Your Partner for Humidity and Flow Sensor Solutions ガス流量センサー Mass Flow Meters for Gases 高精度なガス流量測定 カスタマイズソリューションズ 医療技術や産業オートメーション分野のガスフローソリューションをデザインして きた当社の長い歴史により、新製品を開発する貴社に最適なサポートと多様 なアプリケーション用途のガス流量センサーを提供します。 当社の最先端センサー技術によって、複雑なニーズにも革新的 なセンサーソリューションで対応することができます。当社の 経験と能力は、標準デザインのカスタム対応や、新たなソ リューションの開発など、必要に応じた対応を可能にします。 ガスの流れ 低圧力損失への対応 特長 優れた繰り返し精度 高速応答性 低流量での高い感度 広いダイナミックレンジ 信頼性と頑丈さ 双方向性 当社の技術は、低圧力損失が求められるガス流量測定でも、性 能レベルを落とさずにフローセンサー素子を用いて、カスマイ ズ対応することができます。 CMOSens® センサー 多様な流量レンジとガスへの対応 使用するアプリケーションに応じて、流量レンジを幅広く選ぶ ことが可能です。様々なガスに対する校正も可能です。 加圧減菌処理 (AUTOCLAVE) と洗浄への対応 堅牢性を常に考慮する当社の設計技術により、当社センサーは 加圧減菌処理と洗浄が可能です。これにより、新たな用途 (特に医療用途) への可能性を広げられます。 詳しい情報はこちらをご参照ください。 www.sensirion.co.jp/massflowmeters 要求される技術レベルが比較的低い場合、顧客製品の低コス ト化あるいは測定ユニットの使い捨て化を支える基礎デバイスとし て、ハウジングとフローチャネルを簡素でも有効に機能するよ うにカスタマイズしたセンサが使用可能です。 ヒーター 医療 フローチャネル 低コスト流量センサーソリューション 独特な測定方法 当社のガス流量センサーは、速く正確で、また広範囲なダイ ナミックレンジで効率的なガス流量測定を保証します。当社 のガス流量センサーは、熱量測定原理でガス流量を測定する MEMS ベースのカロリメトリックマイクロセンサー (右図を参 照) 技術を用いており、このセンサーと信号処理回路が、シン グルチップ化されています。革新的な CMOSens® 技術を使っ た特徴あるアプローチは、費用対効果に優れ、非常に高性能 で安定した結果を生み出します。そのことから、当社の高精 度な流量センサーは、今日多くの主要メーカーから信頼を得 ています。 バイパス ガスの流れ 温度センサー マイクロセンサーチップ 流量測定原理 ガス測定 センシリオンについて 当社は、湿度やガス・液体流量の測定と制御のための高品質センサーとセンサーソリューシ ョンをもつ業界のリーディングカンパニーです。スイス連邦工科大学チューリッヒ校 (ETH) から 1998 年に分離独立し創業した当社は、スイスのチューリッヒ郊外に本社を置き、北米、 韓国、日本、中国、台湾に現地法人を置いています。スイスの本社が研究や開発、生産を担 当しています。 当社のセンサーは、世界中で既に数百万個以上使われています。要求水準の高い自動車産 業、医療産業やコンシューマー市場を含め、様々な産業の取引先が当社の製品に信頼を寄 せています。センシリオンに成功をもたらした CMOSens® の革新的な技術は、一つの半 導体チップにセンサーと信号処理回路を集積しています。これにより、低コストで高品質な 大量生産が可能となり、センシリオンは、 マイクロセンサーとセンサーソリューションのトッ プサプライヤーとなりました。世界各地にある現地法人と、シームレスな流通網をもつこと で、プロジェクトの全ての段階で最高レベルなカスタマーサポートを可能にしています。当 社がすでに多くの賞を受賞したことにより、お客様のために我々が一層の努力を惜しまな い取組みをしていることが証明されています。2010 年には、スイスの市場競争に貢献し、 挑戦と努力をした会社を称える Ernst & Young Entrepreneur of the Year® を受賞致 しました。 分析機器 ガス流量センサー 製品紹介 燃料電池 SFM3000 SFM4100 SFM3000は、気流やその他の非腐食性ガス を双方向から高精度かつ超高速処理で測定し ます。フローチャネルのデザインは、センサー エレメントを通過するガスの圧力損失を非常 に低く抑えるようになっています。14 ビット のデジタル信号出力を 2 kHz の応答速度で出 力し、内部で線形化され温度補償されていま す。SMF3000 は、高品質な量産に特に最適で あり、呼吸補助や麻酔ガスなどの医療機器やプ ロセスオートメーションや燃焼状態の制御な ど、要求が厳しくコスト重視のアプリケーショ ン用途に最適です。 EK-F3X / EK-F4X 評価キット SFM4100は、空気や非腐食性ガスを高精度 に測定する多用途な OEM 流量センサーとして デザインされています。SFM4100は、他の熱 式ガス流量センサーと比較し (MEMS式、熱線 式、キャピラリ式)、広いダイナミックレンジ での長期的で高い安定性があり、堅牢で高性能 な繰り返し精度をもっています。センサーは 複数のガスと多様な流量レンジで使えるよう に校正することができます。この製品は、特に 麻酔機器や医療呼吸器に有効です。 EK-F3X と EK-F4X は、当社の SFM3000 と SFM4100 を 評価するための評価キットです (センサー別売り)。正確な テスト測定を、素早く、低コストで簡単に実施することがで きます。どちらの評価キットにも、USB スティックとアダプ ターケーブルが含まれており、USB ポートを使って、簡単に PC へ取り付けることができます。ビューワーソフトウェアは、 当社のウェブサイトからダウンロードできます。