INFICON Pressure Measurement Precision is our passion Experience and passion INFICON インフィコンはさまざまな真空システ ム向けに、高精度な真空計や高品質な 継手などをご提供します。 セラミック製キャパシタンスダイアフ ラムゲージは、従来の金属技術と比較 して、精度、安定性および寿命が向上 しています。また、その他のコンビネー ション真空計は、1 台のユニットに複 数のセンサ技術を組み合せることによ り、複雑さとコストを低減する一方で、 幅広い圧力領域を正確に測定します。 インフィコンの真空計測技術は 150 年以上の実績を持つ真空計分野では世界の トップブランドです。 Our strengths are continuous innovation, world-class quality, expert logistic management 2000 年に設立されて以来、ワールドクラスの製造設備および販売拠点とカス and close relationships with our customers. タマーサービスセンターを世界中に配置しており、真空業界において革新的な 1850/51 1890 1946 1967 製品の開発・製造・販売・技術サービスを提供しています。 1969 1976 1987 1993 1995 2000 INFICON ® LEYBOLD COLOGNE UNAXIS W.C. HERAEUS HANAU INFICON GERÄTEBAU-ANSTALT BALZERS ARTHUR PFEIFFER WETZLAR PFEIFFER VACUUM 3 製品とアプリケーション インフィコンは、RGA（質量ガス分析器）、ヘリウムリークディテ クタ、マルチガスリークディテクタ、膜厚蒸着コントローラ、RF センサ、統合型プロセスモニタなどの製品を駆使したガス分析、測 INFICON at a Glance 定および先進的プロセスコントロールを提供しています。真空計測 用の製品には、すべての測定領域をカバーする真空ゲージおよび真 空バルブ、継手、フィードスルーの製品群を取り揃えています。 また、インフィコンの冷媒リークディテクタは空調機器、冷凍装置、 Gas Analyzer および自動車製造分野の品質管理における、世界のトップブランド Analyzer です。フィールドサービス用に、ハンディ型冷媒リークディテクタ、 冷媒チャージングスケール、冷媒回収装置その他サービスツールも 取り揃えています。HAPSITE 化学物質定性ツールは、緊急対応、軍 隊、警備会社、環境試験機関などの世界中で多岐にわたり使用され ています。 Controller 品質規準 インフィコンでは、品質は製品のみに限定されていません。顧客 ニーズや顧客の期待を満足させることを最優先目標としています。 すべての品質マネージメントは、全インフィコン従業員およびサプ ライヤの考え方と行動に不可欠な役割を果たします。 イ ン フ ィ コ ン は、ISO9001 お よ び ISO14001 Vacuum Gauges 認証を取得しています。これらの認定は、高 品質な製品の製造を一貫して行うと同時に、 製造工程で使用される天然資源や環境への影 響を綿密にモニタリングすることを実現して います。2008 年秋以来、弊社製品は全て欧州 ROHS/WEEE 指令に 準拠しています。 Valves, Fittings and Feedthroughs Thin Film Controllers Leak Detector 4 5 Experts in Vacuum Measurement インフィコンでは、正確な圧力計測と制御用としてコンパクトなコ Measurement principles: ンビネーション真空計をフルラインで取り揃えています。幅広い Hot Ion 製品群や技術および費用効果に優れたソリューションにより、イン フィコンはあらゆる産業や半導体アプリケーションなどにおいて多 Pirani くのお客様の良いパートナーとなるべく努力しております。 SKY ® CDG025D SKY ® CDGxxxD Temp. Compensa- Temp. Controlled ted Capacitance Capacitance Diaphragm Gauge Diaphragm Gauge PCG Cold Cathode Capacitance Diaphragm PSG550 Pirani Capacitance Pirani Standard Diaphragm Gauge Gauge PSG Pirani Standard Gauge BCG TripleGauge ® Bayard-Alpert Pirani Capacitance BPG HPG MPG PEG VSA / VSD200 VGC401 / 402 / 403 PGD400 Bayard-Alpert High Pressure Inverted