FORCE SENSOR Applications MICRO FORCE SENSOR ／ HIGH LOAD SENSOR Applications Contact detection of probing device ・ Puncture force of a needle point ・光ファイバと機能デバイスの 接触力検知 Contact detection between fiber optics and functional device マイクロアクチュエータ等の推力測定 Measurement of thrust force of microactuator, etc. Measurement range : 100N Applications ・微小力試験片の引っ張り・圧縮・屈曲力 ・精密加工時の切削・研削力測定 ・接触子の微小力押圧荷重の管理 ・バイト刃先とワークの接触検知 ・微小摩擦力・推力モニタ ・押圧・硬さ管理 Pull, compression or bending forces of micro force detection test piece Management of micro pressing force load of a contact Contact detection between a tool and work Micro friction force and thrust force monitoring スプリングプローブのバネ圧テスト測定 Test measurement of spring pressure of a spring probe Measurement of cutting and grinding forces in precision machining ・推力・反力モニタ Thrust force and reaction force monitoring ・製造過程の強度試験 Strength test in manufacturing process Pressure and hardness management 半導体デバイスのプロ−ビング接触検知 Probing contact sensing of a semiconductor device ①刃先接触荷重の測定 ・ 『高荷重センサ』の上に『位置決めステージ』を搭載した構成です。 ・位置決めステージを、0.5μm・1.5μm・2.5μm・・・ と順次前進させ、回転するワークにバイト刃先が 接触したときの切削荷重を測定しています。 旋盤主軸 ダイヤモンドバイト ワーク Measurement of pull and compression forces of a micro device 押圧荷重の管理 Management of pressure load 光ファイバとデバイスの接触力モニタ Monitoring between fiber optics and functional device 4.5μm 5.5μm 0.2N 3.5μm 2.5μm ①Measurement of tool contact load ・ A positioning stage is loaded over High Load Sensor. ・The cutting load is measured when the positioning stage is advanced by 0.5 μm, 1.5μm and 2.5μm successively and the tool tip contacts with the rotating work. 微小デバイスの引っ張り・圧縮力測定 SENSOR AMPLIFIER ・プロ−ビングの接触検知 High Load Sensor 1.5μm 0.5μm 位置決め ステージ 力センサ ②切削抵抗の測定 ・ダイヤモンドバイトをワークの中心方向に送り、 正面旋削加工を行ったときの切削力を測定しています。 ・ダイヤモンドバイトが受ける力をセンサで検出し、 切削開始点・終了点および切削中の力を捉えています。 0.1N 加工開始 ②Measurement of cutting resistance ・The cutting force is measured after the diamond tool is fed toward the work center for face turning. ・The force received by the diamond tool is detected by the sensor. The force from cutting start point to end point is captured. （切削中） 加工終了 HIGH LOAD SENSOR Resolution : 20μN MICRO FORCE SENSOR Micro Force Sensor 加工開始 加工終了
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