エコバックシステム EcoVac System 真空サーバー Vacuum Server ロードロック室への応用 ドライポンプ待機エネルギの削減策 www.vec300.com 37 VEC 現在の排気ライン CH6 CH5 CH4 CH4 CH3 CH2 CH1 ファースト排気バルブ スロー排気バルブ ドライポンプ 現在の排気系の問題点 • 各チャンバはポンプを内蔵 • ポンプのアイドリング時間（待機時間）が長い • スロー排気はポンプの能力を長時間抑制している • ポンプがフル稼働している時間はわずか • システム全体のポンプの台数が多すぎる www.vec300.com 38 VEC 既存排気ラインの改善 CH6 CH5 CH4 CH3 CH2 CH1 R T 3 R T 2 R T 1 真空サーバー RT1 低真空リザーバ RT2 中真空リザーバ RT3 中高真空リザーバ ポンプ不要 問題点の解決 • • ポンプのアイドリング中はリザーバを排気 各ポンプは圧力の低い領域でフル稼働 （リザーバの圧力は低いのでポンプの排気速度が大きく、負荷は軽い） www.vec300.com • ポンプの台数が半数以下に減る（6台以上に適用の場合） • 各装置の制御ソフトは変更不要 39 VEC 新規の排気ライン Vacuum server R T 3 CH6 CH5 CH4 CH3 CH2 導入の効果 R T 2 R T 1 CH1 例：RT1 RT2 RT3 低真空 中真空 中高真空 真空サーバーでシステム全体の真空排気が可能となる チャンバーの真空排気は RT1, RT2, RT3と順次連通させる RT1; 低真空用（大気圧からの排気）（スロー排気にも使う） RT2; 中真空用（例：100 Paまでの排気） RT3; 中高真空用（例：10 Paまでの排気） システム全体のコスト低減と節電 www.vec300.com 40 VEC 例：Chamber 30台の排気line Vacuum server R T 3 CH30 CH3 CH2 R T 2 R T 1 CH1 Chamber 30台 例：RT1 RT2 RT3 Chamber Chamber 容積 10 L 到達圧力 10 Pa 排気時間（FAST） 8 sec 排気時間（SLOW） 30 sec Cycle time 60 sec www.vec300.com 低真空 中真空 中高真空 Vacuum server Reservoir 容積 3,000 L*3 台 Pump 1,200 m3/Hr * 3 台 41
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