Penning Gauge Absolute /Diffe- Gauge Controller Pirani Gauge Pirani Gauge Ionization Magnetron rential Vacuum Pirani Gauge Pirani Gauge Switch Diaphragm Gauge Display 0.1M Pa (ATM) LOW vacuum 100 Pa MEDIUM vacuum 10-1 Pa high vacuum 10-5 Pa Ultra high vacuum 10-8 Pa Advantages •高精度でガス種に依 •高精度でガス種に 存しない 依存しない •優れた長期安定性と •センサ保護による 温度安定性 長寿命 •耐食性に優れたセラ •耐食性に優れたセ ミックセンサ ラミックセンサ •2種類のセンサ技術の •オールステンレス製 •オールステンレス コンビネーション ケルまたはセラミッ クコートセンサバー ジョン •一般真空装置 •高精度な圧力測定 •化学反応および腐食 性のある真空アプリ ケーション •圧力モニタリング 6 ケルまたはセラミッ •センサユニットが クコートセンサバー 交換可能 ジョン •10mbar以上の領域で •ディスプレイ、セッ Applications •半導体その他プラズ •半導体その他過酷な •ロードロック制御 プラズマプロセス 製センサセル •タングステン、ニッ •タングステン、ニッ •省スペース設計 はガス種に依存しな い マプロセス センサセル •補助真空圧力の測定 •真空システム内の安 全回路 •補助真空圧力の測定 全回路 •一般真空測定および •一般真空測定および 低真空から高真空ま での圧力制御 •10mbar以上の領域で はガス種に依存しな い る交換可能なセンサ ユニット •真空システム内の安 •真空システム内の安 全回路 センサ技術のコンビ ネーション •プラグ＆プレイによ トポイントまたはデ ジタルインタフェー ス（オプション） •補助真空圧力の測定 •全範囲測定用3種類の •半導体プロセスおよ び搬送チャンバー •産 業 用 成 膜 ア プ リ ケーション 低真空から高真空ま •大気圧から超高真空 での圧力制御 までの測定および制 御が可能 •デュアルロングライ •ピラニインターロッ •広範囲な測定領域 フフィラメント（オ プション） クがフィラメント焼 • 容易なクリーニング 損を保護 •ピラニインターロッ •高精度かつ高い再現 •優れた点火特性 クがフィラメント焼 性の圧力測定 損を保護 •センサユニットが交 •プラグ＆プレイによ 換可能 る交換可能なセンサ ユニット •半 導 体 プ ロ セ ス お よび搬送チャン バー •産 業 用 成 膜 ア プ リ ケーション •低 真 空 か ら 超 高 真 空における測定お よび制御が可能 •スパッター装置 •半導体プロセスおよ び搬送チャンバー •産 業 用 成 膜 ア プ リ ケーション •プ ラ ズ マ 点 火 に よ り汚れのリスクが 低下した後に高電 圧低下 •最小限の磁界強度 •フィールドバス （オプション） •一 般 真 空 測 定 お よ •真 空 蒸 着 お よ び ス •PVDおよびスパッ •産 業 用 高 真 空 お よ び圧力制御 タ装置 •産 業 用 高 真 空 シ ス テムおよび炉 パッタ装置 び炉 •一 般 的 真 空 測 定 お よび制御 •耐 食 性 に 優 れ た フルステンレス センサ •高精度 •優 れ た 長 期 安 定 • ゲージの識別が自動 •読み取りやすいディ •高分解能 • 調整可能なセットポ イントが最大6点 性 スプレイ • 卓上もしくはラッ クマウントでも使用 できるコンパクトな デザイン。 •低コストでの圧力モ ニタ •大気圧検知 •インターロック •産 業 真 空 ア プ リ ケーション •リ モ ート ゲ ー ジ 制 •自動車業界やRAC業 •プロセス圧力制御 •製 造 ラ イ ン の 圧 力 御アプリケーション •製 造 現 場 お よ び 研 究用モニタリング 界に最適 制御 •一 般 真 空 プ ロ セ ス および研究用モニ タリング 7 Vacuum Components インフィコンは、お客様の様々な真空アプリケーションに合うよう、 また、インフィコン製の各コンポーネントは、1x10-9mbar l/s 未満 あらゆる真空用のフィッティング、フィードスルーを取り揃えてお で全数リークテストを行っており、表面仕上げや溶接・材料仕様は ります。半導体製造工程のエッチング排気ライン用にカスタムメイ 高真空用装置にも適しています。継手類およびフィードスルーはク ドの加熱型のバルブや継手の設計も可能です。 リーニングのち個々に梱包され、高い品質基準に適しています。 