発行:姫路科学㈱ VOL.032 BY TJ 「クリーンルームとは?」 クリーンルームの定義は1994年に制定され、2000年に改正された JISZ8122、「コンタミネーションコン トロール用語」において次のように定義されています。→「クリーンルームとは、コンタミネーションコ ントロールが行われている限定された空間にあって、空気中における浮遊微粒子、浮遊微生物が限定され た清浄度レベル以下に管理され、またその空間に供される材料、薬品、水などいついても要求される清浄 度が確保され、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている空間」 と なっています。ではクリーン度を表す際良く言われる、「クラス100 や1000」といった言葉はどういう意 味なのでしょうか?これは、「FED−STD−209D」といわれる米国連邦規格として1988年に制定された指標 で、「1立方フィート(1フィート=30.48cm)中に、粒径0.5μm以上のダスト等が何個存在しているか」を表し たものです。クリーン度を表す規格はこれ以外にもISO準拠のもの、JIS準拠のもの、フィート法ではなくメートル 法を優先したものなどいくつかが存在しますが、一般に最も広く普及した規格が上記のものとなっていま す。クリーン度って、奥が深い!!! 【エスペック製 小型クリーンオーブン 遂に発売!!】 現在、半導体メーカの生産ラインでは生産品目や生産量の変更の為レイアウトが頻繁に変更されていま す。また、半導体製品は近年多品種小ロットへ傾倒が顕著で、小ロット生産の場合大型器で一度に大量に 処理しても後工程で仕掛品があふれ、保管や管理の問題が生じます。 これらの要求に対応すべく開発さ れたのが、 「小型クリーンオーブン STC−120H」です。 <本機の特徴> ・最高温度300℃/清浄度クラス100!!・・・高性能耐熱HEPAフィルター採用により最高使用温度300℃を実現。 ・省スペース・装置外法W818*H458*D1080㎜のコンパクトな筐体により、最高3台まで積み上げ設置が可能!! ・豊富な拡張性・・・標準オプションとして①段積架台②N2ガス導入装置③自動ダンパ④クリーンルーム 設置仕様等をご準備しました。省スペース化、無酸化雰囲気下での加熱処理、熱処理後の急速冷却、クリーンルーム への設置等、様々なUPグレードが可能です。 ・ローコスト・・・定価85万円!(OP別)従来品(PVHC-231)比1/3以下のイニシャルコストでご導入頂 けます! 姫路科学株式会社 <HPアドレス http://www.himeka.co.jp/> 本社 兵庫県姫路市手柄2丁目121番地 〒670-0972 Tel:0792-34-1800 Fax:0792-33-0395 神戸営業所 神戸市中央区元町通3丁目17-8 TOWA神戸元町ビル8F Tel:078-393-1154 Fax:078-393-1164 【取扱メーカー】 agency 島津製作所 エスペック ヤマト科学 貴社を担当させて頂く です。
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