小型プラズマ装置 PM100

小型プラズマ装置
Plasma Modifier
PM100
処理対象物表面をプラズマ化したガスの活性種の作用により、改質・クリーニングを行います
■特徴
●プラズマ装置の廉価版
●シンプル操作でルーチンワーク向け
●高周波利用申請は不要です
表示部
観測窓
★期待される応用例
◆ 洗浄
・
有機膜の除去（オイル、ワックスなどの有機膜除去）
・電子部品、光学部品や微細機構部品の洗浄、メッキやコーティングの前処理
・雑菌の消毒など（酸素ラジカルによる細胞膜のエッチングや紫外線による消毒）
◆ 表面改質
・
高分子材料表面への官能基付与
⇒ 接着性、密着性の向上
酸化反応の進行の結果、
-OH, >C=O, -COOH といった官能基が表面に生成
（微量な水分や二酸化炭素も影響）
されます。
窒素プラズマにおいても、表面に窒素原子が取り込まれ、-NH2 といった官能基が生成されます。
・各種ポリマーの接着性向上や医科歯科材料の生体適合性向上など
・シャーレなどの処理により、培地が均一に塗布できるなど
◆ アッシング
カイワレ大根発芽促進実験結果
プラズマ処理後 1 日の発芽状況 ( 処理ガス：大気 )
実験：ヤマト科学 R&D センター
・有機高分子材料エッチング
有機高分子に対して酸素がエッチングガスとなり、レジストのエッチングが可能
・種子の発芽促進実験など（右写真）
プラズマ処理無し
■仕様
型　式
PM100
プラズマ発生源
低周波高電圧電源、出力約 100W、60kHz、ピーク電圧 10kV
電極構造
コンデンサー形 2 分割
ガスフローメータ
酸素ガス用、流量 30 ～ 300mℓ /min
真空、パージ調整バルブ
スロー真空引、スローパージ用
チャンバー寸法
内径 100mm ×奥行最大約 200mm
外形寸法
W310mm × D300mm × H448mm（突起含まず）
電源
ユーティリティ真空ポンプ接続口
ガス接続口
価　格
プラズマ 10 分間処理
AC100V　15A　50/60Hz
外径 φ 15mm ホース継手付き　（推奨ポンプは排気速度 30ℓ /min）
φ 6.35mm 配管接続用継手付帯
￥1,200,000
●上記の価格には、消費税は含まれておりません　●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます　●仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。
ヤマト科学
www.yamato-net.co.jp
0120-405-525
低温プラズマの処理効果の “ 見える化 ” ツール
プラズマケミカルインジケータ TM，Plasma Chemical Indicator®
TM
®
■概要
写真 1
インジケータカード
●低温プラズマ処理強度に応じた定量的色調変化を起こす
インジケータカードです。( 右写真 1）
●色調変化は、パワーが強く、処理時間が長いほど進みます。※
●３種類の感度ラインナップにより、幅広いパワー、処理時間
に対応しています。
※色調変化は、プラズマ中のラジカルやイオンにより色素が反応・
エッチングされることを利用しています。
写真 2
変色見本
酸素ガス
PLAZMARKTM №１ ≦ 5 分
PLAZMARKTM №２ 5-20 分
TM
PLAZMARK
TM
PLAZMARK
№３ 10-30 分
窒素ガス
大気取込
入数
≦ 10 分
≦ 10 分
25 枚× 2 袋セット￥9,000
価格
5-20 分
5-30 分
近日発売
10-60 分
10-60 分
近日発売
変色レンジ（ヤマト科学㈱ PM100､流量 100ml/ 分の場合）
■特徴
大気 100ml/min
●プラズマ処理効果を、処理直後に目視で確認できます。
80
●プラズマ処理強度の平面的・空間的分布を容易に知る
ことができます。
●プラズマガスは酸素、窒素、大気など、幅広いガスに
対応しています。
ｴｯﾁﾝｸﾞ量(nm)
( 右図参考）
■アプリケーション
60
40
R² = 0.9991
20
0
0
●プラズマ処理レシピ開発時の条件出し
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
処理時間 (分)
●プラズマ処理結果の管理・記録
●プラズマ処理装置のメンテナンス
エッチング量測定とインジケータの変色
ヤマト科学㈱ PM100( 大気取込 100ml/ 分）
東京応化工業㈱ g 線ポジ型レジスト OFPR-80
●仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。
製造元
PLAZMARKTM､ Plasma Chemical Indicator®、プラズマケミカルインジケータ TM は
㈱サクラクレパスの商標または登録商標です。
発売元
●信用と行きとどいたサービスのヤマト科学販売店
本社　〒103-0022　東京都中央区日本橋室町２-２-１
お客様総合サービスセンター：0120-405-525　携帯電話から： 0570-064-525
受付時間 9：00～19：00　※土・日・祝日・振替休日を除く（12：00～13：00の間も受け付けております）
● 営業・サービス拠点　札　幌（011）707-0371　東京北（03）
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202-3051　仙　台（022）298-3781　東京西（042）
323-9600　京　滋（075）
646-5671　筑　波（029）852-3411　川　崎（044）
540-3751　関　西（06）
6101-3112
千　葉（043）255-8611　横　浜（045）
828-1631　広　島（082）
221-0921　北関東（048）642-2569　厚　木（046）
224-6911　福　岡（092）
411-2315
東　京（03）5639-7071　静　岡（054）
288-9025　www.yamato-net.co.jp
＜E-mail＞[email protected]
2014 年 08 月制作
Cat.No：201408-PM-01

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