流量標準・標準化技術の確立

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流量標準・標準化技術の確立
半導体デバイスの微細化、高集積化に伴い、ガス流量・液体材料の供給に対する高精度化や
信頼性向上への要求が高まりつつあります。本セミナーでは、流量計測・制御機器である
マスフローコントローラの高精度化、信頼性の向上に必要な流量標準・標準化技術の確立に
ついての取り組みを紹介します。
出展者セミナールーム
日時
12 月 17 日(木)10 : 20-11:10
場所
Booth No. 4209
前工程ゾーン
東京ビッグサイト 出展者セミナールーム
(東 4 ホール)
東5ホール
東4ホール
◉取り組み紹介例 : 福知山テクノロジーセンター
福知山テクノロジーセンターでは、これまで長年培って
きた液体計測・制御技術を用いて国家標準である産業
技術総合研究所の特定標準器とトレーサブルな特定二次
標準器、生産製品の流量校正に使用する実用標準器の
自社開発を行っています。同時に計量法に基づく校正
事業者(JCSS)、国際相互承認(MRA)の認定取得を
目指し、トレーサビリティの確立により、流体計測・制御
技術の基礎技術開発に取り組んでいます。
株式会社 堀場エステック
本社/〒601-8116 京都市南区上鳥羽鉾立町11- 5 TEL (075)693-2311 www.horiba-stec.jp