクトル図 インジウムプラズマスペクトル図 ※東京大学物性研究所 黒田研究室御提供 光学系に関する論文 軟Ｘ線領域、および極端紫外線外域の分光器としてはローランド型斜入射分光器しかありませんでしたが、 ホログラフィック回折格子が出現してから、スペクトル線の結像面が平面である新しい形の 斜入射型分光器が作られるようになりました。 不等間隔、刻線型の特殊な回折格子で、新しい光学系を考案したのが、日立製収差補正凹面回折格子です。 この光学系の理論は文献（１）～（５）に述べられています。 この日立製収差補正型回折格子を使った斜入射分光器の製作例および実測データは（６）に書かれています。 参考論文 （１）原田達夫、喜多敏昭：分光研究、３８、１６５（１９８９）． （２）Ｔ．Harada and Ｔ．Kita：Appl．Opt．１９，３９８７（１９８０）． （３）喜多敏昭：分光研究、３２，１７３（１９８３） （４）Ｔ．Kita、Ｔ．Harada、N．Nakano、and H．Kuroda：Appl．Opt．２２、５１２（１９８３）． （５）N．Nakano、Ｈ．Kuroda、Ｔ．Kita、and Ｔ．Harada：Appl．Opt．２３、２３８６（１９８４）． （６）安藤剛三、原民夫：分光研究、３８、４３２（１９８９）．
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