Mechanical Electrical ISO-KF Fitting Family ISO-K / ISO-F Fitting Family CF Fitting Family Feedthrough Family Viewport Family Feedthrough Family DN 10 to DN 50 DN 63 to DN 630 / 1000 DN 16 to DN 250 / 350 DN 16 to DN 63 DN 16 to DN 160 DN 16 to DN 40 インフィコンの ISO-KF 継手は、ISO 2861/1、 DIN 28403、Pneurop 6606 に準拠していま す。これらの高品質な継手はすべての真空お よび高真空アプリケーション用の標準真空部 品で、リーク量 1x10 -9 mbarl/s 未満で設計お よび試験がされています。 インフィコンの ISO-K 高品 質 継 手 は、ISO 1609、DIN 28404、Pneurop 6606 に 準 拠 しています。この大口径継手は、すべての真 空および高真空用の標準真空部品で、リー ク量 1x10 -9 mbarl/s 未満で設計および試験 がされています。 インフィコンの CF 高品質継手は、ISO 3669 および最新の TS/ISO 3669-2 規格に準拠し ています。この超高真空継手は、リーク量 1x10 -12mbar までの超高真空アプリケーショ ン用に設計され、最高 400℃までベークアウ トが可能です。 OEM のお客様向けの成膜装置やプロジェク ト・実験等の様々な用途に対応できるよう、 豊富な種類のメカニカルフィードスルーを取 り揃えています。 ビューポートがご必要なあらゆるアプリケー ションで、インフィコンのビューポートをご 使用頂けます。 ISO-KF 継手のラインナップ： •クランプリング インフィコンの ISO-KF フランジフィードス ルーは、長年世界中の標準真空アプリケー ションでご使用実績があり、お求めやすい価 格でご提供しております。各フィードスルー は、真空側の選択可能な継手と真空チャン バーの大気圧側のコネクタにより構成されて います。 •クランプ＆クロー •ボルト＆ナット •シールおよびセンタリング •シールおよびセンタリング •オールメタルガスケット •ブランク/チューブ付きフランジ •パイプ継手 •ベローおよびフレキシブルホース •各種変換継手/レデューサ 本製品は、アルミ製または SUS304/316L 製 です。 ISO-K/ISO-F 継手のラインナップ： （DN1000準拠） •ブランク/チューブ付きフランジ •パイプ継手 •ベローおよびフレキシブルホース •各種変換継手/レデューサ •リテーニングリング付きカラーフランジ （ISO-F） CF 継手のラインナップ： •ブランク/チューブ付きフランジ •パイプ継手 •ベローおよびフレキシブルホース •各種変換継手/レデューサ 本製品は、SUS304L 製または 316LN ESR/ESU 製です。 メカニカルフィードスルーの ラインナップ： •ロータリーフィードスルー •ロータリー、リニアコンビネーション フィードスルー •リニアフィードスルー 継手種類は ISO-KF/ISO-K および CF をご用 意しています。各フィードスルーは、リーク 量 1x10 -9 mbarl/s の真空システム向けの他、 超高真空アプリケーション用にはオールメタ ルデザインのフィードスルーも取り揃えてお ります。 ビューポートのラインナップ： •ホウケイ酸ガラス •コディアルガラス •サファイアガラス 継手種類は ISO-KF/ISO-K および CF をご用 意しています。 各ビューポートは、リーク量 1x10 -9 mbarl/s の真空アプリケーション向けの他、超高真空 アプリケーション用には CF フランジおよびメ タルシール UHV ビューポートが最適です。 また超高真空アプリケーション向けに、サイ ズや技術仕様の異なる CF フランジフィード スルーを用意しております。 MIL-C-39012A に準拠した特殊仕様の BNC/ MHV 同軸フィードスルーでは、3 種類の継 手形状と 5 種類の仕様を取り揃えています。 本製品は、SUS304 または 316L 製です。 また部分的にアルミおよびニッケルめっき鋼 製の部位もあります。 8 9 Instruments For Intelligent Control インフィコンは、ガスの分析、計測、およびコントロールのための世界基準の測定装置を提供します。 革新的な計測機器、高度なセンサ技術、および先進のプロセスコン インフィコンの製品と専門知識は、複雑な半導体製造、光学機器の トロールソフトウェアの開発、製造、供給におけるトップ企業であ 薄膜コーティング、OLED（有機発光ダイオード）、太陽電池、デー るインフィコンは、お客様が今日の厳しい市場における課題を克服 タストレージメディア、工業用真空コーティングなどの分野におい できるようサポートします。 て、多くの企業に利用され、タイムリーな判断を下すためのインテ リジェントなプロセス情報を提供しています。インフィコンの真空 技術製品は、ライフサイエンス、各種研究、航空宇宙、パッケージ ング、熱処理、レーザー切断、およびその他の多くの工業用プロセ スでも使用されています。