このオールメタルリークバルブは、導入ガスの流量を調節して真空装置に導入するための高性能バルブです。極めて微小流量領域から安定した調節が可能です。また、シール部分もメタルで作られているので、45ぴCまでの菩羞短さ賢二 ■￣コ二￣一一一一．、 J ベーキングが可能です。超高真空装置用に適しています。 Y ●超高真空対応どこ：甑七㌔巧さ‡ノ ●耐熱温度：450℃ ：三雲三E≡製ダイアフラムシール磨転i l≒＿、一七 1メγ 打、′、一・毒製品オーダーガイド VMAl4CF70 lCF70／LCF34 158，400円 VMAl4CF34 lCF34／lCF34 157，000円圧力範囲リーク量 1000∼10￣9pa 10．11pa・m3／SeC（ガス導入圧力が1気圧の場合）使用温度範囲 −20∼200℃ ベーキング温度 250℃（バルブ問の場合） 450℃（バルブ閲の場合）接続フランジ CF70（回転） CF34（回転）／CF34（固定）シール方法作動方式ステンレス製ダイアフラム（SUS304）手動（目盛り付き）このバルブは、ベローズ式で高真空領域まで使用できます。バイトン0リングを使用することにより、ベーキングも可能です。ステンレス製なので、フランジのシール部分の傷なヽシュー●・圧空タイプ型式規格 ■■■エ−■■■■■■■■■■■1■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■−；■日日■− KF16AVA−T KFl6 54．60 6064 16138 27，000円 KF25AVArT KF25 52．07 6064 15570 27，氾円 KF40AVA−T KF40 65▲00 76．50 176．36 39，000円 KF50AVA−T KF50 7620 8455 237．84 60，000円手動タイプ KFl6AV−T KFl6 5460 60．00 137．75 26，000円 KF25AV−T KF25 5207 60．00 132．07 26．000円 KF40AV−T KF40 6500 60．00 16371 38，000円 KF50AV−T KF50 76＿20 60．00 19821 47，000円 CF34AV−T CF34 5512 60，00 138．27 30，000円 CF54AV−T CF54 5259 6000 13259 39，000円 CF70AV−T CF70 66，51 6000 16522 48，000円 CF85AV−T CF85 78．12 6000 20013 59，000円〒ユ10−0016東京番台束区台東1丁目35番6号三協電精株式会社 TELO3（3834）1276FAXO3（3831）8737