NIMS微細加工プラットフォーム利用料金表

NIMS微細加工プラットフォーム　利用料金表
※平成２８年４月１日より適用
No.
装置リスト
（税抜表示）
アカデミア所属利用者
機器利用
技術補助
中小企業所属利用者
技術代行
機器利用
技術補助
大企業所属利用者
技術代行
機器利用
技術補助
技術代行
1
125kV電子ビーム描画装置
¥6,300
¥7,800
¥10,200
¥12,600
¥15,600
¥20,400
¥18,900
¥23,400
¥30,600
2
100kV電子ビーム描画装置
¥4,300
¥5,800
¥8,200
¥8,600
¥11,600
¥16,400
¥12,900
¥17,400
¥24,600
3
ナノインプリント装置
¥2,300
¥3,800
¥6,800
¥4,600
¥7,600
¥13,600
¥6,900
¥11,400
¥20,400
4
高速マスクレス露光装置
¥3,300
¥4,800
¥6,300
¥6,600
¥9,600
¥12,600
¥9,900
¥14,400
¥18,900
5
レーザー露光装置
¥2,300
¥3,800
¥5,300
¥4,600
¥7,600
¥10,600
¥6,900
¥11,400
¥15,900
6
マスクアライナー
¥2,300
¥3,800
¥5,600
¥4,600
¥7,600
¥11,200
¥6,900
¥11,400
¥16,800
7
全自動スパッタ装置
¥2,300
¥3,800
¥4,550
¥4,600
¥7,600
¥9,100
¥6,900
¥11,400
¥13,650
8
超高真空スパッタ装置
¥2,300
¥3,800
¥5,600
¥4,600
¥7,600
¥11,200
¥6,900
¥11,400
¥16,800
9
12連電子銃型蒸着装置
¥2,300
¥3,800
¥5,300
¥4,600
¥7,600
¥10,600
¥6,900
¥11,400
¥15,900
10
超高真空電子銃型蒸着装置
¥2,300
¥3,800
¥5,600
¥4,600
¥7,600
¥11,200
¥6,900
¥11,400
¥16,800
11
原子層堆積装置
¥2,300
¥3,800
¥4,550
¥4,600
¥7,600
¥9,100
¥6,900
¥11,400
¥13,650
12
プラズマCVD装置
¥2,300
¥3,800
¥4,550
¥4,600
¥7,600
¥9,100
¥6,900
¥11,400
¥13,650
13
多目的ドライエッチング装置
¥2,300
¥3,800
¥5,750
¥4,600
¥7,600
¥11,500
¥6,900
¥11,400
¥17,250
14
化合物ドライエッチング装置
¥2,300
¥3,800
¥5,750
¥4,600
¥7,600
¥11,500
¥6,900
¥11,400
¥17,250
15
シリコン深堀エッチング装置
¥2,300
¥3,800
¥5,750
¥4,600
¥7,600
¥11,500
¥6,900
¥11,400
¥17,250
16
酸化膜ドライエッチング装置
¥3,300
¥4,800
¥6,750
¥6,600
¥9,600
¥13,500
¥9,900
¥14,400
¥20,250
17
FIB-SEMダブルビーム装置
¥4,300
¥5,800
¥8,800
¥8,600
¥11,600
¥17,600
¥12,900
¥17,400
¥26,400
18
ウエハＲＴＡ装置
¥2,300
¥3,800
¥5,000
¥4,600
¥7,600
¥10,000
¥6,900
¥11,400
¥15,000
19
急速赤外線アニール炉
¥2,300
¥3,800
¥5,000
¥4,600
¥7,600
¥10,000
¥6,900
¥11,400
¥15,000
20
シリコン酸化・熱処理炉
¥2,300
¥3,800
¥5,000
¥4,600
¥7,600
¥10,000
¥6,900
¥11,400
¥15,000
21
走査電子顕微鏡
¥2,300
¥3,800
¥5,900
¥4,600
¥7,600
¥11,800
¥6,900
¥11,400
¥17,700
22
原子間力顕微鏡
¥2,300
¥3,800
¥5,900
¥4,600
¥7,600
¥11,800
¥6,900
¥11,400
¥17,700
23
3次元測定レーザー顕微鏡
¥2,300
¥3,800
¥4,550
¥4,600
¥7,600
¥9,100
¥6,900
¥11,400
¥13,650
24
ダイシングソー
¥2,300
¥3,800
¥5,600
¥4,600
¥7,600
¥11,200
¥6,900
¥11,400
¥16,800
25
自動スクライバー
¥1,000
¥2,500
¥4,300
¥2,000
¥5,000
¥8,600
¥3,000
¥7,500
¥12,900
26
CMP装置
¥1,000
¥2,500
¥4,750
¥2,000
¥5,000
¥9,500
¥3,000
¥7,500
¥14,250
27
室温プローバーシステム
¥1,000
¥2,500
¥4,750
¥2,000
¥5,000
¥9,500
¥3,000
¥7,500
¥14,250
28
極低温プローバーシステム
¥1,000
¥2,500
¥4,750
¥2,000
¥5,000
¥9,500
¥3,000
¥7,500
¥14,250
29
ワイヤーボンダー
¥1,000
¥2,500
¥4,750
¥2,000
¥5,000
¥9,500
¥3,000
¥7,500
¥14,250
30
高圧ジェットリフトオフ装置
¥2,300
¥3,800
¥4,400
¥4,600
¥7,600
¥8,800
¥6,900
¥11,400
¥13,200
31
基板洗浄プロセス支援
-
¥3,800
¥4,400
-
¥7,600
¥8,800
-
¥11,400
¥13,200
32
リフトオフプロセス支援
-
¥3,800
¥4,400
-
¥7,600
¥8,800
-
¥11,400
¥13,200
33
レジスト剥離プロセス支援
-
¥3,800
¥4,400
-
¥7,600
¥8,800
-
¥11,400
¥13,200
34
ウェットエッチング支援
-
¥3,800
¥4,400
-
¥7,600
¥8,800
-
¥11,400
¥13,200
35
CAD作成支援
-
¥2,500
¥5,500
-
¥5,000
¥11,000
-
¥7,500
¥16,500
【備考】
1
上記表は，１時間当たりの利用に係る利用単価であり，これに利用時間（※）を乗じた金額が利用料金（消費税別）となります。
2
30分未満の利用については30分として算出し，以後30分単位で利用料金を算出します。
3
「機器利用」は，NIMS微細加工PFスタッフによって『機器利用ライセンス』を付与されたユーザーが自身で操作する支援形態です。
4
「技術補助」は，NIMS微細加工PFスタッフと一緒に装置操作・実験を行う支援形態です（操作トレーニングも含む）。
5
「技術代行」は，事前の打合せ等で依頼された内容をNIMS微細加工PFスタッフが実施する支援形態です。
6
「技術補助・技術代行」の単価は，装置利用料金も含んだ価格です。
7
当該料金設定は，平成28年4月1日より適用されます。
※
利用時間とは，装置予約時間（＝装置占有時間：装置の立ち上げ／終了作業時間含む）です。仮に，予約時間通りに実際に使用しなかった場合でも
利用料金は発生いたします。ただし，技術補助・技術代行の場合において，装置もしくは支援スタッフの都合にて使用しなかった場合はこの限りで
はありません。

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