FOUP内真空ガス置換システム
Vacuum Gas eXchange system for FOUP
VGX-system (PAT. )
Vacuum/O2 sensor
Air inlet
STOCKER SIDE
AMHS SIDE
Back side door
(if necessary)
Front door
FOUP door
FOUP with WAFER
Purge port
Vacuum
chamber
Vacuum
Inert gas
N2 Flow 40 L/min vs. VGX-system
FOUP内酸素濃度の比較
1.0E+02
1.0E+01
O2 Concentration (%)
Normal FOUP
N2 purge
VGX-system
Load lock
chamber
1.0E+00
N2 purge, 40 L/min
1.0E-01
1.0E-02
1.0E-03
VGX-system
1.0E-04
1.0E-05
10
-10
10
-8
10
-6
10
-4
10
O2 Concentration (%)
-2
1
100
0
2
4
6
8
10
Purge Time (min)
特徴：高スループット、低酸素濃度、濃度管理、真空排気による脱ガス効果、省ガス消費量
High throughput, Low O2 concentration, Degas effect in Vacuum,
Small gas consumption.
2010.04
有限会社ベック www.vec300.com

エコバックシステム

サービス／製品一覧

CNS SG/6-WP/7 12/05/2014 International Civil Aviation