アルカリ系精密洗浄剤

アルカリ系精密洗浄剤
アルカリ系精密洗浄剤
シリコンウェーハや
シリコンウェーハやサファイア基板
サファイア基板、
基板、酸化物基板などの
酸化物基板などの各種電子材料
などの各種電子材料
の加工時に
加工時に付着した
付着した切削油剤
した切削油剤、
切削油剤、研削油剤、
研削油剤、切削砥粒（ＳｉＣ）、
切削砥粒（ＳｉＣ）、研磨砥
（ＳｉＣ）、研磨砥
粒（ＦＯ）、スラッジ
（ＦＯ）、スラッジなどの
スラッジなどの洗浄用
などの洗浄用に
洗浄用に最適です
最適です。
です。
1.
ＰＲＴＲ法対象物質
ＰＲＴＲ法対象物質、
法対象物質、塩素、
塩素、硫黄、
硫黄、リン、
リン、フッ素
フッ素などは含有
などは含有していません
含有していません。
していません。
2.
水溶性で
水溶性で非危険物ですので
非危険物ですので、
ですので、特別な
特別な保管場所は
保管場所は不要です
不要です。
です。
3.
低ＣＯＤ、低
ＣＯＤ、低ＢＯＤ
4.
濯ぎ性（リンス性
リンス性）が良好です
良好です。
です。
5.
不快な
不快な臭気が
臭気が少なく、
なく、作業環境が
作業環境が良好です
良好です。
です。
6.
Ｆｅイオン
Ｆｅイオンなどの
イオンなどの金属
などの金属キレート
金属キレート力
キレート力を有しています。
しています。
7.
表面張力を
表面張力を最適化し
最適化し、ウェーハへの
ウェーハへの濡
への濡れ性が良好です
良好です。
です。
8.
高純度原料を
高純度原料を使用しており
使用しており、
しており、ウェーハの
ウェーハの不純物汚染を
不純物汚染を考慮しています
考慮しています。
しています。
9.
特殊界面活性剤配合により
特殊界面活性剤配合により高
により高い浸透力を
浸透力を有しています。
しています。
お問い合わせ先
わせ先
扶桑化学工業株式会社商品開発部
〒532532-0033 大阪府大阪市淀川区新高2
大阪府大阪市淀川区新高2－6－6
TEL （06）
06）6391－
6391－3424 FAX （06）
06）6391－
6391－8718

Download Report