低抵抗透明導電膜向け高機能Ａｇターゲット （高耐食性、高透過率性） Thin-Film materials of dry process Precious Metals Artist 高機能Ａｇ合金薄膜材料のご紹介 Agは電気伝導率、熱伝導率、光学特性に大変優れた性質を持っていますが、空気中に放置しておくだけで、容 易に硫化してしまう事から、薄膜材料として信頼性に欠ける欠点があります。当社高機能ターゲットはＡｇの優 れた特性を維持しつつ、信頼性を大きく向上させた低抵抗透明導電膜に最適です。 表１ 抵抗値測定試験 膜種（20nm） 体積抵抗率 シート抵抗 Ag 5.2μΩ㎝ 2.60ｍΩ/□ Ag-Alloy① 7.2μΩ㎝ 3.63ｍΩ/□ Ag-Alooy② 5.35μΩ㎝ 2.67ｍΩ/□ ※1測定方法⇒４端子法 ※2体積抵抗率には試料膜厚20nmにて算出 表２ 初期透過率と加速試験後の透過率の比較 写真 Ａｇ－Ａｌｌｏｙ②結晶組織ＳＥＭ 透過率（恒温高湿試験85℃×95%RH×72h） 初期透過率 Ａｇ Ａｇ-Ａｌｌｏｙ① Ａｇ-Ａｌｌｏｙ② 60 40 20 透過率（％） 透過率（％） 80 80 Ａｇ Ａｇ-Ａｌｌｏｙ① Ａｇ-Ａｌｌｏｙ② 60 40 20 0 0 300 400 500 600 700 800 300 900 400 Ａｇ Ａｇ-Ａｌｌｏｙ① Ａｇ-Ａｌｌｏｙ② 500 600 700 800 900 透過率（耐熱試験４ｈ×１２０℃） 700 波長（nm） 800 透過率（％） 透過率（％） 透過率（耐熱試験１ｈ×120℃） 70 60 50 40 30 20 10 0 400 600 波長（nm） 波長（nm） 300 500 900 70 60 50 40 30 20 10 0 Ａｇ Ａｇ-Ａｌｌｏｙ① Ａｇ-Ａｌｌｏｙ② 300 400 500 600 波長（nm） 700 800 900
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