Smart Alignment

Smart
Alignment
YRA-070
YRA-071
YRA-130
HYR-200
XYθ薄型アライメントステージシリーズ
YRA-070
YRA-071
Φ10 Thru
NEW
40
60
40
60
4-M4 Depth 6mm
(120)
4-M3 Depth 6mm
4-M4 Depth 7mm
40
4-M3 Depth 5mm
(140)
Φ20 Thru
40
60
(130)
(150)
45
60
60
特徴
型式
テーブルサイズ
移動範囲XY・θ
送り方式
（3軸共通）
最小分解能XY（Half時）
最小分解能θ（Half時）
最高速度XY
最高速度θ
ロストモーションXY
ロストモーションθ
真直度XY
繰返し位置決め精度
角度再現性
バックラッシュXY
バックラッシュθ
面振れθ
偏心θ
平行度
モーメント荷重
タワミ量
水平耐荷重
静止耐荷重
自重
使用モータ（3軸共通）
コネクタ型式（3軸共通）
価格
シリーズ最小のアライメントステージ
多様なモータ変更要求に対応可能
小型デバイスの組立に最適
多軸組合せ時のベースに最適
αStep交換にて脱調レス仕様に
変更可能
YRA－070
YRA－071
70mm×70mm
70mm×70mm
ボールネジ　リード1mm
ボールネジ　リード1mm
0.00127deg／step
0.0006366deg／step
±3mm・±3°
0.001mm／step
10mm/sec　（10kpps/half時）
12.7°/sec　（10kpps/half時）
≦ 2μm
≦ 0.005°
≦ 1μm/6mm
≦ ±0.5μm
≦ 0.001°
≦ 1μm
≦ 0.005°
≦5μm/±3°
≦3μm/±3°
－
±5mm・±5°
0.0005mm／step
10mm/sec　（20kpps/half時）
12.7°
/sec　（20kpps/half時）
≦ 2μm
≦ 0.005°
≦ 1μm/10mm
≦ ±0.5μm
≦ 0.001°
≦ 1μm
≦ 0.005°
≦5μm/±3°
≦3μm/±3°
－
0.6arcsec／N・cm
0.3arcsec/N・cm
49N (5kgf)
69N (7kgf)
約1.45kg
約2.3kg
－
－
PK513PB（0.35A／相）
オリエンタルモーター
RP13A－12JG－20PC　ヒロセ
450,000円
－
－
PK523HPMB－C4
（0.75A／相）
オリエンタルモーター
RP13A－12JG－20PC　ヒロセ
460,000円
YRA-130
HYR-200
NEW
4-M4 Depth 8mm
4-M4 Depth 8mm
4-M5 Depth 8mm
4-M6 Depth 8mm
Φ35 Thru
4-M3 Depth 4mm
4-M4 Depth 5mm
150
(200)
120
90
110
60
(170)
90
60
50
4-M5 Depth 6mm
110
4-M4 Depth 6mm
50
60
60
90
90
110
110
160
(220)
55
60
(306)
中小型液晶やウエハの貼り合わせに最適
シリーズ最大の高耐荷重仕様
多様なモータ変更要求に対応可能
ワーク貼り合わせ時に荷重が掛かる箇所に最適
多様なモータ変更要求に対応可能
※受注生産品
YRA－130
HYR－200
130mm×130mm
210mm×150mm
ボールネジ　リード1mm
ボールネジ　リード1mm
0.000674deg／step
0.000249deg／step
±5mm・±5°
0.001mm／step
10mm/sec　（10kpps/half時）
6.74°/sec　（10kpps/half時）
≦ 2μm
≦ 0.005°
≦ 1μm/10mm
≦ ±0.5μm
≦ 0.001°
≦ 1μm
≦ 0.005°
≦5μm/±3°
≦3μm/±3°
±5mm・±5°
0.0005mm／step
10mm/sec　（20kpps/half時）
4.98°
/sec　（20kpps/half時）
≦ 2μm
≦ 0.005°
≦ 3μm/10mm
≦ ±0.5μm
≦ 0.001°
≦ 1μm
≦ 0.005°
－
－
－
≦ 20μm (四隅をダイヤルゲージで測定)
－
ステージセンターから100mmの位置で59Nかけて30μm以内
－
1961N (200kgf)
PK513PB（0.35A／相）
オリエンタルモーター
PK523HPMB－C4
（0.75A／相）
オリエンタルモーター
0.1arcsec／N・cm
196N (20kgf)
約4kg
RP13A－12JG－20PC　ヒロセ
700,000円
－
343N (35kgf)
約6kg
RP13A－12JG－20PC　ヒロセ
780,000円
高耐久性ボールネジ回転ステージ
特徴
ボールネジ駆動にしたことにより、これまでのウォームギア駆動の摩耗が
長寿命
原因の精度悪化が発生しません
小型化・軽量化
ボールネジ駆動にしたことにより、動力伝達効率が向上しモータを小型化
することに成功
同サイズウォームギア駆動ステージと比較し、
約45％の軽量化に成功
RA07A-T01
70
(23.2)
60
40
30
4-M4 depth 5mm
4-M3 depth 5mm
10
□60
th
φ3
0
40
60
NORG
CCW・LS
109
70
ru
CCW
CW・LS
CW
4-for M4 screws
Tapping hole for M5 screw
mount from back side.
(200)
140
RA10A-T01
(23.2)
100
90
60
40
30
10
4-M3 depth 5mm
□90
th
ru
CW・LS
NORG
φ
45
40
60
90
100
0.5
29
4-M4 depth 5mm
CCW
(139)
0.5
CCW・LS
CW
4-for M4 screws
Tapping hole for M5 screw
mount from back side.
(157)
型式
テーブルサイズ
案内方式
回転範囲
送り方式
最小分解能（Half時）
最高速度
（20kpps/Half時）
ロストモーション
角度再現性
バックラッシュ
面振れ
偏心
モーメント荷重
水平耐荷重
材質
自重
使用モータ
コネクタ型式
価格
神津精機株式会社
お問い合わせ先
本社／工場
大阪支店
RA07A-T01
70mm×70mm
0.000682°
/step
13.64°
/sec
0.15 arcsec/N・cm
78N（8kgf）
0.9kg
PK523HPMB-C4
RP13A-12JG-20PC
198,000円
http://www.kohzu.co.jp
E-mail:[email protected]
〒215-8521 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15
TEL.044-981-2131　FAX.044-981-2181
〒532-0004 大阪府大阪市淀川区西宮原2-7-38
新大阪西浦ビル202
TEL.06-6398-6610　FAX.06-6398-6620
(200)
クロスローラベアリング
±5°
ボールネジ　リード1.0mm
≦0.005°
≦0.002°
≦0.005°
≦0.005°
/±5°
≦5μm/±5°
アルミ合金
0.5
29
0.5
RA10A-T01
100mm×100mm
0.0005°
/step
10°
/sec
0.05 arcsec/N・cm
147N（15kgf）
1.53kg
PK543HPMB-C4
RP13A-12JG-20PC
255,000円

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