NIMS微細加工プラットフォーム利用料金表 ※平成２７年４月１日より適用分類 No （税抜表示）装置名機器利用技術補助技術代行 1 125kV電子ビーム描画装置 ¥7,300 ¥9,700 ¥9,700 2 100kV電子ビーム描画装置 ¥4,300 ¥6,700 ¥6,700 高速マスクレス露光装置 ¥3,300 ¥5,700 ¥5,700 レーザー露光装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 5 ナノインプリント装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 6 マスクアライナー ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 7 CAD作成－ ¥3,400 ¥3,400 8 全自動スパッタ装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 9 超高真空スパッタ装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 １２連電子銃型蒸着装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 超高真空電子銃型蒸着装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 12 原子層堆積装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 13 プラズマＣＶＤ装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 14 多目的ドライエッチング装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 化合物ドライエッチング装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 シリコン深堀エッチング装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 酸化膜ドライエッチング装置 ¥3,300 ¥5,700 ¥5,700 ＦＩＢ－ＳＥＭダブルビーム装置 ¥4,300 ¥6,700 ¥6,700 急速赤外線アニール炉 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 シリコン酸化・熱処理炉 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 21 ウエハＲＴＡ装置 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 22 走査電子顕微鏡 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 原子間力顕微鏡 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 24 ３次元測定レーザー顕微鏡 ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 25 ダイシングソー ¥2,300 ¥4,700 ¥4,700 自動スクライバー ¥1,000 ¥3,400 ¥3,400 27 ＣＭＰ研磨装置 ¥1,000 ¥3,400 ¥3,400 28 室温プローバーシステム ¥1,000 ¥3,400 ¥3,400 極低温プローバーシステム ¥1,000 ¥3,400 ¥3,400 30 ワイヤーボンダー ¥1,000 ¥3,400 ¥3,400 31 基板洗浄プロセス－ ¥4,700 ¥4,700 リフトオフプロセス－ ¥4,700 ¥4,700 レジスト剥離プロセス－ ¥4,700 ¥4,700 ウェットエッチング－ ¥4,700 ¥4,700 3 4 10 11 15 16 リソグラフィ薄膜形成ＲＩＥ 17 18 ＦＩＢ 19 20 23 26 29 32 33 34 熱処理観察・計測切削・研磨電気計測ウェットプロセス当該料金は「ナノテクノロジープラットフォーム事業での利用（利用報告書提出）」に限り適用「大学・公的研究機関」所属の方は、本表料金×０．５【備考】１．当該料金は１時間あたりの利用に係る単価であり、これに利用時間（※）を乗じ、消費税を加算した金額が利用料金となります２．３０分未満の利用については３０分として算出し、以後３０分単位で利用料金を算出します３．利用時間は装置予約時間に準じます（装置立ち上げ時間・終了作業時間含む）４．CAD作成およびウェットプロセスの利用時間は，スタッフ作業時間に準じます５．NIMS内部利用者（ナノ融合STナノ集積ライン利用者）の利用料金は別に定めます ※利用時間について仮に３時間予約して、実際の利用時間が２時間であった場合も３時間分の料金が発生しますまた、予約時間を超過した利用は、超過分の追加料金が発生します