Leak Tester for Hermetical Product ■外形寸法（単位：mm） External dimensions（Unit：mm） 小型電子部品専用気密検査装置 Ultra Fine Leak Test System 710 MUH-0100 series 760 ■ Pa・m3/s（He） -15 ■ 「カプセル蓄積法」採用 特許出願中 ■対象ワーク：MEMS部品、 小型電子部品 ■ Tests ultra-fine leak 4x10-15Pa・m3/s (He) ■ The Capsule-Accumulation Method 954 1175 ■ Applicable works： 正 面 側 面 Front surface Side surface Rev.Feb.15 Printed Feb.15 1KN Printed in Japan 10636-K-001-01 patent pending MEMS parts and compact electronic parts 形式 ・ 仕様 ■型式 MODEL/SPECIFICATIONS ■MODEL MUH-0100- ①② XXX ⑥⑦ X- ⑨ 型式 項目 記号 内容 Model Items Sign Content ① ワークセット方式 3 手動セット ① Package loading method 3 Manual loading ② チャンネル数 1 1ch ② No. of channels 1 1ch ⑥ 電源電圧 1 AC100V ⑥ Power source 1 AC100V 1 Type 1010 φ16×10 1 Type 1010 φ16×10 2 Type 2020 φ30×20 ⑦ Chamber size 2 Type 2020 φ30×20 3 Type 3030 φ44×31 3 Type 3030 φ44×31 ⑨ Calibrated leak (standard) 3 10-10Pa・m3/s（He） ⑦ ⑨ チャンバーサイズ 較正リーク （標準） 3 10 -10 Pa・m /s（He） 3 ■仕様 測定方式 チャンネル数 最大ワークサイズ 蓄積カプセル リークレート※1 MUH-0100- ①② XXX ⑥⑦ X- ⑨ ■SPECIFICATIONS ファインリーク：2重管分析方式、 ウルトラファインリーク：カプセル蓄積法 1ch 30mm角、厚さ30mm以内の密封品 3種類より1つ選択。 蓄積 カプセル カプセル サイズ （mm） Type 1010 Type 2020 Type 3030 φ16×10 φ30×20 φ44×31 ファインリーク測定 検出時間 検出レベル （s） （Pa・m3/s） 1×10-10 1×10-10 1×10-10 Test Method Fine leak: Double-tube Analysis System; Ultra-fine leak: Capsule-Accumulation Method No. of Channels 1 channel Maximum Package Size Hermetically sealed products of a maximum of 30 mm square and 30 mm in depth Select one from among three types. ウルトラファインリーク測定 検出感度 測定に必要な （Pa・m3/s） 蓄積時間（s） 20 30 60 4×10-15 2×10-14 2×10-13 7200 3600 1300 Accumulation Capsule Fine leak test Ultra-fine leak test Accumulation capsule Capsule size （mm） Detection level （Pa・m3/s） Detection time（s） Detection sensitivity （Pa・m3/s） Type 1010 Type 2020 Type 3030 φ16×10 φ30×20 φ44×31 1×10-10 1×10-10 1×10-10 20 30 60 4×10-15 2×10-14 2×10-13 Leak Rate*1 Accumulation time required for measurement（s） 7200 3600 1300 Measurement procedures: Carried out in the order of（1）fine leak testing, and（2）ultra-fine leak testing. 測定手順：①ファインリーク測定、②ウルトラファインリーク測定の順に行います。 ヘリウムリーク表示 最小リーク検出範囲 起動時間 較正器 表示単位 パソコンモニターに表示（パソコンは、付属品です。） 4×10-15Pa・m3/s（He） ∼ 5分 ファインヘリウム漏れ基準器 10-10Pa・m3/s台 校正リーク （較正器は、付属品です。） Pa・m3/s（He） Helium Leak Display Displays on computer monitor (computer is included) Smallest Leak Detection Range 4×10-15 Pa・m3/s (He) ~ Startup Time 5 Min. Calibrator Fine helium leak reference 10-10Pa・m3/s range calibrated leak (calibrator is included.) Display Unit Pa・m3/s (He) 使用温・湿度範囲 23±5℃ （推奨）、 50±10％RH（結露無きこと） Usage Temperature 23±5℃ (recommended), 50±10%RH (without condensation) 電源電圧 単相 AC 100V ±10% 50Hz/60Hz この他の電源・電圧仕様については、 ご相談ください。 消費電力 外形寸法 質量 空圧源 2000VA W710×D760×H1200mm 300kg クリーンで変動しないドライエア 推奨条件 JISB 8392-1：2012による。圧縮空気品質等級1,3,1 項目 等級 1 1m 3あたりの最大粒子数（粒径dμm） 3 1 圧力露点 オイル総濃度 環境ヘリウム濃度 接続 チャンバ洗浄用ガス /Humidity Range 0.10<d<0.5 0.5<d≦1.0 1.0<d≦5.0 Single-phase AC 100V ±10% 50Hz/60Hz Please consult us regarding other power/voltage specifications. Power Consumption 2000 VA External Dimensions W 710 × D 760 × H 1200 mm Mass 300 kg Air Pressure Supply Use clean and stable air pressure Recommended conditions are according to ISO 8573-1：2010 Compressed air quality class 1,3,1 基準値 2000 400 400 ≦-20℃ ≦0.01mg/m 3 Class 1 3 1 Dry nitrogen or argon gas Gas Recommendation: 0.5 MPa or more Supply at 0.9 MPa or less. 99.99%以上 混入なきこと Rc3/8インチ・装置裏側 Purity Moisture Connection 言語 Exhaust 日本語・英語・中国語 Languages Evacuate the exhaust outside. If the helium density in the measurement environment is high, the background will increase. Connection Rc3/8 inches - rear of the device Rc3/8インチ・装置裏側 ※1:値は参考値です。測定するワークの種類、ボンビング条件等によって異なりますので予めご了承ください。 99.99% or more Prevent entry Rc3/8 inches - rear of the device Please make the necessary arrangements. 排気ポートは室外へ排気してください。 測定環境のヘリウム濃度が高い場合、バックグラウンドが上昇します。 接続 Criteria 2000 400 400 ≦-20℃ ≦0.01mg/m 3 10 PPM or below（used for helium cleaning of the testing part） Rc3/8 inches - rear of the device Chamber Cleaning お客様にてご用意ください。 排気 Items 0.10<d<0.5 The maximum particle count 3 per m（particle diameter dμm） 0.5<d≦1.0 1.0<d≦5.0 Pressure dew point The oil total concentration Environmental Helium Density Connection 10PPM以下（計測部ヘリウム洗浄に使用） Rc3/8インチ・装置裏側 ドライ窒素、 またはアルゴンガス 0.5MPa以上を推奨。0.9MPa以下で供給してください。 純度 水分 接続 Power Source Japanese/English/Chinese *1: Values are for reference only. Please be aware that values differ according to the type of package being tested, the bombing conditions and the like.
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