エコバックシステム EcoVac System
真空サーバー
Vacuum Server
ロードロック室への応用
ドライポンプ待機電力の低減策、
および ロードロック室の高真空化
2015.02
37
VEC
現在の排気システム
CH6
CH5
CH4
CH4
CH3
CH2
CH1
ファスト排気バルブ
スロー排気バルブ
ドライポンプ
現在の排気系の問題点
•
各チャンバはポンプを内蔵、高真空は無理
•
ポンプのアイドリング時間（待機時間）が長い
•
スロー排気はポンプの能力を長時間抑制している
•
ポンプがフル稼働している時間はわずか
•
ライン全体のポンプの台数が多すぎる
www.vec300.com
38
VEC
新規の排気ライン または
既存排気ラインを改造
Vacuum server
R
T
3
CH6
CH5
CH4
CH3
CH2
導入の効果
R
T
2
R
T
1
CH1
例：RT1
RT2
RT3
低真空
低真空
中真空
 真空サーバーで全部のチャンバの真空排気が可能となる
 チャンバの真空排気は RT1, RT2, RT3と順次連通させる
RT1; 低真空用（大気圧からの排気）（スロー排気にも使う）
RT2; 低真空用（例：100 Paまでの排気）
RT3; 中真空用（例：10 Paまでの排気）
システム全体のコスト低減と節電
www.vec300.com
40
VEC
Chamber 14台の排気line＋Safety line
Safety line
Vacuum server
R
T
3
CH14
CH2
R
T
2
R
T
1
R
T
0
CH1
Chamber 14台
例：RT1
RT2
RT3
Chamber
Chamber 容積
10 L
到達圧力
10 Pa
排気時間（FAST）
8 sec
排気時間（SLOW）
30 sec
Cycle time
60 sec
2015.02
低真空
低真空
中真空
Vacuum server
Reservoir 容積
1,500 L*4 台
Pump
600 m3/Hr * 4 台
42
ロードロック室の高真空化が可能
Safety line
Vacuum server
R
T
3
CH14
CH2
R
T
2
R
T
1
R
T
0
CH1
ターボ分子ポンプ
従来の排気システムでロードロック室の高真空化は無理！
RT3にターボを使用→高真空化
真空サーバーでロードロック室の高真空化が可能
メリット： PVD装置など搬送室とのウェーハ受渡し時、
搬送室の圧力が悪くならない
→ 搬送室の圧力が良くなり
→ プロセス室の圧力も良くなる
2015.02
43

サービス／製品一覧