また、インフィコンは真空技術における 専門知識を活用し、緊急出動やセキュリティ、および環境モニタリ ングのための独自の有毒化学物質分析製品も提供しています。イン フィコンのソリューションは、世界各地で生産性の向上や品質基準 の引き上げ、更には人と環境の保護にも役立っています。 世界のさまざまな分野で貢献 生産性と歩留まりの 最大化 人と環境の保護 • ディスプレイ • 緊急対応 • 光学機器 • 軍事 • 半導体 • 環境保護、および安全保障 • 太陽電池 • 代替エネルギー、および石油化学 品質保証 正確な計測、分析、 コントロール • 冷凍機器 • 研究開発 • 自動車 • 真空炉、および冶金 • 空調機器 • 工業用真空コーティング • 公共設備 10 優れたカスタマサポートを約束します Europe インフィコンは、世界規模の販売およびサービスセンターネット FRANCE INFICON SARL Courtaboeuf Cedex, Orsay Phone: +33.1.6013.7695 E-mail: [email protected] LIECHTENSTEIN / SWITZERLAND INFICON AG Balzers Phone: +423.388.3111 E-mail: [email protected] GERMANY INFICON GmbH Cologne Phone: +49.221.5678.8100 E-mail: [email protected] UNITED KINGDOM INFICON Ltd. Blackburn, Lancashire Phone: +44.1254.678250 E-mail: [email protected] ワークを擁しております。各サービスセンターには専門の技術員が 常駐し、お客様の製品用途に対して最善のソリューションを提案す るほか、サービスが必要なときには迅速なサポートを行います。 USA Asia INFICON Inc. East Syracuse, NY Phone: +1.315.434.1100 E-mail: [email protected] CHINA INFICON Ltd. Beijing Phone: +86.10.6590.0164 E-mail: [email protected] JAPAN INFICON Co. Ltd. Yokohama-shi, Kanagawa-ken Phone: +81.45.471.3328 E-mail: [email protected] INFICON Inc. Santa Clara, CA Phone: +1.408.361.1225 E-mail: [email protected] INFICON Ltd. Guangzhou, Guangdong Phone: +86.20.8723.6963 E-mail: [email protected] INFICON Inc. Austin, TX Phone: +1.512.448.0488 E-mail: [email protected] INFICON Ltd. Wanchai, Hong Kong Phone: +852.2520.2880 E-mail: [email protected] KOREA INFICON Ltd. Kyunggi-do Phone: +82.31.783.2942 E-mail: [email protected] INFICON Ltd. Shanghai Phone: +86.21.6209.3094 E-mail: [email protected] SINGAPORE INFICON PTE Ltd. Singapore Phone: +65.6631.0300 E-mail: [email protected] TAIWAN INFICON Co. Ltd. Chupei City Phone: +886.3.552.5828 E-mail: [email protected] インフィコン株式会社： 本社オフィス： 横浜市港北区新横浜2-2-8 新横浜ナラビル 5階 〒222-0033 電話：045-471-3328 FAX：045-471-3327 技術サービスセンター： 横浜市港北区新横浜2-2-3 新横浜第1竹生ビル 1階 〒222-0033 電話：045-471-3326 FAX：045-471-3327 w w w.inf icon.com reachus@inf icon.com Due to our continuing program of product improvements, specifications are subject to change without notice. tibb01e1 ©2011 INFICON
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