ケーエルエー・テンコール㈱社製 段差・表面粗さ・微細形状測定装置 アルファステップ D-500／D-600 【概 要】 ● ＫＬＡ-Ｔｅｎｃｏｒ社製 アルファステップ D-500 は、低価格で 試料表面の段差・粗さ・形状を高い測定精度と段差再現性 5Å(1σ )で測定することが可能な、触針式段差・表面粗さ・ 微細形状測定装置です。 D-500 はフットプリントが 250mm(W)x390mm(D)と小さく、 低針圧（0.03-15mg）で柔らかいサンプルに傷をつけること なく測定可能です。 アルファステップ D-500 ● ＫＬＡ-Ｔｅｎｃｏｒ社製 アルファステップ D-600 は、高分解能の 2D&3D プロファイル、2D ストレス、プロファイルステッチなど 数多くの機能を使い易いプラットフォームに搭載されております。 200mmφ のステージを有し、電動式の 150mmx178mm X-Y ステージを備えており、基板上の多ポイント測定、3D 測定(OP)が 可能です。スタイラスをベースとした最高水準の表面プロファイラで あり、高い測定精度と万能性を兼ね備えています。 様々な表面上の小さな段差、表面の細かな粗さ、及びエッチング の深さを 5nm 以下から高さ 1200μ m までの段差の範囲でより 簡単かつ正確に測定可能です。 【新機能】 キーストン補正により真上から見た画像 標準オプティクス キーストーン補正後 アルファステップ D-600 【仕 様】 測定長さ ステージサイズ ステージ移動範囲 ステージポジショニング サンプル厚さ 視野サイズ ズーム 段差再現性（2.5 µm レンジ） Z レンジ Ｚ軸分解能 針圧 プロファイルデータポイント 3D イメージング 自動シーケンス ストレス測定 プロファイル スティッチング オートレベリング スタイラスアークモーション補正 Form Removal コンピュータ OS 価格 Alpha-Step D-500 Alpha-Step D-600 30 mm 140 mmφ 80 x 20 mm マニュアル 20 mm(MAX) 3.8 x 3.1 mm(MAX) 4x デジタル 5 Å (1 µm 段差スタンダード） 1200 µm(MAX) 0.38 Å @ 2.5 µm レンジ 0.03 – 15 mg 120,000 － － オプション 標準 標準 標準 標準 Windows 7 525 万～ 55 mm 200 mmφ 150 x 178 mm モーター 30 mm(MAX) 3.8 x 3.1 mm(MAX) 4x デジタル 5 Å (1 µm 段差スタンダード） 1200 µm(MAX) 0.38 Å @ 2.5 µm レンジ 0.03 – 15 mg 120,000 オプション 標準 オプション 標準（オート） 標準 標準 標準 Windows 7 680 万～ 【用 途】 ● 半導体 ‐ エッチング・成膜・ＣＭＰの各プロセスでの表面形状測定 ● データストレージ ‐ メディア・ヘッド部の粗さ･段差測定 ● その他の測定分野 ‐ ＭＥＭＳの形状測定 ‐ ＳＩＭＳのクレーター形状測定 ‐ マイクロレンズの形状測定 ‐ セラミック基板の粗さ測定 ‐ 薄膜ストレス測定 ‐ 生体 ‐ 産業用機械等で研磨された金属表面の粗さ測定 ・・・等の表面段差・粗さ測定に幅広くご使用頂けます。 先端機器営業部 〒135-0047 東京都江東区富岡 2-11-6 HASEMAN ビル 5F TEL 03-5639-7083 FAX 03-5639-6031 E-mail: [email protected]
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