微細配線形成用フィルム(セミアディティブプロセス対応) SAPP(Semi-Additive Process Primer) ■特 長 ■用 途 ●微細配線に特化したセミアディティブ用プライマです。 ●半導体パッケージ (FC-BGA,FC-CSP,SIP) ●平滑な表面粗さ(Ra:0.2∼0.3μm)のため超微細 回路を形成できます(L/S<10/10μm) ●モジュール ●絶縁信頼性に優れた材料です。 ●プリプレグとともに使用可能であるため、剛性の高い セミアディティブサブストレートを得ることができます。 ●プリプレグと同じ工程条件でプレス成型が可能です。 ■一般仕様 樹脂厚み (μm) Ra (μm) キャリア銅箔厚み (μm) 5±1 0.2∼0.3 10μm ■一般特性 処理条件 試験項目 単 位 実測値 μm 0.2∼0.3 粗化後表面粗さ (Ra) A ガラス転移温度 Tg TMA ℃ 160∼170 はんだ耐熱性 (260℃) A 秒 600以上 A kN/m 0.6∼0.8 めっき銅箔引きはがし強さ 25μm ●超微細粗化形状 ●SAP工法による微細配線形成性 Ra:15μm L/S=6μm/6μm L/S=10μm/10μm 10μm ●絶縁信頼性 サンプル構造 1.E+12 GEA-679FG (R) :#1037x1ply 銅厚:5μm SAPP 1.E+11 MCL-E-679FG (R) 1.E+10 L/S=10μm/10μm 1.E+09 試験条件:130℃85%RH,DC5.5V L/S=10μm/10μm 1.E+08 1.E+07 1.E+06 62 100μm 0 50 100 150 200 250
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