Information Technology Solutions イオン注入装置 ディスク再生サービス 現在問題視されている大きなトラブル ①パーティクル増加の原因 −ビーム衝撃による金属剥離或いは Si コート膜剥離 −ディスク高速回転と遠心力によるエラストマー／ウェ ハ裏面境界面の磨耗 Core Systems 社とは Core社は、15 年以上にわたり世界各国 −エラストマー磨耗粉 のイオン注入装置用ディスク再生の実績 −摺動部分の剥がれ ②元素レベル汚染の原因 を持ち、自社工場にイオン注入装置を −スパッタリング効果による Al, C の脱離とウェハへの 15 台保有し、イオン注入サービスを手掛 付着 けるイオン注入No.1 企業です。 −高加速電圧時のソース基材からの汚染 （Mo, W, O, Al 等） ③エラストマー劣化の原因 −冷熱の繰り返しによるポリマー強度の劣化 （特にカラ注入） −表面の分子配向の変化 このような問題を未然に防ぐ為に 定期的なディスク再生を推奨致します。 ディスク再生の必要性 イオン注入装置のエンドステーションディ スクは長時間にわたるイオン照射により、 イオン注入装置のディスク再生を、メーカー同等以上の品質で短納期、低価格にてご提供致します ウェハへのパーティクル付着、元素レベル ＜Core 社対応可能設備例＞ 汚染、エラストマーの経時変化による冷 ■ Applied Materials・・・9200, 9500, xrLEAP, Quantum Ⅱ/Ⅲ（フィンガー、クリップ単体も販売） 却能力の低下やウェハ脱着の不具合とい ■ Varian・・・XP, E1000, VIISion, Kestrel った、管理上見過ごすことの出来ない問 ■ SEN・・・NV10、GSD（初期 Superdisk から 300mm までの全種、Classic、UHD、VSD を含む） 題が生じます。 その為、部品洗浄やエラストマー交換を 2∼12 インチまでの上記イオン注入装置メーカーディスクの完璧なリファービッシュを提供致します。 始めとするディスク再生を定期的に実施 ■ 組み立て・最終テストはクラス 1000 のクリーンルームで実施 して、これらの問題を未然に防ぐ事が必 ■ 消耗パーツは全て新品に交換（その他のパーツに関しては、御要求に応じて新品に交換可能） 要です。 ■ 全てのテスト及び測定はNIST Traceability（米国規格）注 1に準拠 注 1：NIST＝米国標準技術局（National Institute of Standards and Technology の略） ｖ 再生前後比較（参考写真） ＜再生前＞ リファービッシュ作業内容 《入荷検査＆浄化》 イオン種レジストの残り 冷却水の痕跡 ・磨耗や損傷のメカニカル検査 ・ディスク寸法の測定 ・全デジタル写真査定の実施 イオン注入で変質したエラストマー ・リークテスト及びフローテスト ・ 典型的な注入後 の変色 《コーティング》 ・Si コーティングの除去 ・構成パーツの磨耗検査 ・再コーティング ※Si コーティング ＜再生後＞ ①GSD⇒スパッタコーティング ②VIISion, AMAT⇒プラズマスプレーコーティング 《エラストマーアプリケーション》 ・Core 社独自の技術により、メーカー同 等以上の理想的なウェハインターフェイ スをご提供致します。 200mm GSD 125mm GSD Varian XP AMAT Restraint AMAT Clip 200mm VIISion ・ 《最終検査》 ・組み立て及びアライメント ・ウォーターフロー ・バランス調整 ・パーティクル検査 AMAT Heatsink 製造販売元 Core Systems, Inc. 1050 Kifer Road, Sunnyvale, CA 94086 http://www.coresystems.com/default. 200mm VIISion サイト イオン注入装置のディスク問題に関しては、 下記までお気軽にお問い合わせ下さい。 お問い合わせ aspx コーラルポイント株式会社 www.coralpoint.jp 〒221-0852 神奈川県横浜市神奈川区三ツ沢下町19-30-401 phone 050 - 5806 - 9550 fax 03 - 4578 - 9528 email [email protected] 日本総代理店 ファーストゲート株式会社 〒335-0021 埼玉県戸田市新曽 1011 番地 Tel : 048-434-8717 Fax : 048-434-8718
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