差動排気式フローティングスパッタイオン銃 FIG-5パッケージ特　長特　長 ●フローティングレンズを搭載しているので、超低速（10 eV）のビームから5keV までのビームを得ることが可能 ●差動排気式のため、差動排気口にターボ分子ポンプを取り付け、イオン照射中でも装置内の真空圧力を5×10-6 Pa 以下に保つことが可能 ●ユーザーサイドでフィラメントカセットの交換が可能用　途 ●試料表面のスパッタクリーニング ●表面分析における深さ方向分析用スパッタリング ●低速イオン照射実験仕　様コントロールイ　オ　ン　銃加速電圧最大ビーム電流低速ビーム電流最大ビーム電流密度加速電圧フロート電圧寸法（mm）電力質量 0kV ～5kV 10μ以上（＠5kV ） 50 nA（＠10eV ） 2mA/cm 2 以上※1 150μm 以下 ※1 機械的：±5mm 静電的：±3mm 最大5mm ×5mm 電子衝撃式最小ビーム径ビーム偏向ラスター範囲ソースタイプフィラメント交換 ※1：加速電圧を5kV、動作距離を30mmとし、ガス種に Arを使用した場合 ※2：差動排気口に50L/s以上のポンプを取り付けた場合 ※3：イオン銃先端から試料までの距離 450時間使用毎 10000：1※2 差動圧取付フランジ 0kV ～5kV 0V ～1000V 482(W)×134( H ) ×550(D) 105～125V, 210～240V 3A 11.5kg ※4：制御にはPCが必要です。 ICF070(FH) ※5：差動排気系は付属していません。 30mm ～70mm ※3 動作距離オプション ●フィラメントアセンブリ ●ガスボトル（ He、Ar、Xe、その他） ●手動式バリアブルリークバルブ(自動流量型もあります) 外形寸法図（単位：mm ） VARIABLE LEAK VALVE 2° GAS 186 (88) (247) (334) ＊外観および仕様は予告なく変更することがあります。 MT0009/OFG 〒253-8522 茅ヶ崎市円蔵370　TEL：0467-85-4220　FAX：0467-85-4411 www.ulvac-phi.com