ソフトウェア は、様々な分解能での測定が可能で、流量を標準の liter per minute (slm) 単位で表示します。データ記録は容易で、エク セル形式でのファイル出力が可能です。 あらゆる点で優れた性能を発揮 0.05 % 0.15 % 1.5 % 3 % 0.02 % 0.025 % 0.5 % 0.25 % フルフローでの圧力ドロップ インターフェース サンプリングタイム 校正対応ガス 電源電圧 最大ガス圧力 RoHS / REACH 対応 slm = standard liters per minute 2, 3 どちらか大きい方 0～20 slm < 6 mbar < 25 mbar デジタル I2C デジタル I2C 0.5 ms 4.6 ms Air, N2, O2 Air, N2, O2, N2O, Ar, CO2 5 V 3.5～9 V 1.3 bar 10 bar ○ ○ 0 .................................................................................................................................................................................. 広いダイナミックレンジ .................................................. ...................................... 繰返し精度 % (対フルスケール) 繰繰返し精度 % (対測定値)3 3 Flow Rate ......................................................... ............................................................. ......................................... ............................................................. ......................................................... .................................................. ...................................... 低いノイ ズ Time 双方向性測定 .................................................. ...................................... 2 精度 % (対測定値)2 1 SFM4100 - 200～200 slm 流量レンジ1 精度 % (対フルスケール) SFM3000 ......................................................... ............................................................. .............................................................. ............................................................. .................................................. ...................................... モデル ......................................................... ............................................................. .............................................................. ............................................................. ......................................................... .................................................. ...................................... .......................... .................................................. ...................................... 高速応答時間 低流量での高感度 140310-MFM-JP いつでも どこでも センシング 本社 現地法人 スイス 中国 アメリカ 日本 Sensirion AG Laubisruetistrasse 50 8712 Staefa Switzerland Phone +41 44 306 40 00 Fax +41 44 306 40 30 [email protected] www.sensirion.com Sensirion Inc. 2801 Townsgate Road, Suite 204 CA 91361 Westlake Village United States Phone +1 805 409 4900 Fax +1 805 435 0467 [email protected] www.sensirion.com www.sensirion.co.jp Sensirion China Co. 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