PRINCIPLE of ANALYSIS
SCAS No. 007
元素分析：質量分析法を用いる元素分析＝グロー放電質量分析
P 08
グロー放電質量分析法では、試料中の原子のイオン化にグロー放電を
用いています。アルゴン雰囲気下で導電性の固体試料を陰極とし電圧を
加えると正に帯電したアルゴンプラズマが生成します。そのプラズマが試
料表面に衝突し、試料中の原子を叩き出します。同時に発生しているグロー
放電により原子がイオン化され、二重収束型の質量分析計に導入されます。
周期律表のほとんどの元素の微量分析が可能です。
グロー放電イオン化の最大の特徴は試料中に存在する元素の原子化と
イオン化が別々の過程で行われるのでマトリックスから受ける影響が少な
いといわれています。
磁場
電場
スリット
ター
コレク
ト
スリッ
スリット
グロー放電
ー
デイリ
陰極
光電子増倍管
ファラデーカップ
試料電極（−）
検出器
イオン源