新製品紹介 表面実装型デバイス用 NC（NEW CLAD） リッド NC (New Clad) Lid for Surface-Mounted Device NNRSN-1 特長 高精度で安定したクロック信号を きが不要な NC リッドの量産化に成 発信する水晶デバイスは，スマート 功した（ 日立金属ナノテックで個片 フォンをはじめ，あらゆる電子機器 加工） 。 めっきが不要であることから， に搭載されている。 開発したクラッド材をリッドに適 大幅なコストダウンを実現。 水晶デバイスの主な部品構成を図 用するにあたり，KV リッドと同構 1 に示す。水晶素子は，セラミック 成の Ni/KV/Ni クラッドを検討し スパッケージに内蔵され，シールリ たが，KV 材は，使用環境における （3）従来の KV リッドと同等の溶接 ングおよびリッドにて気密封止され 耐食性が不十分なため，プレス後に 条件による封止が可能で，信頼 る。蓋材として使用されるリッドは， 露出した端部の耐食性を確保できな 性 試 験 後 の 気 密 性 を 確 保（ 表 セラミックスと熱膨張係数が近似し かった。そこで，気密封止後の信頼 ている KV 材（Fe-Ni-Co 合金）をプ 性確保のために，低熱膨張特性を有 （4）溶接時に発生する放出ガス（ ア レス加工した後，全面 Ni めっきし し，かつ耐食性に優れた合金を芯材 ウトガス）が少なく，気密封止 た KV リッドが主流である。水晶デ に採用することで，端部に芯材が露 後の水晶の周波数特性安定化に バイスのコストダウンを図るため， 出した状態でも十分な耐食性を持つ NEOMAX マテリアルは，新たに開 NC リッドを開発した（ 図 2） 。 発したクラッド材を使用し，Ni めっ NC リッドの特長を以下に示す。 (a) （1）製造コストの多くを占める Ni （2）Ni めっき処理が困難な薄板（ 板 厚 0.05 mm 以下）にも対応。 1）。 有効（ 図 3） 。 （ 株式会社 NEOMAX マテリアル） （ 株式会社日立金属ナノテック） 表 1 信頼性試験後の気密性試験結果 Table 1 Results of hermetic sealing tests after reliability tests (b) Lid Seal ring Crystal NC lid KV lid Ref: Just after hermetic sealing, Fine leak before reliability tests Gross leak ND ND ND ND Fine leak Pressure cooker test (120℃, RH 100%, 2 atm, 96 h) Gross leak ND ND ND ND Fine leak ND ND Gross leak ND ND Thermal cycle test (-40℃ to 85℃, 1,000 cycles) 1 mm ND: Not detected Surface-mounted crystal device Ceramic package 図 1 表面実装型水晶デバイス（a）構造（b）外観 Fig. 1 Surface-mounted crystal device (a) schematic structure and (b) appearance Lid type Before test After test 48 h 120 h NC lid Ni KV lid Ni Highly corrosion-resistant core metal Ni/KV/Ni clad lid H2 Ni H2O Ni CO NC lid KV CO2 KV lid Ni plating 0 KV Test condition: JIS C60068-2-11 図 2 耐食性試験（ 塩水噴霧試験）結果 Fig. 2 Results of corrosion resistance tests (salt spray test) 5 10 15 20 25 30 Amount of outgas (μl/g) 1 mm 図 3 放出ガス量比較 Fig. 3 Comparison of outgas amounts 日立金属技報 Vol. 32（2016） 53
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