58 テクニカルノート Light Sources 新製品 TLSシリーズ チューナブル光源 New TLS Tunable Light Sources • 完全統合、小型、経済的、簡単操作 光源システム • 工場出荷前の特性設定、各システムへのデータ設定 • UV ～ NIR の広域チューナブル範囲 • 最大 0.6 nmの解像度 • オーダソーティングフィルタ付き電動フィルタホイール 白熱光源 アーク光源 • 可変スリットホイールにより、解像度およびスループットの 選択が可能 Model TLS-300X キセノン チューナブル光源は、300 W Xe 光源 （CornerstoneTM 130 1/8 m モノクロメータ搭載） およびオーダソーティング機能 用フィルタホイールで構成されています。 • 平行出力により、さまざまな光学を簡単に使用可能 ニューポート社の新 TLS シリーズ チューナブル光源は、250 nm ～ 2400 nm （スリットサイズで決定） の単色光源に対する最大 0.6 nm の解 像度を可能にします。統合システムの簡素なモジュラー設計による自由度が必要な研究者のために、これらのシステムを設計しました。最後 に、アラインおよび組み立てともに完了しているチューナブル光源のため、セットアップは不要です。性能や安定性、安全性に妥協を許さず 経済的な価格を実現するため、我々は簡単設計および小型サイズを貫きました。しかし、そこで留まることなく、我々は出荷前に各システム の出力を測定し、お客様の参照用としてその測定データも合わせて出荷しています。お客様のアプリケーションにカスタマイズが必要であれ ば、Oriel の技術セールスエンジニアにお問い合わせください。お客様特有の要件について検討させていただきます。 弊社のお客様の最も多い要求が、システムの組み立ておよびアラインを事前に完了されていることと考えました。そうすることで、お客様は 最小のセットアップ時間で仕事を始めることができます。我々がシステム特性の設定を行うことで、お客様はスループット計算に時間を費や すことなく、標準出力が得られます。弊社の標準 TLS システムの標準スペクトル出力については、図 1 および 図 2 を参照していください。こ のシステムがお客様の放射照度要件に適合していない場合は、組み立て済みのシステムを、お客様のニーズに合わせ設定し直すため、弊社の 技術セールスエンジニアにお問い合わせください。 1.6 nmスペクトル解像度 10.1 nmスペクトル解像度 4.0E-04 8.0E-03 3.5E-04 7.0E-03 3.0E-04 6.0E-03 2.5E-04 2.0E-04 1.5E-04 250W QTH 1.0E-04 300W Xe 5.0E.05 0.0E+00 250 350 450 550 650 750 850 950 1050 1150 1250 1350 1450 1550 Typical Optical Power (W) Typical Optical Power (W) 250W QTH 4.0E-03 3.0E-03 2.0E-03 1.0E.03 1650 0.0E+00 250 1750 図 1 スリット幅が 120 µmの TLS シリーズチューナブル光源の 3 つのモデルの標準出 力電力このスリットの開きでは、解像度は最大 1.6 nm です。 75W Xe 5.0E-03 75W Xe 波長 (nm) 300W Xe 350 450 550 650 750 850 950 1050 1150 1250 1350 1450 1550 1650 1750 波長 (nm) 図 2 スリット幅が 760 µmの TLS シリーズチューナブル光源の 3つのモデルの標準出 力電力このスリット幅では、75 W のキセノンと比較して、TLS-250Q は NIR で高い 放射照度を実現します。300 W のキセノンと比較するとほぼ同じです。解像度は 10 nm です。 光源アクセサリ フォトリソグラフィー機器 ファイバー出力光源 校正用光源 TLS システムの理由 定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください Light Sources 59 図 3に標準的な TLS シリーズの光源のレイアウトを示します。システムは 6 つのコンポネントで構成されています。 • 光源 (キセノンまたは QTH) テクニカルノート システムの構成 • オーダソーティングフィルタ装備の電動フィルタホイール • 複数 (2) の固定スリットホイール装備の 1/8 m モノクロメータ および 600 l/mm 回折格子 (2) • TracQ データ取得および制御ソフトウェア お客様の TLS システムのスペクトル出力曲線、～1800 nm 発注可能な光源 3 モデル TLS システムには 3 つのモデルがあり、ランプタイプとワット数が異なります。