VEC Inventive Simple Solutions 真空ポンプのアイドリング、その電気が もったいない！ なので、アイドリング中にリザーバを排気する エコバックシステム EcoVac System 追加ポンプなしでも排気時間を短縮 既存装置のシーケンス変更なしで構成できます シンプルな構成で排気時間を短縮 排気時間が同じなら、到達圧力を下げる 真空ポンプのアイドリング中にリザーバを排気 チャンバを排気する時にリザーバと連通 既存の装置 既存の装置 CH1 CH1 バルブ Vr1 MV1 バルブ Vr1 MV1 RT1 リザーバ RT1 リザーバ MV1 開 の時 （CH1 を大気圧から排気する時） MV1 閉 の時 （アイドリング中） Vr1 開 1∼3 秒 Vr1 開 複数のチャンバでリザーバを共用 バルブ バルブ CH3 CH2 バルブ リザーバ CH1 RT1 チャンバの２台目以降は配管とバルブユニットを追加するだけ 各装置のポンプのアイドリング（待機電力）が有効に活用できる http://www.vec300.com VEC Inventive Simple Solutions 構成と既存装置との接続方法 既存の装置 ① リザーバタンクの設置 ② バルブユニットの取付 （コントロールボックス＋バルブ） CH1 ③ MV ② ① ③ 真空配管 RT1 （①と②の接続） 既存装置のシーケンス変更なし チャンバの２台目以降は ②バルブユニットと③配管を接続するだけ PUMP 構成機器の概算価格 機器もロープライス ● コントロールボックス 型式 内 容 EVS-CNT 全機種共通 ● バルブ 型式 内 容 VU-S12 電磁弁タイプ １／２B VU-16A NW 真空バルブ VU-25A アルミボディ VU-40A ● リザーバタンク（樹脂） 型式 容積、概略寸法 PV-100 100 L, φ370 * 1100 H PV-200 200 L, φ470 * 1300 H PV-500 500 L, φ630 * 1800 H ● リザーバタンク（SS 製、塗装仕上げ） ステンレス製は本表の約２倍 型式 容積、概略寸法 SS-100 100 L, φ320 * 1300 H 両端平板 SS-200 200 L, φ460 * 1300 H 両端平板 SS-500 500 L, φ610 * 1800 H 両端平板 SS-1000 1,000 L, φ900 * 1800 H 両端鏡板 SS-5000 5,000 L, φ1500 * 3500 H 両端鏡板 配管および現地工事は別途お見積りいたします。 有限会社 ベック 価格（円） 40,000 価格（円） 11,000 37,000 56,000 75,000 価格（円） 50,000 75,000 125,000 価格（円） 62,000 100,000 225,000 437,000 1,200,000 〒253-0071 神奈川県茅ヶ崎市萩園 2291-4 TEL：0467-83-6993 FAX：0467-82-8427 URL http://www.vec300.com E-Mail: [email protected] http://www.vec300.com
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