パネルマウント・マスフローコントローラ

気体流量計測／制御
MPCシリーズ
1
調節計
パネルマウント・マスフローコントローラ
パネルマウント・マスフローコントローラ MPCシリーズは、
独自開発の超高速応答流速センサである
2
マイクロフローセンサ、超小型比例ソレノイドバルブ、
記録計
／指示計
新方式の流路、高度なアクチュエータ制御技術を組み合わせ、
パネル前面設置が可能な質量流量コントローラです。
変換器
3
形　番
標準フルスケール
流量　注1.）
MPC9500
MPC0002
MPC0005
MPC0020
0.500L/min（standard）
2.00L/min（standard）
5.00L/min（standard）
20.0L/min（standard）
ガス種類
空気／窒素（N2）, アルゴン
（Ar）, 炭酸ガス
（CO2）
燃焼安全
制御機器
設定±2%FS以内に1s以内（TYP.）
精　度　注2.）
±2%FS
（標準温度・標準差圧にて,
Ｑ：流量）
標準差圧　注3.）
200kPa
動作最大差圧
300kPa以下
50〜300kPa
許容入口圧
DC24V, 消費電流300mA max
質　量
約300g
操作端
5
0.5MPa（gauge）
定格電源電圧
4
応答性
●詳細は, カタログNo.CP-PC-1422をご覧ください。
注1.）L/min
（standard）
は20℃, 101.325kPa
（1気圧）
に換算した1分間あたりの体積流量
（L/min）
を表します。
また, これは空気/窒素でのフルスケール流量であり, ガス種により制御可能な流量レンジは異なります。
注2.）空気／窒素での精度です。
注3.）校正時の差圧です。
6
センサ
（単位：mm）
9
調節器
7
コネクタ
（付属品）
取付器具
（付属品）
形番：81446917-001
2
61
12.7
OUT
44.8
3.5
No.1
14
EX
2-H
48
ローダ用ジャック
L
9.5
12
10
448
OK SP1 SP2 SP3 EV1 EV2
2-Rc1/8
ENT
IN
No.9
13.5
10
9
空調制御機器
適合パネル板厚2∼9以下
／制御
DISP
気体流量計測
SP
8
48
PV
8-35
気体流量計測／制御
調節計
1
基本形番レンジ
機　種流路材質接続方式ガス種
パネルマウント・マスフローコントローラ
9500
0.020〜0.500L/min（standard）
注1.）
0002
0.08〜2.00L/min（standard）
注1.）
0005
0.10〜5.00L/min（standard）
注1.）
0020
0.4〜20.0L/min（standard）
注1.）
B
一体形表示器付
B
黄銅（ニッケルメッキ）
R
／8Rc
1
N
空気/窒素, アルゴン, 炭酸ガス
0
変換器
燃焼安全
制御機器
操作端
センサ
6
イベント出力付
1
アナログ入出力・イベント出力付
RS-485通信（CPL）機能・イベント出力付
注1.）L/min
（standard）
は20℃, 101.325kPaに換算した空気の体積流量
（L/min）
を表します。
なお, 基準温度は0℃, 25℃, 35℃にも変更可能です。
またガス種類により流量レンジが異なります。
注2.）出荷時には, 空気/窒素に調整されていますが, ガス種類の設定を変更することにより,
にも対応できます。
アルゴン, 炭酸ガス
（CO2）
注3.）アナログ入出力機能はありません。
調節器
／制御
気体流量計測
空調制御機器
9
8-36
注3.）
なし
0
なし
0
なし
D
検査成績書付
Y
トレーサビリティ証明対応
0
製品バージョン
●価格, 製品納期については, 弊社販売員にお問合わせください。
制御流量
※本製品は, 使用するガス種によって制御流量レンジが異なります。機種選定時には, 下表を参照してください。
形　番
MPC9500
MPC0002
ガス種
MPC0005
MPC0020
［L/min（standard）］
空気/窒素
0.020〜0.500
0.08〜2.00
0.10〜5.00
0.4〜20.0
アルゴン
0.020〜0.500
0.08〜2.00
0.10〜5.00
0.4〜20.0
炭酸ガス
0.012〜0.300
0.040〜1.200
0.06〜3.00
0.3〜16.0
品　名
形　番
価　格（円）
ケースセット
81446927-001
15,000
取り付け器具
81446917-001
550
ローダパッケージ
MLP200A100
納　期
50,000
〈納期〉◎ : 常時在庫品
8
オープン価格
0
2
（CD-ROM, 専用通信ケーブル付）
7
注2.）
なし
0
5
価　格（円）
パネルマウント・マスフローコントローラ MPCシリーズ
3
4
内　容
予　備付加機能1 付加機能2 付加機能3 付加機能4 付　番
MPC
記録計
／指示計
2
MPCシリーズ
無印 : 受注生産品
（弊社販売員にお問合わせください。）

Download Report