世界初！Top-down照射型 Nano-IR2による化学状態マッピング複合材界⾯などナノ領域の化学状態がわかります ■ Nano-IR2の特徴 Nano-IRは、従来の⾚外分光分析(FT-IR)に⽐べて1/200の空間分解能(約50nm)を持ち、微⼩部の官能基情報が得られる⼿法です。このたび、世界に先駆けて２種類のレーザー＊を搭載したNano-IR2を導⼊しました。従来のNano-IRで必須だった薄⽚化が不要になったほか、単分⼦膜のIRスペクトルを得ることができるようになりました。 OPO QCL ＊OPO：Optical Parametric Oscillation QCL ：Quantum Cascade Laser ■ Nano-IR2の測定原理試料に⾚外レーザーを照射すると局所的に熱膨張を起こします。これをAFMカンチレバーの振幅変化として検知し、フーリエ変換することで、IRスペクトルを得ることができます。カンチレバー振幅変化熱膨張パスルレーザー波⻑可変 ●Nano-IR2の特⻑１．QCL(量⼦カスケードレーザー)によりウェハ上の単分⼦膜も測定可能２．Nano-TAにより微⼩部の熱分析も可能３．Lorentz Contact Resonance(ナノメカニカル計測)により微⼩部の粘弾性挙動をとらえることが可能 ■ CFRP**のCF/エポキシ界⾯における官能基分布評価 CF界⾯からエポキシに向かって芳⾹族が傾斜的に増加していること、また、CF界⾯付近にアルキルフェニルエーテルが顕著に局在化していることがわかります。＊＊CFRP： carbon-fiber-reinforced plastic(炭素繊維強化プラスチック) CF エポキシ Nano-IRスペクトルアルキルフェニルエーテル C-O-C 芳⾹環 CH変⾓ (1300) エポキシ C-O-C (1500) (1450) (1250) 芳⾹環 C=C (1600) Epoxy 界⾯ CF 各官能基分布 2.2 ○ 1.8 Infrared dichroic AFM像 ○ □ 1.4 △ ＋ 1.0 ○ □ ○ □ ○ □ □ ○ ○I(1600)/I(1450) 芳⾹環のC=C/CH変⾓振動 □I(1500)/I(1450) 芳⾹環伸縮振動/CH変⾓振動 △I(1300)/I(1450) アルキルフェニルエーテル ( C-O伸縮振動)/CH変⾓振動 ○ □ □ ○ □ △ △ 0.6 0 CF界⾯ 0.5 △ △ 1.0 △ 1.5 △ 2.0 △ 2.5 Distance/μm F0452