Smart Alignment

Smart
Alignment
YRA-070
YRA-071
YRA-130
YRA-200
XYθ薄型アライメントステージシリーズ
YRA-070
YRA-071
Φ10 Thru
NEW
40
60
40
60
4-M4 Depth 6mm
(120)
4-M3 Depth 6mm
4-M4 Depth 7mm
40
4-M3 Depth 5mm
(140)
Φ20 Thru
40
60
(130)
(150)
45
60
60
特徴
型式
テーブルサイズ
移動範囲XY・θ
送り方式
（3軸共通）
最小分解能XY（Half時）
最小分解能θ（Half時）
‌シリーズ最小のアライメントステージ
‌多様なモータ変更要求に対応可能
‌小型デバイスの組立に最適
‌多軸組合せ時のベースに最適
‌α Step交換にて脱調レス仕様に
変更可能
YRA－070
YRA－071
70mm×70mm
70mm×70mm
±3mm・±3°
±5mm・±5°
ボールネジ　リード1mm
ボールネジ　リード1mm
1μm/step
0.5μm/step
0.00127°
/step
0.0006366°
/step
最高速度XY
10mm/sec　（10kpps/half時）
10mm/sec　（20kpps/half時）
最高速度θ
12.7°/sec　（10kpps/half時）
12.7°
/sec　（20kpps/half時）
≦ 2μm
≦ 2μm
ロストモーションXY
ロストモーションθ
真直度XY
繰返し位置決め精度
角度再現性
≦ 0.005°
≦ 0.005°
≦ 1μm/6mm
≦ 1μm/10mm
≦ ±0.5μm
≦ ±0.5μm
≦ 0.001°
≦ 0.001°
バックラッシュXY
≦ 1μm
≦ 1μm
バックラッシュθ
≦ 0.005°
≦ 0.005°
≦5μm/±3°
≦5μm/±5°
面振れθ
偏心θ
≦3μm/±3°
≦3μm/±5°
0.6arcsec／N・cm
0.3arcsec/N・cm
水平耐荷重
49N (5kgf)
68.6N(7kgf)
静止耐荷重
－
－
モーメント荷重
自重
使用モータ（3軸共通）
コネクタ型式（3軸共通）
価格
1.45kg
2.25kg
PK513PB（0.35A／相）
オリエンタルモーター
PK523HPMB－C4
（0.75A／相）
オリエンタルモーター
RP13A－12JG－20PC　ヒロセ
RP13A－12JG－20PC　ヒロセ
450,000円
460,000円
YRA-130
YRA-200
X
NEW
4-M10×1.0 Depth 10mm
4-M6 Depth 8mm
Φ35 Thru
Y
140
150
130
60
4-M5 Depth 6mm
120
4-M4 Depth 6mm
90
110
(170)
4-M4 Depth 5mm
90
4-M5 Depth 6mm
110
4-M3 Depth 4mm
60
Φ48 Thru
4-M4 Depth 6mm
50
4-M4 Depth 5mm
(200)
4-M3 Depth 4mm
50
60
60
90
90
110
110
(220)
140
160
180
210
55
60
(306.4)
‌中小型液晶やウエハの貼り合わせに最適
‌シリーズ最大の高耐荷重仕様
‌多様なモータ変更要求に対応可能
‌ワーク貼り合わせ時に荷重が掛かる箇所に最適
‌多様なモータ変更要求に対応可能
※受注生産品
YRA－130
YRA－200
130mm×130mm
210mm×150mm
±5mm・±5°
±5mm・±5°
ボールネジ　リード1mm
ボールネジ　リード1.0mm
1μm/step
0.5μm/step
0.000674°/step
0.000249°
/step
10mm/sec　（10kpps/half時）
10mm/sec　（20kpps/half時）
6.74°/sec　（10kpps/half時）
4.98°
/sec　（20kpps/half時）
≦ 2μm
≦ 2μm
≦ 0.005°
≦ 0.005°
≦ 1μm/10mm
≦ 3μm/10mm
≦ ±0.5μm
≦ ±0.5μm
≦ 0.001°
≦ 0.001°
≦ 1μm
≦ 1μm
≦ 0.005°
≦ 0.005°
≦5μm/±5°
≦5μm/±5°
≦3μm/±5°
≦5μm/±5°
0.1arcsec／N・cm
X方向：0.03arcsec/N・cm　Y方向：0.05arcsec/N・cm
196N (20kgf)
343N (35kgf)
－
1961N (200kgf)
4kg
6kg
PK513PB（0.35A／相）
オリエンタルモーター
PK523HPMB-C4
（0.75A/相）
オリエンタルモーター
RP13A－12JG－20PC　ヒロセ
RP13A-12JG-20PC　ヒロセ
700,000円
780,000円
高耐久性ボールネジ回転ステージ
特徴
ボールネジ駆動にしたことにより、これまでのウォームギア駆動の摩耗が
長寿命
原因の精度悪化が発生しません
小型化・軽量化
ボールネジ駆動にしたことにより、動力伝達効率が向上しモータを小型化
することに成功
同サイズウォームギア駆動ステージと比較し、
約45％の軽量化に成功
RA07A-T01
NEW
70
(23.2)
30
4-M4 depth 5mm
60
40
10
4-M3 depth 5mm
□60
th
φ3
0
40
60
109
70
ru
CCW
CW・LS
CW
NORG
CCW・LS
4-for M4 screws
Shaft length 5.5mm
Tapping hole for M5 screw
mount from back side.
(200)
140
RA10A-T01
NEW
0.5
(23.2)
100
90
60
40
0.5
29
30
10
4-M4 Depth 6mm
4-M4 Depth 6mm
4-M3 Depth 4mm
□90
th
ru
CW・LS
NORG
CCW・LS
φ
45
40
60
90
100
(139)
CCW
CW
4-for M4 screws
Shaft length 5.5mm
Tapping hole for M5 screw
mount from back side.
(157)
型式
テーブルサイズ
案内方式
回転範囲
送り方式
最小分解能（Half時）
最高速度
（20kpps/Half時）
ロストモーション
角度再現性
バックラッシュ
面振れ
偏心
モーメント荷重
水平耐荷重
材質
自重
使用モータ
コネクタ型式
価格
神津精機株式会社
お問い合わせ先
本社／工場
大阪支店
RA07A-T01
70mm×70mm
0.000682°
/step
13.64°
/sec
0.15 arcsec/N・cm
78N（8kgf）
0.9kg
PK523HPMB-C4
RP13A-12JG-20PC
198,000円
(200)
クロスローラベアリング
±5°
ボールネジ　リード1.0mm
≦0.005°
≦0.002°
≦0.005°
≦5μm/±5°
≦5μm/±5°
アルミ合金
0.5
29
0.5
RA10A-T01
100mm×100mm
0.0005°
/step
10°
/sec
0.05 arcsec/N・cm
147N（15kgf）
1.53kg
PK543HPMB-C4
RP13A-12JG-20PC
255,000円
http://www.kohzu.co.jp
E-mail:[email protected]
〒215-8521 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15
TEL.044-981-2131　FAX.044-981-2181
〒532-0004 大阪府大阪市淀川区西宮原2-7-38
新大阪西浦ビル202
TEL.06-6398-6610　FAX.06-6398-6620
1509

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