すべてのランプは、リサーチシリーズのランプハウジ アーク光源 光学パスにスペースがあり、光学チョッパを挿入します。出力は平行光ですが、集束光学部品を必要に応じ追加できます。レンズアセ ンブリには、標準の 1.5 インチフランジがあり、集束レンズアセンブリおよびファイバ搬送システムのカップリングが容易です。出力 のカスタマイズについては、セールスエンジニアにお問い合わせいただき、説明をお受けください。 光源システム コリメート出力レンズアセンブリ ングで動作します。ランプハウジングには、最大集光用背面反射鏡があり、高安定のリサーチシリーズの電源装置で動作します。 電動フィルタホイール 広域のスペクトルバンドをスキャンする場合、オーダソーティングフィルタを使用して、対象の波長領域を分離することが重要です。検出器 の感度が高い１ 次および 2 次の波長をフィルタでブロックし、スペクトルの純度を確保します。次のオーダソーティングフィルが含まれてい ます。 白熱光源 電動フィルタホイールには、直径が 1.0 インチ (25.4 mm) の4つのオーダソーティングフィルタがあり、2 次高価を最小限におさえ、真の単色 光を実現します。 • 335 nm cut-on • 1000 nm cut-on 校正用光源 • 590 nm cut-on • 1500 nm cut-on CornerstoneTM 1/8m モノクロメータ 他の回折格子の選択や 1/4 m モノクロメータベースのシステムについては、セールスエンジニアにお問い合わせください。 コリメートレンズアセンブリ TracQTM 制御およびデータ取得 TracQ はフィルタホイールおよびモノクロメータにコマンドを送り、Oriel 検出器システムからデータを取得し処理します。キャリブレーショ ン実施および未実施の検出器、電力メータおよびロックインアンプを多数取り揃えています。お客様アプリケーションに最適な測定ソリュー ションの選択にサポートがご必要であれば、セールスエンジニアにお問い合わせください。 フォトリソグラフィー機器 モノクロメータの出力でのコリメートレンズアセンブリは、直径が 1.0 インチ (25.4 mm) の平行出力となります。すべての Oriel 1.5 インチシ リーズフランジアクセサリは、シングルポイント検出器またはファイバ搬送システムに対する集束アセンブリなどのレンズアセンブリと直接 カップリングします。出力のカスタマイズについてのご説明については、技術セールスエンジニアにお問い合わせください。 ファイバー出力光源 CornerstoneTM 1/8 m モノクロメータには、2つの600 l/mm 回折格子 (1つは 400 nmのブレーズド、もう 1 つは 1000 nm のブレーズド) がありま す。複数の固定スリットがあり、実験での必要性に応じユーザがバンド幅を調整できます (固定値増)。 光源アクセサリ 定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください 60 テクニカルノート Light Sources XE アーク または QTH 光源 電動フィルタホイール (統合オーダソーティング フィルタ付き) WAAR RN NIN G!! HIG HHINT INTENS UL TR E NS This AVI ITY This AV DEL DE IOL O LE INV illum illum LAY A YED ITY ET ISIB inat ina TLIG Exp E INV Use UseE DSEV LE ortor L IG HT osuISIB SE xpo pro pro ERE LE emi emt HT VE sur ree UL tec tecti REYE itss ma ULTTRA E ma tive Lam Lam ve EAN Y EDy cau cauR AVI psr TEM TE eye and Allops SKI ssee VIOOLET run andAN un MP DN SK LE TLIG w ade skin at PER ade at E skinBUR LIG HT INNS qua ATU cocov quaver R AT HT. BU bef bef tete y high . hig URE RE ver erin ore time tim h tem ingg.R NS ope ope e fortem Ope O per . . per ning rate nin lam lamperatu atu OZ LAM LA ateinin OZO gdoo doo pp res res MP P EXP wel we ONNEE r r.. totocoo coo . EX l llv ven ll ent LOS PL ilate OS ION tila HIG d are IOHA ted are NZAR HH HA a.a. VO DZA LTA LT RD AGG E T. T. G!! E TLIGL IGH H LET . s IO IOL NINemiemtRitsAV S R NS RN URN AR BU or LTTR tor . se IN inaE U se inat WAillumIBL e ring B K ve S UL y cau DN LE m ayAN cocov his IS TThis D SKI ISIBreema skin INV Y E skin Y sur EAN and ITINVosu E and ITY xpo REYE E NS EExp V E e eye ERE ENS tive S E ctiv INT HINT E DSEV tec IGH AYYED rote HIG H e ppro E LAU Usse DEL D 1/8M 調整可能スリット アセンブリ搭載 モノクロメータ 光源システム 11.1 ( 282 ) .44 ( 11.2 ) コリメート レンズアセンブリ IN ST R UM EN TS 12 X 24 ” ベースプレート 24.0 (610) アーク光源 12.0 (305) 図. 3 TLS シリーズチューナブル光源 白熱光源 スペクトル出力データ 図 1 および図 2 に示されているデータは、これらシステムの標準のものですが、実際の値はランプの違いおよびアライメントの変化によって 影響されます。出荷前に各システムの特性調整（1800 nm に対して） を実施し、そのデータを納品物に添付します。それにより、お客様はシ ステムの出力がどうなるか判断できます。注、お客様の測定データは、測定機器、ランプの実装およびアライメントの変化、スリット幅など の違いによって、工場でのデータと異なることがあります。データは、参照用としてのみご使用ください。 発注可能チョッパ (オプション) 校正用光源 AC 放射測定には、チョップ光が必要です。フィルタホイールとモノクロメータの間の光学パスに十分なスペースをとってあるため、弊社の 75151 光チョッパを挿入できます。75151 はMerlin デジタルロックインから制御できます。サポートについては、技術セールスエンジニアに お問い合わせください。 波長分解能 vs. スループット TLS モノクロメータには、50 µm ～ 3.16 mm で可変のスリットが装備されています。表 1 は、各スリット幅での波長分解能を示してい ます。スループットと波長分解能はトレードオフの関係にあります。波長分解能を追求すると、スループットは減少します。 フォトリソグラフィー機器 ファイバー出力光源 表 1 TLS シリーズチューナブル光源の解像度値 スリット幅 50 µm 120 µm 280 µm 600 µm 760 µm 1.24 mm 1.56 mm 3.16 mm 解像度 0.67 nm 1.60 nm 3.7 nm 8.0 nm 10 nm 16.5 nm 20.7 nm 42 nm 発注のご案内 交換用ランプおよびアクセサリ TLS チューナブル光源 TLS モデル No. ランプタイプ* チューナブル範囲 TLS-75X 75 W Xe アークランプ (オゾンフリー) 250-2400 モデル 6263 75 W キセノン、オゾンフリー TLS-300X 300 W Xe アークランプ (オゾンフリー) 250-2400 6258 300 W キセノン、オゾンフリー TLS-250Q 250 W QTH ランプ 350-2400 6334NS 250 W QTH 75151 電動チョッパー 75162 チョッパホイール、2 口径* (nm) * 250 nm 未満に出力を上げるため、無オゾンキセノンアークランプからオゾン 光源アクセサリ 排出モデルに交換を希望される場合、セールスエンジニアにお問い合わせくだ さい。 ランプタイプ * 他口径のチョッパホイールについては、技術セールスエンジニアにお問い合 わせください。 定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください
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