SOD-20X-VI

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高倍マシンマイクロレンズ
SOD-20X-VI
SOD シリーズの倍率 20 ×モデル。
顕微鏡対物レンズクラスの高分解能を持ち、長作動 WD=37.5mm を実現したことで、照明や搬送系
のスペースを確保可能となります。
同軸落射照明機能を内蔵したコンパクト設計により、省スペース化を実現。FA 用装置搭載に最適な高
倍率レンズです。
• 対物レンズクラスの高分解能　NA0.35
• 驚異のロングWD　WD=37.5mm
• 長深度設計　可変絞りモデル
• ディストーションレス
• 同軸落射照明機構付き
• コンバータレンズ(別売)で30x、40xの認識が可能
3
使いやすさ
4
ロングWD
高解像でありながら、ロングWD(ワーキング・ディスタンス)化することで使いや
すさがさらにアップしました。
作業ツールやピッキングのスペースを
十分確保できるので従来では不可能と
思われた作業を行えます。作業位置や
ワークの状態を目視確認できるので作
業ミスを軽減できます。
同軸落射光だけではなく、リング
照明など多彩な射光照明が可能で
す。照明の選択肢が増えることで
今まで見えづらかったワークが、
さらに見やすくなります。
熱源から離れた場所で認識
が可能。熱圧着時のアライ
メントや検査もできます。
作業スペースの確保
作業状況・位置を目視で確認可能
斜光照明が可能
熱源から離せる
水や油、または加工する際
に出るごみの影響を受ける
ことなく観察できます。
水、油などが
飛び散る環境
コンパクト
小型設計のため、周辺部品や
装置のダウンサイジング化が
可能。
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SOD-10X
SOD-20X-VI
C
20
30
58
SOD-20X-VI
20
30
O
ライトガイド挿入口
1-M3�4六角穴付止めねじ
ライトガイド固定用
3-M3×4六角穴付止めねじ
カメラ回転調整用
4-M3ヘリサート2D
W.D. 37.5 ±0.5
92.7
17
5
31
（16）
58
5.5
Ｃマウント
17.526
3-M3�4六角穴付止めねじ
カメラ回転調整用
（推奨トルク30cN・m）
∅30 0/-0.1
66
∅56.5
∅50 0/-0.1
20
30
40
（Ｏ／Ｉ＝ 253.7）
ライトガイド挿入口
O
75
24.9
10
FFFFFFFF
カメラ三脚ネジ
WD 55.2±0.6
32
∅8
∅14.2
∅16
12
17.4
Cマウント
φ30 0/-0.1
35
5.5
□45
φ40 0/-0.1
1-M3×4六角穴付止めねじライトガイド固定用
φ8
φ14.2
φ16
18
10
22.5
32
4-M3ヘリサート2D
20
30
49.4
（Ｏ／Ｉ＝ 300）
カメラ三脚ネジ
17.526
102.8
リアコンバータレンズ（オプション）
SOD-2X
型式
(0.8)
16.4
2
φ22
φ30
φ22
TV
FNo
ディストーション
最大適合
カメラ
質量
価格
0.23
22
0.01％以下
2/3型
500g
¥240,000
0.012mm
0.23
33
0.05％以下
2/3型
20g
¥37,000
1.5μm
0.009mm
0.23
44
0.04％以下
2/3型
30g
¥37,000
1μm ~
3μm
1μm ~
3μm
1μm ~
3μm
0.0057mm ~
0.026mm
0.0038mm ~
0.012mm
0.0029mm ~
0.009mm
0.35 ~
0.113
0.35 ~
0.113
0.35 ~
0.113
28.3 ~
88
42.5 ~
132
56.6 ~
176
0.02％以下
2/3型
930g
オープンプライス
0.04％以下
2/3型
20g
¥37,000
-0.07％以下
2/3型
30g
¥37,000
倍率
O/I
WD
分解能
被写界深度
NA
SOD-10X
×10
253.7mm
55.2mm
1.5μm
0.017mm
SOD-1.5X
×15
260.5mm
55.2mm
1.5μm
SOD-2X
×20
266.1mm
55.2mm
SOD-20X
×20
300mm
37.5mm
SOD-1.5X
×30
306.8mm
37.5mm
SOD-2X
×40
312.4mm
37.5mm
有効
4
Cマウント
5
Cマウント
4
Cマウント
φ30
6.8
Application Sample
シリコンウェハー
ハードディスク読み取りヘッド
同軸照明でウェハーパターンを、リング照明でキズ、ゴミを認識できます。
大きな段差のあるワークも広いピント幅でカバーできます。
同軸
照明
斜光
照明
■ 同軸照明
ウェハー（パターン）
φ29.4
(12.8)
Cマウント
SOD-1.5X
■ リング照明
ウェハー（キズ）
先端部の
配線パターン
■ 同軸照明
同軸
照明

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